JP2010271048A - ガス分析計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定ガス供給ライン4によりケーシング2外から測定ガスが供給される測定ガス室S1と、雰囲気ガス供給ライン5によりケーシング2内の雰囲気ガスが供給される雰囲気ガス室S2と、測定ガス室S1又は雰囲気ガス室S2の少なくとも一方に光を照射する光源31と、測定ガス室S1又は雰囲気ガス室S2の少なくとも一方を通過する光を検出する光検出部33と、を備え、雰囲気ガス室S2内における光路長が、測定ガス室S1内における光路長よりも長いことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
分析部3は、光源31と、複数のセル321、322と、光検出部33と、を備えている。そして、光源31及び複数のセル321、322及び光検出部33は、導光部材である光ファイバ34により直列に接続されている。このような構成により、光源31からの光は、光ファイバ34により伝送されてセル321に導入される。また、複数のセル321、322同士は光ファイバ34により接続されており、セル321を通過した光は光ファイバ34により伝送されて、次のセル322に導入される。複数のセル321、322を通過した光は、光ファイバ34により伝送されて光検出部33により検出される。なお、光ファイバ34は、例えばフレキシブルな石英ファイバを用いている。
測定ガス測定時においては、第1の3方切替弁71をOFF(非通電)とし、第2の3方切替弁72をOFF(非通電)として、第1セル321に測定ガスを供給し、第2セル322に計装エア又はN2ガスを供給する。これによって、測定ガスの吸光度を測定して、測定ガス中に含まれる成分を分析することができる。このように、測定ガス測定において、測定ガスが供給されないセル(第2セル322)にゼロガスを供給するようにしている。これによって、測定ガス測定時において、第2セル322内で光が吸収される影響を可及的に低減することができ、測定ガスを高精度に分析することができる。
このように構成した本実施形態に係るガス分析計100によれば、ケーシング2内にリーク検出専用のガス検出器を設けることなく、ケーシング2内での測定ガスのリークを検出することができる。また、リーク検出を測定ガス検出用の分析部3によって行うことにより、高精度にリーク検出することができる。さらに、測定ガスの測定対象成分の濃度に対して、リークガスを含み得る雰囲気ガスの測定対象成分の濃度は小さいところ、雰囲気ガス室S2内における光路長が、測定ガス室S1内における光路長よりも長くしているので、測定ガスの濃度測定と雰囲気ガスの濃度測定とを共に高精度に行うことができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
2 ・・・ケーシング
3 ・・・分析部
31 ・・・光源
S1 ・・・測定ガス室
321 ・・・第1セル
S2 ・・・雰囲気ガス室
322 ・・・第2セル
33 ・・・光検出部
34 ・・・光ファイバ
4 ・・・測定ガス供給ライン
5 ・・・雰囲気ガス供給ライン
6 ・・・ゼロガス供給ライン
71、72・・・切り替え弁(切替機構)
81、82・・・開閉弁
Claims (4)
- ケーシング内に収容され、測定ガス供給ラインによりケーシング外から測定ガスが供給される測定ガス室と、
前記ケーシング内に収容され、雰囲気ガス供給ラインによりケーシング内の雰囲気ガスが供給される雰囲気ガス室と、
前記測定ガス室又は前記雰囲気ガス室の少なくとも一方に検出光を照射する光源と、
前記測定ガス室又は雰囲気ガス室の少なくとも一方を通過する前記検出光を検出する光検出部と、を備え、
前記雰囲気ガス室内における光路長が、前記測定ガス室内における光路長よりも長いことを特徴とするガス分析計。 - 複数のセルから形成される複数の測定ガス室を有し、当該複数の測定ガス室が導光部材によって直列に接続して構成されており、
前記測定ガス供給ラインによって前記測定ガスが供給される測定ガス室数を変更可能に構成している請求項1記載のガス分析計。 - 複数のセルから形成される複数の雰囲気ガス室を有し、当該複数の雰囲気ガス室が導光部材によって直列に接続して構成されており、
前記雰囲気ガス供給ラインによって前記雰囲気ガスが供給される雰囲気ガス室数を変更可能に構成している請求項1又は2記載のガス分析計。 - 前記複数のセルから形成される複数の室にゼロガスを供給するゼロガス供給ラインをさらに備え、
測定ガス測定又は雰囲気ガス測定において、前記測定ガス又は前記雰囲気ガスが供給されない前記測定ガス室又は前記雰囲気ガス室に前記ゼロガスを供給する請求項2又は3記載のガス分析計。
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