JP2010241686A - ガスの分離方法及び装置 - Google Patents
ガスの分離方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010241686A JP2010241686A JP2010166255A JP2010166255A JP2010241686A JP 2010241686 A JP2010241686 A JP 2010241686A JP 2010166255 A JP2010166255 A JP 2010166255A JP 2010166255 A JP2010166255 A JP 2010166255A JP 2010241686 A JP2010241686 A JP 2010241686A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- adsorbent
- adsorption
- nitrogen
- path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
Abstract
【解決手段】 クリプトン、キセノン、ネオンの少なくとも1種を含む混合ガス中の不純物成分を分離除去するにあたり、不純物成分のアンモニアと窒素酸化物とを脱硝触媒により窒素及び水蒸気に転化させてアンモニア及び窒素酸化物の少なくともいずれか一方を除去する触媒反応工程と、窒素酸化物を窒素と水蒸気とに転化する脱硝工程と、アンモニア及び水蒸気を吸着分離する第1吸着分離工程と、クリプトン、キセノン及びネオンを吸着する第2吸着剤に対して難吸着性の不純物成分を排出する第2吸着分離工程と、第2吸着分離工程で第2吸着剤に吸着したガス成分を回収する脱着回収工程と、第3吸着剤に接触させて易吸着性のガス成分を吸着分離する第3吸着分離工程とを行う。
【選択図】 図1
Description
6NO+4NH3 → 5N2+6H2O
6NO2+8NH3 → 7N2+12H2O
NO+NH3 → N2+2/3H2O
NO+NO2+2NH3 → N2+3H2O
2NO2+4H2 → N2+4H2O
N2O+H2 → N2+H2O
O2+2H2 → 2H2O
Claims (2)
- クリプトン、キセノン及びネオンの少なくとも1種を含む混合ガス中の不純物成分を分離除去するガスの分離方法において、前記混合ガスに不純物成分として共存するアンモニアと窒素酸化物とを脱硝触媒により反応させて窒素及び水蒸気に転化させることにより、アンモニア及び窒素酸化物の少なくともいずれか一方を混合ガス中から除去する触媒反応工程と、該触媒反応工程後のガスにおける不純物成分である窒素酸化物を還元性物質の存在下で脱硝触媒反応により窒素と水蒸気とに転化する脱硝工程と、アンモニア及び水蒸気を易吸着性ガス成分とする第1吸着剤に前記脱硝工程後のガスを接触させて不純物であるアンモニア及び水蒸気を前記第1吸着剤に吸着させて該ガス中から分離する第1吸着分離工程と、クリプトン、キセノン及びネオンを易吸着性ガス成分とする第2吸着剤に前記第1吸着分離工程後のガスを接触させ、前記第2吸着剤に対して難吸着性の不純物成分を排出する第2吸着分離工程と、該第2吸着分離工程で前記第2吸着剤に吸着したガス成分を該第2吸着剤から脱着させて回収する脱着回収工程と、該脱着回収工程で回収したガスを、クリプトン、キセノン及びネオンを難吸着性ガス成分とする第3吸着剤に接触させ、該第3吸着剤に対して易吸着性のガス成分を吸着分離する第3吸着分離工程とを含むことを特徴とするガスの分離方法。
- クリプトン、キセノン及びネオンの少なくとも1種を含む混合ガス中の不純物成分を分離除去するガスの分離装置において、前記混合ガスに不純物成分として共存するアンモニアと窒素酸化物とを脱硝触媒により反応させて窒素及び水蒸気に転化させて、該アンモニア及び該窒素酸化物の少なくともいずれか一方を除去する触媒反応手段と、該触媒反応手段の出口側から導出したガス中の窒素酸化物を還元性物質の存在下で窒素と水蒸気とに転化する脱硝触媒を充填した脱硝触媒反応手段と、アンモニア及び水蒸気を易吸着性ガス成分とする第1吸着剤を充填した第1吸着分離手段と、クリプトン、キセノン及びネオンを易吸着性ガス成分とする第2吸着剤を充填した第2吸着分離手段と、前記脱硝触媒反応手段の入口側に接続された還元性物質添加経路と、前記脱硝触媒反応手段の出口側から導出したガスを第1吸着筒の入口側に導入する第1導入経路と、前記第1吸着剤に吸着しなかったガス成分を前記第1吸着筒の出口側から導出して前記第2吸着分離手段の入口側に導入する第1導出経路及び第2導入経路と、前記第2吸着剤に吸着しなかったガス成分を第2吸着分離手段の出口側から導出する第2導出経路と、前記第2吸着剤に吸着したガス成分を第2吸着剤から脱着させて第2吸着分離手段の入口側から回収する回収経路と、クリプトン、キセノン及びネオンを難吸着性ガス成分とする第3吸着剤を充填した第3吸着分離手段と、前記第2吸着分離手段から前記回収経路に回収したガスを前記第3吸着分離手段の入口側に導入する第3導入経路と、前記第3吸着剤に吸着しなかったガス成分を前記第3吸着筒の出口側から導出する第3導出経路とを備えていることを特徴とするガスの分離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010166255A JP5222327B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | ガスの分離方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010166255A JP5222327B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | ガスの分離方法及び装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004174210A Division JP4580694B2 (ja) | 2004-06-11 | 2004-06-11 | ガスの分離方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010241686A true JP2010241686A (ja) | 2010-10-28 |
JP5222327B2 JP5222327B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=43095137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010166255A Expired - Fee Related JP5222327B2 (ja) | 2010-07-23 | 2010-07-23 | ガスの分離方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5222327B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105953071A (zh) * | 2016-06-20 | 2016-09-21 | 上海启元空分技术发展股份有限公司 | 一种氖氦分离过程中液氮自动回收装置及回收方法 |
WO2017071866A1 (en) | 2015-10-30 | 2017-05-04 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Neon recovering/purifying system and neon recovering/purifying method |
JP2017148807A (ja) * | 2017-05-15 | 2017-08-31 | 日本エア・リキード株式会社 | ネオン回収精製システムおよびネオン回収精製方法 |
CN109437234A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-03-08 | 大连中鼎化学有限公司 | 一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法 |
CN111068456A (zh) * | 2018-10-22 | 2020-04-28 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种烟气脱硫脱氮方法 |
JPWO2022065466A1 (ja) * | 2020-09-28 | 2022-03-31 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002126435A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-08 | Nippon Sanso Corp | ガスの分離精製方法及びその装置 |
JP2003342010A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Nippon Sanso Corp | ガス精製方法及び装置 |
JP2004161503A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Nippon Sanso Corp | ガス精製方法 |
-
2010
- 2010-07-23 JP JP2010166255A patent/JP5222327B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002126435A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-08 | Nippon Sanso Corp | ガスの分離精製方法及びその装置 |
JP2003342010A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Nippon Sanso Corp | ガス精製方法及び装置 |
JP2004161503A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Nippon Sanso Corp | ガス精製方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10703631B2 (en) | 2015-10-30 | 2020-07-07 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Neon recovering/purifying system and neon recovering/purifying method |
WO2017071866A1 (en) | 2015-10-30 | 2017-05-04 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Neon recovering/purifying system and neon recovering/purifying method |
JP2017080710A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | 日本エア・リキード株式会社 | ネオン回収精製システムおよびネオン回収精製方法 |
KR20180073613A (ko) * | 2015-10-30 | 2018-07-02 | 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레?드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드 | 네온 회수/정제 시스템 및 네온 회수/정제 방법 |
KR102618087B1 (ko) | 2015-10-30 | 2023-12-26 | 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드 | 네온 회수/정제 시스템 및 네온 회수/정제 방법 |
CN105953071A (zh) * | 2016-06-20 | 2016-09-21 | 上海启元空分技术发展股份有限公司 | 一种氖氦分离过程中液氮自动回收装置及回收方法 |
JP2017148807A (ja) * | 2017-05-15 | 2017-08-31 | 日本エア・リキード株式会社 | ネオン回収精製システムおよびネオン回収精製方法 |
CN111068456A (zh) * | 2018-10-22 | 2020-04-28 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种烟气脱硫脱氮方法 |
CN111068456B (zh) * | 2018-10-22 | 2022-03-11 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种烟气脱硫脱氮方法 |
CN109437234A (zh) * | 2018-11-15 | 2019-03-08 | 大连中鼎化学有限公司 | 一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法 |
CN109437234B (zh) * | 2018-11-15 | 2024-02-02 | 大连中鼎化学有限公司 | 一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法 |
JPWO2022065466A1 (ja) * | 2020-09-28 | 2022-03-31 | ||
WO2022065466A1 (ja) * | 2020-09-28 | 2022-03-31 | 大陽日酸株式会社 | ガス分離方法、およびガス分離装置 |
JP7310031B2 (ja) | 2020-09-28 | 2023-07-18 | 大陽日酸株式会社 | ガス分離方法、およびガス分離装置 |
US11925896B2 (en) | 2020-09-28 | 2024-03-12 | Taiyo Nippon Sanso Corporation | Gas separation method and gas separation device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5222327B2 (ja) | 2013-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3891773B2 (ja) | ガスの分離精製方法及びその装置 | |
US8597584B2 (en) | Gas purifying process and device | |
JP5202836B2 (ja) | キセノンの回収システムおよび回収装置 | |
JP5222327B2 (ja) | ガスの分離方法及び装置 | |
JP5392745B2 (ja) | キセノンの濃縮方法、キセノン濃縮装置、及び空気液化分離装置 | |
JP5248478B2 (ja) | キセノンの濃縮方法および濃縮装置 | |
JP3869831B2 (ja) | ガス分離方法及び装置 | |
US20100115994A1 (en) | Adsorbent for carbon monoxide, gas purification method, and gas purification apparatus | |
JP4580694B2 (ja) | ガスの分離方法及び装置 | |
JP6413167B2 (ja) | ヘリウムガス精製装置およびヘリウムガス精製方法 | |
JP4174298B2 (ja) | ガス精製方法及び装置 | |
JP4322171B2 (ja) | ガス処理方法及び装置 | |
JP5684898B2 (ja) | ガス精製方法 | |
JP2010235398A (ja) | 超高純度窒素ガスの製造方法及び製造装置 | |
JP2024519064A (ja) | 圧力変動吸着を用いたアンモニアからの水素の製造方法 | |
JPH0592123A (ja) | 微量酸素の除去方法 | |
JPH1076128A (ja) | ガスの精製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100810 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130308 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |