JP2010243196A - ジャイロセンサー - Google Patents
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Abstract
【課題】単一のジャイロ素子を用いて、センシングの方向を複数のうちから容易に選択できるようにし、選択した方向のセンシングをその取り付け方に大きく規制されることなく容易に行えるようにした、ジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】所定の検出方向を有するジャイロ素子をパッケージ内に収容してなるジャイロパッケージ3と、ジャイロ素子を駆動させる半導体装置4とを備えるジャイロセンサー1である。外面側に、異なる面方向の平面部を複数有してなる基板2を備えている。基板2の内面側に、ジャイロパッケージ3と半導体装置4とを設け、基板2の外面側の複数の平面部のそれぞれに、ジャイロパッケージ3及び半導体装置4に導通する外部端子を設けている。
【選択図】図1
【解決手段】所定の検出方向を有するジャイロ素子をパッケージ内に収容してなるジャイロパッケージ3と、ジャイロ素子を駆動させる半導体装置4とを備えるジャイロセンサー1である。外面側に、異なる面方向の平面部を複数有してなる基板2を備えている。基板2の内面側に、ジャイロパッケージ3と半導体装置4とを設け、基板2の外面側の複数の平面部のそれぞれに、ジャイロパッケージ3及び半導体装置4に導通する外部端子を設けている。
【選択図】図1
Description
本発明は、ジャイロセンサーに関する。
圧電素子であるジャイロ素子は、例えば加速度検出器や角速度検出器などとして、デジタルビデオやカメラ、移動体通信機器等の様々な電子機器に用いられている。このジャイロ素子は、通常、パッケージ内に収容されてジャイロパッケージとして用いられる。このようなジャイロパッケージは、さらに基板に実装されてジャイロセンサーとされ、各種機器のマザーボードなどに搭載され、用いられる。
ところで、このジャイロセンサーでは、基板を介して各種機器に取り付けられる際、基板の取り付け面によって決まる一方向、例えばX、Y、Zの方向のうち、一方向の検出(センシング)のみができる形態になっている。
このような背景のもとに従来では、二つの圧電素子(ジャイロ素子)を用いてX方向とY方向の二方向を同時に検出(センシング)できるようにした、圧電デバイスが知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような背景のもとに従来では、二つの圧電素子(ジャイロ素子)を用いてX方向とY方向の二方向を同時に検出(センシング)できるようにした、圧電デバイスが知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、前記特許文献1のものでは二つの圧電素子(ジャイロ素子)を用いているため、二方向を同時にセンシングする必要がなく一方向のセンシングのみが要求される場合には、一方の圧電素子(ジャイロ素子)が無駄になり、コスト高になってしまう。
また、一つのジャイロ素子を用いたものでは、基板の取り付け面とジャイロセンサーとの位置関係により、その検出方向が水平方向、鉛直方向などのいずれの方向になるかが決まってしまう。したがって、従来では、目的とするセンシング方向毎に基板の取り付け面とジャイロセンサーとの位置関係を決めておき、例えば水平方向検出用のジャイロセンサー、鉛直方向検出用のジャイロセンサーというように、予め作り分けしておく必要がある。あるいは、各種機器のマザーボードなどに対する取り付け位置を、センシング方向に応じて変える必要がある。
また、一つのジャイロ素子を用いたものでは、基板の取り付け面とジャイロセンサーとの位置関係により、その検出方向が水平方向、鉛直方向などのいずれの方向になるかが決まってしまう。したがって、従来では、目的とするセンシング方向毎に基板の取り付け面とジャイロセンサーとの位置関係を決めておき、例えば水平方向検出用のジャイロセンサー、鉛直方向検出用のジャイロセンサーというように、予め作り分けしておく必要がある。あるいは、各種機器のマザーボードなどに対する取り付け位置を、センシング方向に応じて変える必要がある。
しかし、前述のように作り分けしておくのでは、ジャイロセンサー自体の製造工程が複雑になり、また在庫管理も複雑になるといった課題がある。さらに、取り付け位置をセンシング方向に応じて変えるのでは、これを取り付ける機器などの設計自由度を大きく損なう結果となり、実際にはなされていないのが現状である。
本発明は前記課題を解決するためになされたもので、単一のジャイロ素子を用いて、センシングの方向を複数のうちから容易に選択できるようにし、選択した方向のセンシングをその取り付け方に大きく規制されることなく容易に行えるようにした、ジャイロセンサーを提供することを目的としている。
本発明のジャイロセンサーは、所定の検出方向を有するジャイロ素子をパッケージ内に収容してなるジャイロパッケージと、前記ジャイロ素子を駆動させる半導体装置と、を備えてなるジャイロセンサーであって、
外面側に、異なる面方向の平面部を複数有し、あるいは凸状の曲面部を有してなる基板を備え、
前記基板の内面側に、前記ジャイロパッケージと前記半導体装置とを設け、
前記基板の外面側の、前記複数の平面部のそれぞれに、あるいは前記曲面部における複数の所定位置のそれぞれに、前記ジャイロパッケージ及び前記半導体装置に導通する外部端子を設けたことを特徴としている。
外面側に、異なる面方向の平面部を複数有し、あるいは凸状の曲面部を有してなる基板を備え、
前記基板の内面側に、前記ジャイロパッケージと前記半導体装置とを設け、
前記基板の外面側の、前記複数の平面部のそれぞれに、あるいは前記曲面部における複数の所定位置のそれぞれに、前記ジャイロパッケージ及び前記半導体装置に導通する外部端子を設けたことを特徴としている。
このジャイロセンサーによれば、基板の外面側の、複数の平面部のそれぞれに、あるいは曲面部における複数の所定位置のそれぞれに、ジャイロパッケージ及び半導体装置に導通する外部端子を設けているので、各種機器のマザーボードなどに取り付けて電気的に接続する際、複数の位置に設けられた外部端子のうちから接続する外部端子を選択して取り付け面を決定し、この取り付け面で取り付けを行うことにより、この取り付け面によって予め決められたジャイロパッケージの方向に応じたセンシングが可能になる。したがって、複数の位置に設けられた外部端子によって決まる複数の取り付け面により、センシングの方向を複数のうちから容易に選択することができる。これにより、単一のジャイロ素子を用いて選択した方向のセンシングが可能になるように、その取り付けを容易に行うことができる。
また、前記ジャイロセンサーにおいて、前記基板は、外面側に第1平面部を有する第1板部と、外面側に前記第1平面部と直交する第2平面部を有する第1板部と、を有してなり、前記ジャイロパッケージは、前記第1平面部の裏面側にて該第1平面に平行に配設され、あるいは前記第2平面部の裏面側にて該第2平面に平行に配設されているのが好ましい。
このようにすれば、第1平面部及び第2平面部を取り付け面とすることにより、第1平面部を取り付け面としたときの第1のセンシング方向と、第2平面部を取り付け面とすることによる、前記第1のセンシング方向と直交する第2のセンシング方向の、二方向のうちから一方向を選択して、容易に取り付けが行えるようになる。
このようにすれば、第1平面部及び第2平面部を取り付け面とすることにより、第1平面部を取り付け面としたときの第1のセンシング方向と、第2平面部を取り付け面とすることによる、前記第1のセンシング方向と直交する第2のセンシング方向の、二方向のうちから一方向を選択して、容易に取り付けが行えるようになる。
また、このジャイロセンサーにおいて、前記半導体装置は、前記ジャイロパッケージが配設された面と同じ面内に配設されているのが好ましい。
このようにすれば、同じ面内に半導体装置とジャイロパッケージとを配設するので、このジャイロセンサーの組み立てが容易になる。
このようにすれば、同じ面内に半導体装置とジャイロパッケージとを配設するので、このジャイロセンサーの組み立てが容易になる。
また、前記ジャイロセンサーにおいて、前記半導体装置は、前記ジャイロパッケージが配設された面に形成された凹部内に配設されており、前記ジャイロパッケージは、前記凹部上に配設されているのが好ましい。
このようにすれば、基板に対する半導体装置及びジャイロパッケージの実装面積が小さくなるので、ジャイロセンサーの小型化が可能になる。
このようにすれば、基板に対する半導体装置及びジャイロパッケージの実装面積が小さくなるので、ジャイロセンサーの小型化が可能になる。
また、前記ジャイロセンサーにおいては、前記第1平面部及び前記第2平面部のそれぞれに、前記ジャイロパッケージ及び前記半導体装置に導通する外部端子が設けられ、該外部端子の一部は、前記第1平面部と前記第2平面部との交線部に設けられて、該第1平面部と第2平面部との両方に延在しているのが好ましい。
このようにすれば、第1平面部と第2平面部との交線部に設けられた外部端子については、第1平面部側と第2平面部側との間を、別の配線を引き回すことなどによって導通させる必要がなくなり、構造を簡略化することができる。
このようにすれば、第1平面部と第2平面部との交線部に設けられた外部端子については、第1平面部側と第2平面部側との間を、別の配線を引き回すことなどによって導通させる必要がなくなり、構造を簡略化することができる。
また、前記ジャイロセンサーにおいて、前記基板は、外面を凸状の曲面部とし、内面を平面部とする蒲鉾状の板状体からなっていてもよい。
このようにすれば、外面の曲面部に、取り付け面が所望の位置関係となるように外部端子を複数の所定位置にそれぞれ設け、複数の取り付け面を形成することにより、これら複数の取り付け面によって決まる複数のセンシング方向のうちから一方向を選択して、容易に取り付けが行えるようになる。
このようにすれば、外面の曲面部に、取り付け面が所望の位置関係となるように外部端子を複数の所定位置にそれぞれ設け、複数の取り付け面を形成することにより、これら複数の取り付け面によって決まる複数のセンシング方向のうちから一方向を選択して、容易に取り付けが行えるようになる。
また、前記ジャイロセンサーにおいて、前記基板は、外面を凸状の曲面部とし、内面を凹状の曲面部とする湾曲した板状体からなっていてもよい。
このようにすれば、前述したように外面の曲面部に複数の取り付け面を形成することにより、複数のセンシング方向のうちから一方向を選択して、容易に取り付けが行えるようになる。また、凹状の曲面部からなる内面にジャイロパッケージと半導体装置とを設けるので、これらジャイロパッケージや半導体装置が外側に出っ張ることが少なく、したがってジャイロセンサーの小型化が可能になる。
このようにすれば、前述したように外面の曲面部に複数の取り付け面を形成することにより、複数のセンシング方向のうちから一方向を選択して、容易に取り付けが行えるようになる。また、凹状の曲面部からなる内面にジャイロパッケージと半導体装置とを設けるので、これらジャイロパッケージや半導体装置が外側に出っ張ることが少なく、したがってジャイロセンサーの小型化が可能になる。
以下、図面を参照して本発明を詳しく説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
図1(a)、(b)は、本発明のジャイロセンサーの第1実施形態を示す図であり、これらの図において符号1はジャイロセンサーである。
図1(a)、(b)は、本発明のジャイロセンサーの第1実施形態を示す図であり、これらの図において符号1はジャイロセンサーである。
このジャイロセンサー1は、基板2と、この基板2の内面に実装されたジャイロパッケージ3及びICチップ(半導体装置)4とを備えてなるものである。基板2は、本実施形態では第1板部5と第2板部6とが直交して側面視L状に形成されたもので、樹脂やセラミックス、ガラス等の絶縁性材料によって形成されたものである。この基板2は、その外面のうち第1板部5の外面を第1平面部5aとし、第2板部6の外面を第2平面部6aとしている。また、これら第1板部5及び第2板部6は、いずれも、それぞれの外面と内面とが平行に形成されている。したがって、これら第1板部5及び第2板部6の内面どうしも、互いに直交したものとなっている。
ジャイロパッケージ3は、セラミックやガラス、樹脂等によって形成された矩形箱状のもので、内部に、例えば図2に示すようなジャイロ素子12を有した圧電デバイス7を収容したものである。
圧電デバイス7は、ジャイロ素子12をTABテープ8に保持させ、このTABテープ8を介して、ジャイロ素子12をジャイロパッケージ3に実装したものである。TABテープ8は、ポリイミド樹脂等からなる絶縁テープ9と、その絶縁テープ9の下面に設けられた導電性を有する配線パターン10とを備えたものである。
圧電デバイス7は、ジャイロ素子12をTABテープ8に保持させ、このTABテープ8を介して、ジャイロ素子12をジャイロパッケージ3に実装したものである。TABテープ8は、ポリイミド樹脂等からなる絶縁テープ9と、その絶縁テープ9の下面に設けられた導電性を有する配線パターン10とを備えたものである。
絶縁テープ9の中央部には開口部11が形成されている。したがって、絶縁テープ9は、全体として環状に形成されており、その下面も環状に形成されている。また、配線パターン10は、絶縁テープ9の周縁部から中央部に向かって延びるように形成されており、その中央部側の端部は開口部11内に臨んで配置されている。この配線パターン10の中央部側(開口部11側)の端部は、絶縁テープ9の下面側から上面側に向かって立ち上がるように形成されており、ジャイロ素子12と電気的に接続される実装端子を形成している。また、ジャイロ素子12は、配線パターン10の実装端子に電気的に接続している。
配線パターン10は、開口部11を挟んで、絶縁テープ9の長辺方向の両側それぞれに、互いに間隔をあけて複数ずつ(ここでは3つずつ、計6つ)設けられている。そして、各配線パターン10は開口部11の内側に向かって延びるように形成されており、開口部11の内側に配線パターン10に応じた複数の実装端子が配置されている。
ジャイロ素子12は、基部15と、この基部15の一方側に延びる一対の励振用振動片16と、基部15の一方側に延びる該励振用振動片16とは他方側に延びる検出用振動片17とを備えて構成されたもので、水晶等の圧電材料によって形成されたものである。励振用振動片16のそれぞれには、この励振用振動片16を励振するための励振電極18が設けられており、検出用振動片17には、この検出用振動片17から発生した電界を検出するための検出電極19が設けられている。
そして、このような構成からなるジャイロ素子12は、配線(図示せず)を介してジャイロパッケージ3の外部端子(図示せず)に電気的に接続されている。また、このジャイロ素子12を収容したジャイロパッケージ3は、図1(a)、(b)に示すように、前記基板2の第1板部5の内面に設けられた接続端子(図示せず)に電気的に接続された状態で、該基板2に保持され、固定されている。これにより、ジャイロパッケージ3内に収容されたジャイロ素子12は、例えばジャイロパッケージ3の取り付け面の法線方向(あるいはその軸回り方向)を、センシング方向としている。なお、本発明のジャイロ素子としては、この図2に示したジャイロ素子12に限定されることなく、従来公知の種々の形態のものが使用可能である。
ICチップ(半導体装置)4は、ジャイロパッケージ3内のジャイロ素子12を駆動させ、さらにこの駆動を制御するためのもので、基板2の第2板部6の内面に保持され、固定されたものである。そして、基板2の第1板部5に設けられてジャイロパッケージ3に接続する前記接続端子(図示せず)に、配線(図示せず)を介して電気的に接続された接続端子(図示せず)に、例えばワイヤボンディングによって電気的に接続されたものである。このような構成によってICチップ(半導体装置)4は、前述したようにジャイロパッケージ3内のジャイロ素子12の駆動制御を行うようになっている。
基板2には、図3に示すようにその外面、すなわち第1板部5の第1平面部5a、第2板部6の第2平面部6aにそれぞれ、アルミニウムや銅等の金属、またはろう材等からなる複数の外部端子19が設けられている。これら外部端子19は、配線(図示せず)を介して前記ジャイロパッケージ3及び前記ICチップ4に電気的に接続し、これらに導通するものである。なお、これら外部端子19は、ジャイロパッケージ3とICチップ4とにそれぞれ直接導通することなく、例えばジャイロパッケージ3を介してICチップ4に導通するといったように、一方に直接接続し、これを介して他方に間接的に接続していてもよい。
また、これら外部端子19において、その一部の外部端子19aは、第1平面部5aと第2平面部6aとの交線部、すなわちこれらの交線20とその近傍部に設けられ、したがって第1平面部5aと第2平面部6aとの両方に延在して形成されている。これにより、これら外部端子19aは、第1平面部5aにおいても、また第2平面部6aにおいても、同じように外部端子として機能するようになっている。
ここで、第1平面部5aにおける外部端子19は、本実施形態では図4(a)に示すように合計8個設けられており、そのうちの4個が、第2平面部6aにまで延在して第2平面部6a側と共通となる、外部端子19aとなっている。同様に、第2平面部5aにおける外部端子19も、本実施形態では図4(b)に示すように合計8個設けられており、そのうちの4個が、前記の外部端子19aとなっている。
そして、第1平面部5aにおいて交線20と反対側の端部に設けられた外部端子19と、第2平面部6aにおいて交線20と反対側の端部に設けられた外部端子19とは、互いに対応する位置にある外部端子19、19どうしが配線(図示せず)を介して導通させられている。これにより、第1平面部5aと第2平面部6aとでは、外部端子19と外部端子19aとの位置関係、及び電気的な関係が同じになっており、被取り付け面に対して同じ条件で、電気的に接続されるようになっている。
なお、このジャイロセンサー1では、図3に示すようにジャイロパッケージ3、ICチップ4を覆って、基板2の内面側をモールド樹脂25で封止しておく。
なお、このジャイロセンサー1では、図3に示すようにジャイロパッケージ3、ICチップ4を覆って、基板2の内面側をモールド樹脂25で封止しておく。
このような構成からなるジャイロセンサー1を、各種機器のマザーボードに取り付けて電気的に接続するには、まず、前記マザーボードに取り付けて機器に組み込んだときの、ジャイロ素子12によるセンシング方向を決定する。そして、センシング方向がジャイロパッケージ3の取り付け面の法線方向(あるいはその軸回り方向)となるように、ジャイロパッケージ3の取り付け面を決定する。すなわち、図5(a)に示すように第1平面部5aを取り付け面として、マザーボード21に取り付ける。あるいは、図5(b)に示すように第2平面部6aを取り付け面として、マザーボード21に取り付ける。
その際、マザーボード21の第1接続端子22に交線20部の外部端子19aを接続し、第2接続端子23に他方の外部端子19を接続する。これにより、図5(a)に示したように第1平面部5aを取り付け面とした場合にも、図5(b)に示したように第2平面部6aを取り付け面とした場合にも、マザーボード21に対して同様に取り付けを行うことができる。外部端子19、19aと接続端子22、23との接続については、軟ろう材(はんだ)24や導電性ペースト(図示せず)などが用いられる。
このようなジャイロセンサー1にあっては、基板2の第1平面部5aと第2平面部6aとをマザーボード21に対する取り付け面とし、いずれの面を用いても、電気的に同じ取り付けができるようにしたので、所望のセンシング方向となるようにこれら取り付け面から一つを選択し、選択した取り付け面でマザーボード21に取り付けることにより、ジャイロセンサー1を所望のセンシング方向となるようにマザーボード21に取り付けることができる。したがって、このジャイロセンサー1によれば、単一のジャイロ素子12を用い、選択した方向のセンシングが可能になるように、マザーボード21に対して容易に取り付けを行うことができる。
また、第1板部5と第2板部6とを直交させて基板2を側面視L状に形成したので、例えば図5(a)に示したように第1平面部5aを取り付け面としたときに、ジャイロセンサー1のセンシング方向が鉛直方向になるとすると、図5(b)に示したように取り付け面を第2平面部6aに変更することにより、センシング方向を水平方向に容易に変更することができる。
また、第1平面部5aと第2平面部6aとの交線部に設けた外部端子19aを、第1平面部5aと第2平面部6aとの両方に延在させて形成しているので、該外部端子19aについては、第1平面部5a側と第2平面部6a側との間を、別の配線を引き回すことなく導通させることができ、したがって基板2における配線構造を簡略化することができる。
図6は、本発明のジャイロセンサーの第2実施形態を示す図であり、図6中符号30はジャイロセンサーである。このジャイロセンサー30が図3に示したジャイロセンサー1と異なるところは、基板2の一方の板部の内面に、ジャイロパッケージ3とICチップ4とが共に配設されている点である。
すなわち、このジャイロセンサー30は、第1板部5の内面にジャイロパッケージ3とICチップ4とが共に配設されている。したがって、このジャイロセンサー30によれば、同じ面内にジャイロパッケージ3とICチップ4とを配設するため、その組み立て性を向上し、生産性を高めることができる。
図7は、本発明のジャイロセンサーの第3実施形態を示す図であり、図7中符号40はジャイロセンサーである。このジャイロセンサー40が図3に示したジャイロセンサー1と異なるところは、基板2の一方の板部の内面に、ジャイロパッケージ3とICチップ4とが共に配設されており、さらに、これらジャイロパッケージ3とICチップ4とが積層されている点である。
すなわち、このジャイロセンサー40は、第1板部5の内面に凹部41が形成されており、この凹部41内に、ICチップ4が固定されている。そして、ジャイロパッケージ3は、この凹部41上に配置されて、第1板部5の内面に固定されている。なお、これらICチップ4とジャイロパッケージ3とは、図3に示したジャイロセンサー1と同様に、図示しない配線等によって電気的に接続されている。
このジャイロセンサー40によれば、図6に示した前記ジャイロセンサー40と同様に、その組み立て性を向上して生産性を高めることができる。また、凹部41内にICチップ4を配設し、該凹部41上にジャイロパッケージ3を配設しているので、基板2に対するICチップ4及びジャイロパッケージ3の実装面積を小さくすることができ、したがってジャイロセンサー40の小型化を図ることができる。
図8は、本発明のジャイロセンサーの第4実施形態を示す図であり、図8中符号50はジャイロセンサーである。このジャイロセンサー50が図3に示したジャイロセンサー1と異なるところは、基板51が、第1板部5及び第2板部6に加え、第3板部52を有している点である。
第3板部52は、第1板部5、第2板部6のそれぞれに対して直交するように配置されたものである。したがって、その外面も、第1板部5、第2板部6のそれぞれの外面(第1平面部5a、第2平面部5b)に対して直交した面となっている。また、この第3板部52の外面にも、図4(a)、(b)に示した外部端子19、19aと同じ配置の外部端子(図示せず)が8個設けられており、したがって、この第3板部52の外面も、第1板部5の外面(第1平面部5a)、第2板部6の外面(第2平面部5b)と同様に、マザーボード21に対して同様に取り付けができるようになっている。
よって、このジャイロセンサー50にあっては、基板2の第1平面部5a及び第2平面部6aに加えて、第3板部52の外面もマザーボード21に対する取り付け面とし、いずれの面を用いても、電気的に同じ取り付けを行うことができるものとなる。したがって、第3板部52の外面を取り付け面とすることで、第1平面部5aを取り付け面とした場合とも、また第2平面部6aを取り付け面とした場合とも異なる方向、すなわち第1平面部5aを取り付け面とした場合のセンシング方向と直交し、かつ、第2平面部6aを取り付け面とした場合のセンシング方向とも直交する方向を、センシング方向とすることができる。これにより、このジャイロセンサー50は、単一のジャイロ素子12を用い、互いに直交する三つの方向から選択した一つの方向のセンシングが可能になるように、マザーボード21に対して容易に取り付けを行うことができる。
図9は、本発明のジャイロセンサーの第5実施形態を示す図であり、図9中符号60はジャイロセンサーである。このジャイロセンサー60が図3に示したジャイロセンサー1と異なるところは、基板61が、外面を凸状の湾曲面からなる曲面部61aとし、内面を平面部61bとする蒲鉾状の板状体からなっている点である。
すなわち、このジャイロセンサー60は、平面部61bにジャイロパッケージ3及びICチップ4を実装し、曲面部61aに、外部端子19を設けたものである。ここで、外部端子19は、曲面部61aにおける複数の所定位置のそれぞれに設けられており、これによって曲面部61aには、外部端子19の配列によって規定されるマザーボード21への取り付け面が、例えば二つ(複数)形成されている。具体的には、湾曲面からなる曲面部61aの一方の長辺62a側と、他方の長辺62b側とにそれぞれ外部端子19が配列されており、これら外部端子19を含む領域が取り付け面となっている。
このジャイロセンサー60にあっても、所望のセンシング方向となるように二つの取り付け面から一つを選択し、選択した取り付け面でマザーボード21に取り付けることにより、ジャイロセンサー60を所望のセンシング方向となるようにマザーボード21に取り付けることができる。したがって、このジャイロセンサー60によれば、単一のジャイロ素子12を用い、選択した方向のセンシングが可能になるように、マザーボード21に対して容易に取り付けを行うことができる。
図10は、本発明のジャイロセンサーの第6実施形態を示す図であり、図10中符号70はジャイロセンサーである。このジャイロセンサー70が図3に示したジャイロセンサー1と異なるところは、基板71が、外面を凸状の曲面部71aとし、内面を凹状の曲面部71bとする湾曲した板状体からなっている点である。
すなわち、このジャイロセンサー70は、凹状の曲面部71bにジャイロパッケージ3及びICチップ4を実装し、凸状の曲面部71aに、外部端子19を設けたものである。ここで、凹状の曲面部71bには、凹部72が形成されており、図7に示したジャイロセンサー40と同様にこの凹部72内にICチップ4が実装され、この凹部72上にジャイロパッケージ3が配置されている。また、外部端子19は、図9に示したジャイロセンサー60と同様に、湾曲面からなる凸状の曲面部71aの一方の長辺側と、他方の長辺側とにそれぞれ外部端子19が配列されており、これら外部端子19を含む領域が取り付け面となっている。
このジャイロセンサー70にあっても、選択した取り付け面でマザーボード21に取り付けることにより、ジャイロセンサー70を所望のセンシング方向となるようにマザーボード21に取り付けることができる。したがって、このジャイロセンサー70によれば、単一のジャイロ素子12を用い、選択した方向のセンシングが可能になるように、マザーボード21に対して容易に取り付けを行うことができる。
また、凹状の曲面部71bにジャイロパッケージ3とICチップ4とを設けるので、これらジャイロパッケージ3やICチップ4が外側に出っ張ることが少なく、したがってジャイロセンサー70の小型化を図ることができる。特に、凹部72内にICチップ4を配設し、該凹部72上にジャイロパッケージ3を配設しているので、基板71に対するICチップ4及びジャイロパッケージ3の実装面積を小さくすることができ、これによってジャイロセンサー70をより一層小型化することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では、基板として平板状のものや蒲鉾状、湾曲板状のものを用いたが、他に例えば円筒状のものや、平板と湾曲板とを組み合わせた形状のものなど、種々のものを用いることができる。
また、曲面部を有してなる基板を用いた場合には、この曲面部に配設する外部端子についても、ジャイロセンサーのセンシング方向が所望の位置になるように、任意の位置に配設することができる。
また、曲面部を有してなる基板を用いた場合には、この曲面部に配設する外部端子についても、ジャイロセンサーのセンシング方向が所望の位置になるように、任意の位置に配設することができる。
1、30、40、50、60、70…ジャイロセンサー、2、51、61、71…基板、3…ジャイロパッケージ、4…ICチップ(半導体装置)、5…第1板部、6…第2板部、6a…第2平面部、12…ジャイロ素子、19、19a…外部端子、20…交線、21…マザーボード、41、72…凹部
Claims (7)
- 所定の検出方向を有するジャイロ素子をパッケージ内に収容してなるジャイロパッケージと、前記ジャイロ素子を駆動させる半導体装置と、を備えてなるジャイロセンサーであって、
外面側に、異なる面方向の平面部を複数有し、あるいは凸状の曲面部を有してなる基板を備え、
前記基板の内面側に、前記ジャイロパッケージと前記半導体装置とを設け、
前記基板の外面側の、前記複数の平面部のそれぞれに、あるいは前記曲面部における複数の所定位置のそれぞれに、前記ジャイロパッケージ及び前記半導体装置に導通する外部端子を設けたことを特徴とするジャイロセンサー。 - 前記基板は、外面側に第1平面部を有する第1板部と、外面側に前記第1平面部と直交する第2平面部を有する第1板部と、を有してなり、
前記ジャイロパッケージは、前記第1平面部の裏面側にて該第1平面に平行に配設され、あるいは前記第2平面部の裏面側にて該第2平面に平行に配設されていることを特徴とする請求項1記載のジャイロセンサー。 - 前記半導体装置は、前記ジャイロパッケージが配設された面と同じ面内に配設されていることを特徴とする請求項2記載のジャイロセンサー。
- 前記半導体装置は、前記ジャイロパッケージが配設された面に形成された凹部内に配設されており、前記ジャイロパッケージは、前記凹部上に配設されていることを特徴とする請求項2記載のジャイロセンサー。
- 前記第1平面部及び前記第2平面部のそれぞれに、前記ジャイロパッケージ及び前記半導体装置に導通する外部端子が設けられ、該外部端子の一部は、前記第1平面部と前記第2平面部との交線部に設けられて、該第1平面部と第2平面部との両方に延在していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のジャイロセンサー。
- 前記基板は、外面を凸状の曲面部とし、内面を平面部とする蒲鉾状の板状体からなっていることを特徴とする請求項1記載のジャイロセンサー。
- 前記基板は、外面を凸状の曲面部とし、内面を凹状の曲面部とする湾曲した板状体からなっていることを特徴とする請求項1記載のジャイロセンサー。
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-
2009
- 2009-04-01 JP JP2009089144A patent/JP2010243196A/ja active Pending
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CN103107123A (zh) * | 2012-12-12 | 2013-05-15 | 贵州振华风光半导体有限公司 | 三维集成功率厚膜混合集成电路的集成方法 |
CN103151276A (zh) * | 2012-12-12 | 2013-06-12 | 贵州振华风光半导体有限公司 | 一种高集成度功率薄膜混合集成电路的集成方法 |
CN103280424A (zh) * | 2012-12-12 | 2013-09-04 | 贵州振华风光半导体有限公司 | 一种高集成度功率厚膜混合集成电路的集成方法 |
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