JP2010247214A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工対象物1の内部に集光点を合わせ、切断予定ライン5aに沿ってレーザ光Lを照射することにより改質領域7aを形成する。その後、切断予定ライン5aに沿ってレーザ光Lを再度照射することにより、加工対象物1において表面3と第1改質領域7aとの間に改質領域7bを形成すると共に、改質領域7bから表面3に至る亀裂Cbを発生させる。従って、加工対象物1において改質領域7aを形成する際に生じる反る力F1を、亀裂Cbによって解放して相殺することができる。
【選択図】図9
Description
Claims (3)
- 板状の加工対象物の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射することにより、前記加工対象物に改質領域を形成するレーザ加工方法であって、
前記加工対象物に前記改質領域としての第1改質領域を一の切断予定ラインに沿って形成する工程と、
前記第1改質領域を形成した後、前記加工対象物において一方の主面と前記第1改質領域との間に、前記改質領域としての第2改質領域を前記一の切断予定ラインに沿って形成することにより、該第2改質領域から前記一方の主面に至る亀裂を発生させる第2工程と、を含むことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記第2改質領域を形成した後、前記加工対象物に前記改質領域としての第3改質領域を、前記一の切断予定ラインと交差する他の切断予定ラインに沿って形成する第3工程を含むことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工方法。
- 前記一方の主面は、レーザ光入射面であって、前記加工対象物は、前記一方の主面側に設けられた機能素子を含んでおり、
前記第1工程においては、前記第1改質領域を形成することにより、該第1改質領域から前記加工対象物の他方の主面に至る亀裂を発生させることを特徴とする請求項1又は2記載のレーザ加工方法。
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