JP2010245480A - 表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像表示部が形成された基板に薄膜トランジスタが形成された表示装置であって、
前記薄膜トランジスタは、
ゲート電極と、
前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上であって前記ゲート電極に重畳して形成される半導体層と、
前記半導体層上に形成され互いに対向して配置された一対の電極と、
を備え、
前記半導体層は、平面的に観た場合、前記ゲート電極の形成領域内に配置され、前記ゲート電極側から、結晶性半導体層および非晶質半導体層の順次積層体から構成され、
前記ゲート電極は、少なくとも前記半導体層と対向する領域において、光透過率が0.3%以下となる膜厚で形成されている。
【選択図】 図1
Description
前記薄膜トランジスタは、ゲート電極と、前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上であって前記ゲート電極に重畳して形成される島状の半導体層と、前記半導体層上に形成され互いに対向して配置された一対の電極と、を備え、
前記半導体層は、平面的に観た場合、前記ゲート電極の形成領域内に配置され、前記ゲート電極側から、結晶性半導体層および非晶質半導体層の順次積層体から構成され、
前記ゲート電極は、少なくとも前記半導体層と対向する領域において、光透過率が0.3%以下となる膜厚で形成されていることを特徴する。
図2は、本発明の表示装置の実施例1を液晶表示装置を例に挙げて示した平面図である。
図3(a)、(b)は、基板SUB1の液晶側の面に形成された画素の構成を示す図で、図2に示す実線丸枠Aにおける部分の構成を示している。図3(a)は平面図を、図3(b)は図3(a)のIIIb−IIIb線における断面図を示している。
無機絶縁膜からなる絶縁膜LIが形成され、この絶縁膜LIの上面には各画素領域に画素電極PXが形成されている。絶縁膜LIは画素電極PXと後述の対向電極CTとの層間を図る層間絶縁膜としての機能を有する。画素電極PXは、たとえば図中y方向に延在されx方向に並設された複数(図ではたとえば3個)の線状の電極からなり、これら各電極は、前記薄膜トランジスタTFT側の端部において互いに接続された接続部JNを備えている。画素電極PXは、たとえばITO(Indium Tin Oxide)からなる透光性導電膜から構成されている。画素電極PXの接続部JNの一部は、層間絶縁膜LIおよび絶縁膜PASに形成されたスルーホールTHを通して前記ソース電極STのパッド部PDに電気的に接続されるようになっている。また、この場合において、コモン信号線CL(対向電極CT)において、予め、前記スルーホールTHとほぼ同軸で該スルーホールTHよりも充分に径の大きな開口OPが形成され、前記画素電極PXが対向電極CTと電気的にショートしてしまうのを回避させている。
図1は、前記薄膜トランジスタTFTの詳細な構成を示す断面図で、図3(b)の一点鎖線枠Bにおける拡大図となっている。
Claims (10)
- 画像表示部が形成された基板に薄膜トランジスタが形成された表示装置であって、
前記薄膜トランジスタは、
ゲート電極と、
前記ゲート電極を被って形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上であって前記ゲート電極に重畳して形成される島状の半導体層と、
前記半導体層上に形成され互いに対向して配置された一対の電極と、
を備え、
前記半導体層は、平面的に観た場合、前記ゲート電極の形成領域内に配置され、前記ゲート電極側から、結晶性半導体層および非晶質半導体層の順次積層体から構成され、
前記ゲート電極は、少なくとも前記半導体層と対向する領域において、光透過率が0.3%以下となる膜厚で形成されていることを特徴する表示装置。 - 前記結晶性半導体層は微結晶半導体層であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記結晶性半導体層は多結晶半導体層であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記ゲート電極は、前記半導体層と対向する領域における厚さが、前記半導体層と対向する領域以外の領域における厚さよりも大きいことを特徴とする請求項項1に記載の表示装置。
- 前記結晶性半導体層は、前記ゲート絶縁膜の反対側の表面と前記表面と交差する側壁面とを有し、
前記表面と前記側壁面とは、前記非晶質半導体層で被われていることを特徴とする請求項項1に記載の表示装置。 - 前記ゲート電極はMoW合金で形成され、前記結晶性半導体層は微結晶シリコンで形成され、前記非晶質半導体層はアモルファスシリコンで形成され、
前記ゲート電極の前記膜厚は、75nm以上150nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。 - 前記薄膜トランジスタは、画像表示部を構成する画素内に形成される薄膜トランジスタであることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 前記薄膜トランジスタは、画像表示部の周辺の回路内に形成される薄膜トランジスタであることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 表示装置は液晶表示装置であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
- 表示装置は有機EL表示装置であることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
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