JP2010266205A - 形状検査装置および形状検査プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】形状検査装置100の位置制御部122は、光源を移動させることにより、検査対象となるBGAのはんだボールから光源に向かう方向である光源方向を変化させる。曲面傾斜算出部132は、はんだボールから反射される光の方向(反射方向)と、ピンから視点に向かう方向(視点方向)が一致するはんだボール上の点を輝点として特定する。この輝点の座標と光源方向等から、はんだボールの輝点における傾きを算出する。そして、高度算出部136は、各輝点の傾きに基づいて、はんだボールの高さを求める。
【選択図】図5
Description
前記光源方向および前記視点方向の双方または一方の変化速度と変化時間に基づいて、前記光源方向および前記視点方向を特定する位置特定部と、
前記平面部から前記視点方向に光が反射されるときの前記光源方向および前記視点方向に基づいて、前記平面部の傾きを算出する傾斜算出部と、
を備えることを特徴とする形状検査装置。
前記傾斜算出部は、前記反射光の強度が最大となるときの前記光源方向および前記視点方向の中心方向を前記平面部の法線ベクトルとして、前記平面部の傾きを算出することを特徴とするA1に記載の形状検査装置。
前記傾斜算出部は、各平面部から前記視点方向に光が反射されるときの前記光源方向および前記視点方向に基づいて、前記複数の平面部それぞれの傾きを算出することを特徴とするA1またはA2に記載の形状検査装置。
前記光源方向および前記視点方向の双方または一方の変化速度と変化時間に基づいて、前記光源方向および前記視点方向を特定する機能と、
前記平面部から前記視点方向に光が反射されるときの前記光源方向および前記視点方向に基づいて、前記平面部の傾きを算出する機能と、
をコンピュータに発揮させることを特徴とする形状検査プログラム。
110 UI部
112 撮像部
114 警告部
120 データ処理部
122 位置制御部
124 位置特定部
126 反射強度計測部
128 傾斜算出部
130 平面傾斜算出部
132 曲面傾斜算出部
134 異常判定部
136 高度算出部
140 データ保持部
142 画像保持部
144 反射強度情報保持部
200 検査対象面
202 傾斜基準面
204 SIP
206 ピン
220 光源
222 カメラ
230 BGA
232 はんだボール
234 はんだボール設置面
Claims (7)
- 外形に曲面状の突起部を有する検査対象物体、前記突起部に光を照射する光源、前記突起部からの反射光を撮像するカメラのうち一以上の位置を変化させることにより、前記突起部から前記光源に向かう光源方向と前記突起部から前記カメラに向かう視点方向の双方または一方を変化させる位置制御部と、
前記光源方向および前記視点方向の双方または一方を変化させるごとに前記突起部上において前記視点方向に光を反射する点を輝点として特定し、前記輝点を特定したときの前記光源方向および前記視点方向に基づいて前記突起部の前記輝点における傾きを算出する傾斜算出部と、
前記突起部の複数の輝点における傾きから、前記突起部の高さを算出する高度算出部と、
を備えることを特徴とする形状検査装置。 - 前記突起部の最高地点における接平面と平行な基準面をあらかじめ設定しておき、
前記高度算出部は、前記基準面が前記視点方向に光が反射するときに前記突起部から前記視点方向に光を反射する輝点を前記突起部の最高地点として特定し、前記最高地点における高さを前記突起部の高さとして算出することを特徴とする請求項1に記載の形状検査装置。 - 前記高度算出部は、前記突起部の前記最高地点における傾きは前記検査対象物体において前記突起部が設置される面の傾きと同一であると仮定し、前記突起部が設置される面を前記基準面として、前記基準面から前記突起部の最高地点までの高さを前記突起部の高さとして算出することを特徴とする請求項2に記載の形状検査装置。
- 前記検査対象物体は、複数の突起部を有し、
前記傾斜算出部は、前記光源方向および前記視点方向の双方または一方を変化させるごとに、前記複数の突起部それぞれについて輝点を特定し、各輝点における傾きを算出することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の形状検査装置。 - いずれかの突起部について、所定の基準値から所定量以上乖離する高さが検出されたときに警告を発生させる警告部、を更に備えることを特徴とする請求項4に記載の形状検査装置。
- 前記検査対象物体は、はんだボール素子が面配列されたIC(Integrated Circuit)であって、前記突起部ははんだボール素子であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の形状検査装置。
- 外形に曲面状の突起部を有する検査対象物体、前記突起部に光を照射する光源、前記突起部からの反射光を撮像するカメラのうち一以上の位置を変化させることにより、前記突起部から前記光源に向かう光源方向と前記突起部から前記カメラに向かう視点方向の双方または一方を変化させる機能と、
前記光源方向および前記視点方向の双方または一方を変化させるごとに前記突起部上において前記視点方向に光を反射する点を輝点として特定し、前記輝点を特定したときの前記光源方向および前記視点方向に基づいて前記突起部の前記輝点における傾きを算出する機能と、
前記突起部の複数の輝点における傾きから、前記突起部の高さを算出する機能と、
をコンピュータに発揮させることを特徴とする形状検査プログラム。
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