JP2010280065A - 微細構造転写装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース板3の上面に第1の支柱9と第2の支柱が立設されており、前記第1の支柱の上端面に長尺スタンパ7の一端が固定されており、前記長尺スタンパの他端は前記第2の支柱に配設された昇降装置により上下に昇降可能に支持されており、前記長尺スタンパの下面側の微細パターンが存在する位置に対応する位置であって、前記第1の支柱と第2の支柱の間のベース板上面に、被転写体載置用ステージが配設されており、前記長尺スタンパの上面側であって、前記長尺スタンパの長手方向に沿って往復動する加圧装置が配設されている微細構造転写装置。
【選択図】図1
Description
該装置は下部微細構造転写装置と上部微細構造転写装置とからなり、
前記下部微細構造転写装置はベース板を有し、該ベース板の上面に第1の支柱と第2の支柱が上向きに立設されており、前記第1の支柱の上端面に長尺の下部スタンパの一端が固定されており、前記下部スタンパの他端は前記第2の支柱に配設された昇降装置により上下に昇降可能に支持されており、前記下部スタンパの上面側の微細パターンが存在する位置に対応する位置であって、前記第1の支柱と第2の支柱の間のベース板上面に、被転写体載置用円柱形ステージが配設されており、前記ステージは上端面に所定の外径の円柱形突起が配設されており、前記下部スタンパの上面側の微細パターンの中心部には所定の内径の貫通孔が開設されていて、前記被転写体載置用円柱形ステージは前記貫通孔に挿嵌されており、前記ベース板の上面に前記スタンパの下面側から前記下部スタンパを被転写体の下面に押圧するための下部押圧装置が配設されており、前記ベース板の下面に下部UV光照射装置が配設されており、
前記上部微細構造転写装置はベース板を有し、該ベース板の下面に第1の支柱と第2の支柱が下向きに立設されており、前記第1の支柱の上端面に長尺の上部スタンパの一端が固定されており、前記上部スタンパの他端は前記第2の支柱に配設された昇降装置により上下に昇降可能に支持されており、前記上部スタンパの下面側の微細パターンの中心部には所定の内径の貫通孔が開設されていて、前記被転写体載置用円柱形ステージの上面の円柱形突起に前記貫通孔を挿嵌させることができ、前記ベース板の下面に前記上部スタンパの上面側から前記スタンパを被転写体の上面に押圧するための上部押圧装置が配設されており、前記ベース板の上面に上部UV光照射装置が配設されており、
前記下部微細構造転写装置は前記ステージの中心点に対して前記上部微細構造転写装置と上下点対称の位置関係に配置されている両面微細構造転写装置。
また、スタンパの微細パターンと被転写体との位置合わせを行うために、ステージ5及び5’にXY移動制御機構を配設することもできる。
3 ベース板
5,5’ ステージ
7 スタンパ
7a 下部スタンパ
7b 上部スタンパ
8 微細パターン
8a 第1の微細パターン
8b 第2の微細パターン
9,9a,9b 第1の支柱
11 回動アーム
11a 下部回動アーム
11b 上部回動アーム
13 ローラ
15 駆動アーム
17,17a,17b 第2の支柱
19,19a,19b 係合爪
21 自由端
22,22a,22b 係止鈎
23 水平アーム
25 エアーパッド
27 高圧空気供給パイプ
30 下部微細構造転写装置
32 上部部微細構造転写装置
34a 下部押圧装置
34b 上部押圧装置
36a 下部シャフト
36b 上部シャフト
38a 下部押圧板
38b 上部押圧板
40a 下部樹脂緩衝層
40b 上部樹脂緩衝層
42a 下部UV光照射装置
42b 上部UV光照射装置
100 被転写体
102 基板
104 レジスト
106 微細パターン
108 スタンパ
110 パターン層
111 プレス機構
112 移動ステージ
114 ベース
116 XYZ制御回路
Claims (10)
- ベース板の上面に第1の支柱と第2の支柱が立設されており、前記第1の支柱の上端面に長尺スタンパの一端が固定されており、前記長尺スタンパの他端は前記第2の支柱に配設された昇降装置により上下に昇降可能に支持されており、前記長尺スタンパの下面側の微細パターンが存在する位置に対応する位置であって、前記第1の支柱と第2の支柱の間のベース板上面に、被転写体載置用ステージが配設されており、前記長尺スタンパの上面側であって、前記長尺スタンパの長手方向に沿って往復動する加圧装置が配設されている微細構造転写装置。
- 前記昇降装置は前記第2の支柱に配設された取付軸を中心にして所定の角度で回動する回動アームであり、前記回動アームの自由端が前記長尺スタンパの他端に係合することにより前記長尺スタンパは上下に昇降可能に支持されている請求項1記載の微細構造転写装置。
- 前記昇降装置は、前記第2の支柱に配設された垂直方向に上下動する駆動機構に支持された水平アームであり、前記水平アームの自由端が前記長尺スタンパの他端に係合することにより前記長尺スタンパは上下に昇降可能に支持されている請求項1記載の微細構造転写装置。
- 前記加圧装置は前記長尺スタンパの上面に接触して回転移動する1個以上の加圧ローラである請求項1記載の微細構造転写装置。
- 前記加圧装置は、前記長尺スタンパの上面に高圧空気を噴射しながら前記長尺スタンパの上面を非接触で移動するエアーパッドである請求項1記載の微細構造転写装置。
- 前記長尺スタンパの他端上面には前記回動アームの自由端を係合するための係合爪が固設されており、前記係合爪の端部には前記回動アームの自由端の脱落を防止するための係止鈎が設けられている請求項1記載の微細構造転写装置。
- 中心部に所定の内径の貫通孔を有する円盤状ディスクからなる被転写体の両面に微細構造を転写するための微細構造転写装置において、
該装置は下部微細構造転写装置と上部微細構造転写装置とからなり、
前記下部微細構造転写装置はベース板を有し、該ベース板の上面に第1の支柱と第2の支柱が上向きに立設されており、前記第1の支柱の上端面に長尺の下部スタンパの一端が固定されており、前記下部スタンパの他端は前記第2の支柱に配設された昇降装置により上下に昇降可能に支持されており、前記下部スタンパの上面側の微細パターンが存在する位置に対応する位置であって、前記第1の支柱と第2の支柱の間のベース板上面に、被転写体載置用円柱形ステージが配設されており、前記ステージは上端面に所定の外径の円柱形突起が配設されており、前記下部スタンパの上面側の微細パターンの中心部には所定の内径の貫通孔が開設されていて、前記被転写体載置用円柱形ステージは前記貫通孔に挿嵌されており、前記ベース板の上面に前記スタンパの下面側から前記下部スタンパを被転写体の下面に押圧するための下部押圧装置が配設されており、前記ベース板の下面に下部UV光照射装置が配設されており、
前記上部微細構造転写装置はベース板を有し、該ベース板の下面に第1の支柱と第2の支柱が下向きに立設されており、前記第1の支柱の上端面に長尺の上部スタンパの一端が固定されており、前記上部スタンパの他端は前記第2の支柱に配設された昇降装置により上下に昇降可能に支持されており、前記上部スタンパの下面側の微細パターンの中心部には所定の内径の貫通孔が開設されていて、前記被転写体載置用円柱形ステージの上面の円柱形突起に前記貫通孔を挿嵌させることができ、前記ベース板の下面に前記上部スタンパの上面側から前記スタンパを被転写体の上面に押圧するための上部押圧装置が配設されており、前記ベース板の上面に上部UV光照射装置が配設されており、
前記下部微細構造転写装置は前記ステージの中心に対して前記上部微細構造転写装置と点対称の位置関係に配置されている微細構造転写装置。 - 前記昇降装置は前記第2の支柱に配設された取付軸を中心にして所定の角度で回動する回動アームであり、前記回動アームの自由端が前記スタンパの他端に係合することにより前記スタンパは上下に昇降可能に支持されている請求項7記載の微細構造転写装置。
- 前記昇降装置は、前記第2の支柱に配設された垂直方向に上下動する駆動機構に支持された水平アームであり、前記水平アームの自由端が前記スタンパの他端に係合することにより前記スタンパは上下に昇降可能に支持されている請求項7記載の微細構造転写装置。
- 前記スタンパは可撓性を有する請求項1〜9の何れかに記載の微細構造転写装置。
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