JPH0592123A - 微量酸素の除去方法 - Google Patents
微量酸素の除去方法Info
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- JPH0592123A JPH0592123A JP3252386A JP25238691A JPH0592123A JP H0592123 A JPH0592123 A JP H0592123A JP 3252386 A JP3252386 A JP 3252386A JP 25238691 A JP25238691 A JP 25238691A JP H0592123 A JPH0592123 A JP H0592123A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な装置構成で実施することができる微量
酸素の除去方法を提供する。 【構成】 微量の酸素と、該酸素との反応に必要な化学
量論量より過剰な水素とを含む被精製ガス中の酸素を除
去するにあたり、担体に担持させた触媒により前記酸素
と水素とを常温で反応させて水に変換し、生成した水を
前記触媒の担体に吸着させて除去する。
酸素の除去方法を提供する。 【構成】 微量の酸素と、該酸素との反応に必要な化学
量論量より過剰な水素とを含む被精製ガス中の酸素を除
去するにあたり、担体に担持させた触媒により前記酸素
と水素とを常温で反応させて水に変換し、生成した水を
前記触媒の担体に吸着させて除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微量酸素の除去方法に関
し、詳しくは、ガス中に含まれる微量の酸素を水素と反
応させて水に変換し、生成した水を除去することによ
り、前記酸素を除去する方法に関する。
し、詳しくは、ガス中に含まれる微量の酸素を水素と反
応させて水に変換し、生成した水を除去することによ
り、前記酸素を除去する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の一般的な酸素除去装置を
示すもので、ガス中に不純物として含まれている微量の
酸素と水素とを触媒反応により反応させて水に変換し、
生成した水を吸着除去するものである。
示すもので、ガス中に不純物として含まれている微量の
酸素と水素とを触媒反応により反応させて水に変換し、
生成した水を吸着除去するものである。
【０００３】酸素を除去する被精製ガスは、該ガス中に
酸素との反応に必要な化学量論量より過剰な水素を含む
場合（被精製ガスが水素の場合も含む）はそのまま、水
素が不足する場合には、前工程で所定量の水素を添加さ
れた後、管１から供給される。
酸素との反応に必要な化学量論量より過剰な水素を含む
場合（被精製ガスが水素の場合も含む）はそのまま、水
素が不足する場合には、前工程で所定量の水素を添加さ
れた後、管１から供給される。
【０００４】被精製ガスは、熱交換器２で昇温した後、
さらに加熱器３で反応温度まで加熱されて反応塔４に導
入される。反応塔４内には、パラジウムや白金等の貴金
属を担体に担持させた触媒５が充填されており、該触媒
上で酸素と水素とが反応して水に変換される。このとき
の反応温度は、常温から約５００℃の範囲で行うことが
できるが、一般には１５０〜２５０℃で行われている。
さらに加熱器３で反応温度まで加熱されて反応塔４に導
入される。反応塔４内には、パラジウムや白金等の貴金
属を担体に担持させた触媒５が充填されており、該触媒
上で酸素と水素とが反応して水に変換される。このとき
の反応温度は、常温から約５００℃の範囲で行うことが
できるが、一般には１５０〜２５０℃で行われている。
【０００５】上記反応により酸素を除去されたガスは、
管６を通って前記熱交換器２で降温した後、生成した水
を除去する吸着（乾燥）設備７に送られ、吸着工程にあ
る吸着塔で水分を除去されて精製ガスとなり管８から送
り出される。
管６を通って前記熱交換器２で降温した後、生成した水
を除去する吸着（乾燥）設備７に送られ、吸着工程にあ
る吸着塔で水分を除去されて精製ガスとなり管８から送
り出される。
【０００６】上記吸着設備７は、複数、例えば２基の吸
着塔７ａ，７ｂを切替え可能に設けたものであって、い
わゆる温度変動吸着法により連続的にガス中の水分を除
去するものである。吸着塔内に充填される吸着剤として
は、一般にシリカゲル，アルミナゲル，ゼオライト等が
単独あるいは組み合わせて用いられる。
着塔７ａ，７ｂを切替え可能に設けたものであって、い
わゆる温度変動吸着法により連続的にガス中の水分を除
去するものである。吸着塔内に充填される吸着剤として
は、一般にシリカゲル，アルミナゲル，ゼオライト等が
単独あるいは組み合わせて用いられる。
【０００７】上記温度変動吸着法により水分を除去する
吸着操作としては、一般に次の３工程で構成されてい
る。 常温で水分を吸着除去する吸着工程 精製ガスの一部を流しながら加熱し、水分を脱着する
加熱工程 吸着剤を常温まで冷却する冷却工程 これらの工程を、両吸着塔７ａ，７ｂについて表１に示
す順序で繰り返すことにより連続的に水分の除去処理を
行う。
吸着操作としては、一般に次の３工程で構成されてい
る。 常温で水分を吸着除去する吸着工程 精製ガスの一部を流しながら加熱し、水分を脱着する
加熱工程 吸着剤を常温まで冷却する冷却工程 これらの工程を、両吸着塔７ａ，７ｂについて表１に示
す順序で繰り返すことにより連続的に水分の除去処理を
行う。
【０００８】
【表１】
【０００９】例えば、吸着塔７ａが吸着工程にある表１
の工程１では、入口弁１０ａから水分を含むガスが吸着
塔７ａに導入され、処理されて出口弁１１ａから管８に
送り出されるとともに、加熱器１２の弁１２ａが開かれ
て精製ガスの一部が加熱器１２に導入され、加熱されて
加熱工程にある吸着塔７ｂに供給され、吸着剤に吸着さ
れている水分を脱着して再生出口弁１３ｂを経て排気管
１４から排出される。なお、このとき他の弁１０ｂ，１
１ｂ，１２ｂ，１３ａは閉である。次の工程２では、加
熱器１２の弁１２ａが閉じられるとともにバイパス弁１
２ｂが開かれ、精製ガスの一部が常温のまま吸着塔７ｂ
に供給される。
の工程１では、入口弁１０ａから水分を含むガスが吸着
塔７ａに導入され、処理されて出口弁１１ａから管８に
送り出されるとともに、加熱器１２の弁１２ａが開かれ
て精製ガスの一部が加熱器１２に導入され、加熱されて
加熱工程にある吸着塔７ｂに供給され、吸着剤に吸着さ
れている水分を脱着して再生出口弁１３ｂを経て排気管
１４から排出される。なお、このとき他の弁１０ｂ，１
１ｂ，１２ｂ，１３ａは閉である。次の工程２では、加
熱器１２の弁１２ａが閉じられるとともにバイパス弁１
２ｂが開かれ、精製ガスの一部が常温のまま吸着塔７ｂ
に供給される。
【００１０】上記工程２を終えると、各弁が所定の順序
で切替え開閉されて工程３及び工程４に進み、吸着塔７
ｂが吸着工程に入り、吸着塔７ａが加熱工程及び冷却工
程に入る。
で切替え開閉されて工程３及び工程４に進み、吸着塔７
ｂが吸着工程に入り、吸着塔７ａが加熱工程及び冷却工
程に入る。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
方法では、装置を構成する要素として、触媒塔，複数の
吸着塔，触媒設備用の加熱器及び熱交換器，吸着設備用
の加熱器等が必要であり、配管が複雑で装置の大きさも
大きくなるという欠点があった。
方法では、装置を構成する要素として、触媒塔，複数の
吸着塔，触媒設備用の加熱器及び熱交換器，吸着設備用
の加熱器等が必要であり、配管が複雑で装置の大きさも
大きくなるという欠点があった。
【００１２】そこで本発明は、従来法よりも簡単な装置
構成で実施することができる微量酸素の除去方法を提供
することを目的としている。
構成で実施することができる微量酸素の除去方法を提供
することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明の微量酸素の除去方法は、第１の構成とし
て、微量の酸素と、該酸素との反応に必要な化学量論量
より過剰な水素とを含むガスから酸素を除去する方法に
おいて、担体に担持させた触媒により前記酸素と水素と
を常温で反応させて水に変換し、生成した水を前記触媒
の担体に吸着させて除去することを特徴としている。
ため、本発明の微量酸素の除去方法は、第１の構成とし
て、微量の酸素と、該酸素との反応に必要な化学量論量
より過剰な水素とを含むガスから酸素を除去する方法に
おいて、担体に担持させた触媒により前記酸素と水素と
を常温で反応させて水に変換し、生成した水を前記触媒
の担体に吸着させて除去することを特徴としている。
【００１４】また、本発明の第２の構成は、微量の酸素
と、該酸素との反応に必要な化学量論量より過剰な水素
とを含むガスから酸素を除去する方法において、担体に
担持させた触媒を充填した反応吸着塔を複数基設けると
ともに、反応吸着塔に前記酸素と水素とを含むガスを導
入して酸素と水素とを常温で担体に担持させた触媒によ
り反応させて水に変換し、生成した水を前記触媒の担体
に吸着させて除去する反応吸着工程と、反応吸着塔から
導出される精製ガスの一部を前記反応吸着工程を終了し
た反応吸着塔に導入するとともに該反応吸着塔を加熱し
て前記触媒の担体に吸着した水分を脱着する加熱工程
と、前記精製ガスの一部を該加熱工程を終えた反応吸着
塔に導入して該反応吸着塔を常温に冷却する冷却工程と
を、前記複数基の反応吸着塔について順次切替えて繰り
返すことにより、前記ガス中の酸素を連続的に除去する
ことを特徴としている。
と、該酸素との反応に必要な化学量論量より過剰な水素
とを含むガスから酸素を除去する方法において、担体に
担持させた触媒を充填した反応吸着塔を複数基設けると
ともに、反応吸着塔に前記酸素と水素とを含むガスを導
入して酸素と水素とを常温で担体に担持させた触媒によ
り反応させて水に変換し、生成した水を前記触媒の担体
に吸着させて除去する反応吸着工程と、反応吸着塔から
導出される精製ガスの一部を前記反応吸着工程を終了し
た反応吸着塔に導入するとともに該反応吸着塔を加熱し
て前記触媒の担体に吸着した水分を脱着する加熱工程
と、前記精製ガスの一部を該加熱工程を終えた反応吸着
塔に導入して該反応吸着塔を常温に冷却する冷却工程と
を、前記複数基の反応吸着塔について順次切替えて繰り
返すことにより、前記ガス中の酸素を連続的に除去する
ことを特徴としている。
【００１５】
【作 用】上記構成によれば、触媒塔と吸着塔とを一体
化でき、乾燥工程を省略できるとともに、触媒設備用の
加熱器及び熱交換器が不要になり、装置構成を簡単なも
のとすることができる。
化でき、乾燥工程を省略できるとともに、触媒設備用の
加熱器及び熱交換器が不要になり、装置構成を簡単なも
のとすることができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を、図１に示す一実施例に基づ
いて、さらに詳細に説明する。
いて、さらに詳細に説明する。
【００１７】本実施例装置は、２基の反応吸着塔を切替
え使用することにより連続して被精製ガス中の酸素を除
去できるようにしたものであり、２基の反応吸着塔２１
ａ，２１ｂと、加熱器２２と、両反応吸着塔２１ａ，２
１ｂを切替え運転するための複数の弁とから構成されて
いる。なお、被精製ガスは、前記同様に、除去すべき酸
素との反応に必要な化学量論量より過剰な水素を含むも
のである。
え使用することにより連続して被精製ガス中の酸素を除
去できるようにしたものであり、２基の反応吸着塔２１
ａ，２１ｂと、加熱器２２と、両反応吸着塔２１ａ，２
１ｂを切替え運転するための複数の弁とから構成されて
いる。なお、被精製ガスは、前記同様に、除去すべき酸
素との反応に必要な化学量論量より過剰な水素を含むも
のである。
【００１８】反応吸着塔２１ａ，２１ｂ内には、微量の
水分を吸着することができる担体、例えばアルミナ等に
パラジウムや白金等を担持させた触媒兼吸着剤が充填さ
れており、常温で酸素と水素とを触媒反応させ、生成し
た水分を担体に吸着させて除去するようにしている。
水分を吸着することができる担体、例えばアルミナ等に
パラジウムや白金等を担持させた触媒兼吸着剤が充填さ
れており、常温で酸素と水素とを触媒反応させ、生成し
た水分を担体に吸着させて除去するようにしている。
【００１９】また、微量の酸素とは、該酸素と水素との
反応熱により触媒兼吸着剤が常温以上、例えば４０℃以
上に昇温しない範囲であり、触媒兼吸着剤の種類やその
充填量（塔の大きさ）、被精製ガスの流速等により異な
るが、通常は１００ｐｐｍ程度以下をいう。
反応熱により触媒兼吸着剤が常温以上、例えば４０℃以
上に昇温しない範囲であり、触媒兼吸着剤の種類やその
充填量（塔の大きさ）、被精製ガスの流速等により異な
るが、通常は１００ｐｐｍ程度以下をいう。
【００２０】両反応吸着塔２１ａ，２１ｂは、次の３工
程を表２に示す順序で切り替えて運転される。 常温で酸素と水素とを反応させるとともに、生成した
水分を担体に吸着させて除去する反応吸着工程 精製ガスの一部を流しながら加熱し、水分を脱着する
加熱工程 吸着剤を常温まで冷却する冷却工程
程を表２に示す順序で切り替えて運転される。 常温で酸素と水素とを反応させるとともに、生成した
水分を担体に吸着させて除去する反応吸着工程 精製ガスの一部を流しながら加熱し、水分を脱着する
加熱工程 吸着剤を常温まで冷却する冷却工程
【００２１】
【表２】
【００２２】例えば、反応吸着塔２１ａが反応吸着工程
にある表２の工程１では、入口管２３から導入される被
精製ガスが入口弁２４ａから反応吸着塔２１ａに導入さ
れ、処理されて出口弁２５ａから出口管２６に送り出さ
れるとともに、加熱器２２の加熱弁２２ａが開かれて精
製ガスの一部が加熱器２２に導入され、加熱されて加熱
工程にある反応吸着塔２１ｂに供給され、担体に吸着さ
れている水分を脱着して再生出口弁２７ｂを経て排気管
２８から排出される。
にある表２の工程１では、入口管２３から導入される被
精製ガスが入口弁２４ａから反応吸着塔２１ａに導入さ
れ、処理されて出口弁２５ａから出口管２６に送り出さ
れるとともに、加熱器２２の加熱弁２２ａが開かれて精
製ガスの一部が加熱器２２に導入され、加熱されて加熱
工程にある反応吸着塔２１ｂに供給され、担体に吸着さ
れている水分を脱着して再生出口弁２７ｂを経て排気管
２８から排出される。
【００２３】この加熱再生工程は、前記のように精製ガ
スの一部を加熱してから再生工程にある反応吸着塔に導
入することにより行っても、また、反応吸着塔の内部あ
るいは外部にヒーター等を設けておいて、これにより加
熱を行いつつ精製ガスの一部を流通させることによって
行っても良い。
スの一部を加熱してから再生工程にある反応吸着塔に導
入することにより行っても、また、反応吸着塔の内部あ
るいは外部にヒーター等を設けておいて、これにより加
熱を行いつつ精製ガスの一部を流通させることによって
行っても良い。
【００２４】なお、このとき他の弁２２ｂ，２４ｂ，２
５ｂ，２７ａは閉である。次の工程２では、加熱器２２
の弁２２ａが閉じられるとともにバイパス弁２２ｂが開
かれ、精製ガスの一部が常温のまま反応吸着塔２１ｂに
供給される。
５ｂ，２７ａは閉である。次の工程２では、加熱器２２
の弁２２ａが閉じられるとともにバイパス弁２２ｂが開
かれ、精製ガスの一部が常温のまま反応吸着塔２１ｂに
供給される。
【００２５】上記反応吸着塔２１ａの反応吸着工程は、
常温、例えば０〜４０℃程度（担体としての吸着剤又は
反応容器中に充填する吸着剤の水分吸着量が著しく低下
しない温度範囲）で行われ、被精製ガス中の酸素と水素
とを触媒反応させて水に変換するとともに、該生成した
水を触媒を担持する担体に吸着させて除去する。この反
応吸着工程は、水分を吸着する担体が破過する前に終了
し、工程３に進む。
常温、例えば０〜４０℃程度（担体としての吸着剤又は
反応容器中に充填する吸着剤の水分吸着量が著しく低下
しない温度範囲）で行われ、被精製ガス中の酸素と水素
とを触媒反応させて水に変換するとともに、該生成した
水を触媒を担持する担体に吸着させて除去する。この反
応吸着工程は、水分を吸着する担体が破過する前に終了
し、工程３に進む。
【００２６】工程３では、入口弁２４ａ，出口弁２５ａ
が閉じて反応吸着塔２１ｂ側の入口弁２４ｂ及び出口弁
２５ｂが開き、反応吸着塔２１ｂが反応吸着工程に入る
とともに、加熱器２２の加熱弁２２ａが開かれて反応吸
着塔２１ｂから導出された精製ガスの一部が加熱器２２
に導入され、加熱されて反応吸着塔２１ｂに供給され、
反応吸着塔２１ａが加熱工程に入る。
が閉じて反応吸着塔２１ｂ側の入口弁２４ｂ及び出口弁
２５ｂが開き、反応吸着塔２１ｂが反応吸着工程に入る
とともに、加熱器２２の加熱弁２２ａが開かれて反応吸
着塔２１ｂから導出された精製ガスの一部が加熱器２２
に導入され、加熱されて反応吸着塔２１ｂに供給され、
反応吸着塔２１ａが加熱工程に入る。
【００２７】反応吸着塔２１ａ内の担体に吸着された水
分が十分に脱着された後、工程４に移り、加熱器２２の
弁２２ａが閉じられるとともにバイパス弁２２ｂが開か
れ、精製ガスの一部が常温のまま反応吸着塔２１ａに供
給され、反応吸着塔２１ａが冷却工程となる。そして、
工程４が終了すると各弁が切替え開閉されて前記工程１
に戻る。
分が十分に脱着された後、工程４に移り、加熱器２２の
弁２２ａが閉じられるとともにバイパス弁２２ｂが開か
れ、精製ガスの一部が常温のまま反応吸着塔２１ａに供
給され、反応吸着塔２１ａが冷却工程となる。そして、
工程４が終了すると各弁が切替え開閉されて前記工程１
に戻る。
【００２８】本実施例装置は、上記のようにして両反応
吸着塔２１ａ，２１ｂを切替えることにより連続して酸
素除去処理を行うことができる。なお、触媒の種類や充
填量、反応吸着塔の切替え時間等は、被精製ガス中に含
まれる酸素量や処理量に応じて適宜設定されるものであ
る。また、反応吸着塔の設置数は、処理を連続で行う必
要が無ければ１基でも良く、必要に応じて３基以上を切
替えるようにしても良い。さらに、生成した水分を吸着
除去するために、上記反応吸着塔に触媒とともに吸着剤
（乾燥剤）を充填しておくこともできる。この場合、両
者を層別に分けて充填しても良く、混合して充填しても
良い。
吸着塔２１ａ，２１ｂを切替えることにより連続して酸
素除去処理を行うことができる。なお、触媒の種類や充
填量、反応吸着塔の切替え時間等は、被精製ガス中に含
まれる酸素量や処理量に応じて適宜設定されるものであ
る。また、反応吸着塔の設置数は、処理を連続で行う必
要が無ければ１基でも良く、必要に応じて３基以上を切
替えるようにしても良い。さらに、生成した水分を吸着
除去するために、上記反応吸着塔に触媒とともに吸着剤
（乾燥剤）を充填しておくこともできる。この場合、両
者を層別に分けて充填しても良く、混合して充填しても
良い。
【００２９】このように、従来の触媒反応塔と吸着塔と
を一体構成とした反応吸着塔を用いることにより、反応
工程の後に切替え使用する複数の吸着器からなる乾燥工
程を省略することができ、例えば、従来触媒反応塔１基
と吸着塔２基とで構成していた装置を反応吸着塔２基で
構成することが可能となり、装置の小型化が図れるとと
もに装置コストを低減できる。
を一体構成とした反応吸着塔を用いることにより、反応
工程の後に切替え使用する複数の吸着器からなる乾燥工
程を省略することができ、例えば、従来触媒反応塔１基
と吸着塔２基とで構成していた装置を反応吸着塔２基で
構成することが可能となり、装置の小型化が図れるとと
もに装置コストを低減できる。
【００３０】［実験例］ 実験例１ 水の電気分解により製造した水素中に含まれる約５ｐｐ
ｍの酸素を下記の条件で除去する実験を行った。なお、
触媒としては、パラジウムをアルミナに担持させたもの
を用いた。その結果、水素中の酸素を０．１ｐｐｍ以下
にすることができた。 ガス流量 １００Ｎｍ3 ／ｈ 触媒充填量 ６リットル 反応吸着塔切替え時間 ９６時間 実験例２ 圧力変動吸着式の窒素製造装置により製造された窒素中
に含まれる約５０ｐｐｍの酸素を下記の条件で除去する
実験を行った。なお、触媒としては、パラジウムをアル
ミナに担持させたものを用いた。その結果、窒素中の酸
素を０．１ｐｐｍ以下にすることができた。 ガス流量 １００Ｎｍ3 ／ｈ 触媒充填量 ３０リットル 反応吸着塔切替え時間 ４８時間
ｍの酸素を下記の条件で除去する実験を行った。なお、
触媒としては、パラジウムをアルミナに担持させたもの
を用いた。その結果、水素中の酸素を０．１ｐｐｍ以下
にすることができた。 ガス流量 １００Ｎｍ3 ／ｈ 触媒充填量 ６リットル 反応吸着塔切替え時間 ９６時間 実験例２ 圧力変動吸着式の窒素製造装置により製造された窒素中
に含まれる約５０ｐｐｍの酸素を下記の条件で除去する
実験を行った。なお、触媒としては、パラジウムをアル
ミナに担持させたものを用いた。その結果、窒素中の酸
素を０．１ｐｐｍ以下にすることができた。 ガス流量 １００Ｎｍ3 ／ｈ 触媒充填量 ３０リットル 反応吸着塔切替え時間 ４８時間
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の微量酸素
の除去方法は、被精製ガス中の酸素と水素とを触媒反応
により水に変換するとともに、生成した水を触媒の担体
で吸着除去するようにしたから、従来の触媒塔と吸着塔
とを一体化することができ、通常設けられている乾燥工
程を省略することができるので、装置構成を簡単にで
き、小型化と低コスト化とを図ることができる。
の除去方法は、被精製ガス中の酸素と水素とを触媒反応
により水に変換するとともに、生成した水を触媒の担体
で吸着除去するようにしたから、従来の触媒塔と吸着塔
とを一体化することができ、通常設けられている乾燥工
程を省略することができるので、装置構成を簡単にで
き、小型化と低コスト化とを図ることができる。
【図１】 本発明の一実施例を示す系統図である。
【図２】 従来の酸素除去装置の一例を示す系統図であ
る。
る。
２１ａ，２１ｂ…反応吸着塔 ２２…加熱器 ２２
ａ…加熱弁 ２２ｂ…バイパス弁 ２３…入口管 ２４ａ，２４
ｂ…入口弁 ２５ａ，２５ｂ…出口弁 ２６…出口管 ２７ａ，
２７ｂ…再生出口弁 ２８…排気管
ａ…加熱弁 ２２ｂ…バイパス弁 ２３…入口管 ２４ａ，２４
ｂ…入口弁 ２５ａ，２５ｂ…出口弁 ２６…出口管 ２７ａ，
２７ｂ…再生出口弁 ２８…排気管
Claims (2)
- 【請求項１】 微量の酸素と、該酸素との反応に必要な
化学量論量より過剰な水素とを含むガスから酸素を除去
する方法において、担体に担持させた触媒により前記酸
素と水素とを常温で反応させて水に変換し、生成した水
を前記触媒の担体に吸着させて除去することを特徴とす
る微量酸素の除去方法。 - 【請求項２】 微量の酸素と、該酸素との反応に必要な
化学量論量より過剰な水素とを含むガスから酸素を除去
する方法において、担体に担持させた触媒を充填した反
応吸着塔を複数基設けるとともに、反応吸着塔に前記酸
素と水素とを含むガスを導入して酸素と水素とを常温で
担体に担持させた触媒により反応させて水に変換し、生
成した水を前記触媒の担体に吸着させて除去する反応吸
着工程と、反応吸着塔から導出される精製ガスの一部を
前記反応吸着工程を終了した反応吸着塔に導入するとと
もに該反応吸着塔を加熱して前記触媒の担体に吸着した
水分を脱着する加熱工程と、前記精製ガスの一部を該加
熱工程を終えた反応吸着塔に導入して該反応吸着塔を常
温に冷却する冷却工程とを、前記複数基の反応吸着塔に
ついて順次切替えて繰り返すことにより、前記ガス中の
酸素を連続的に除去することを特徴とする微量酸素の除
去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25238691A JP3300896B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 微量酸素の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25238691A JP3300896B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 微量酸素の除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0592123A true JPH0592123A (ja) | 1993-04-16 |
| JP3300896B2 JP3300896B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=17236603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25238691A Expired - Lifetime JP3300896B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 微量酸素の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3300896B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997048640A1 (fr) * | 1996-06-20 | 1997-12-24 | Ultraclean Technology Research Institute | Procede de generation d'humidite et generateur d'humidite |
| JPH10323527A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Nippon Sanso Kk | ガス精製方法及び装置 |
| KR100777672B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2007-11-28 | 코아텍주식회사 | 수소가스 처리용 스크러버 시스템 |
| KR101869461B1 (ko) * | 2015-12-10 | 2018-06-20 | 동국대학교 산학협력단 | 산소 제거 촉매제를 이용한 메탄 혼합 가스의 산소 제거 방법, 이에 사용되는 페롭스카이트 산소 제거 촉매제, 및 이를 이용하는 매립가스 메탄 직접 전환 기술을 적용한 매립 가스 정제 장치 |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP25238691A patent/JP3300896B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997048640A1 (fr) * | 1996-06-20 | 1997-12-24 | Ultraclean Technology Research Institute | Procede de generation d'humidite et generateur d'humidite |
| JPH10323527A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Nippon Sanso Kk | ガス精製方法及び装置 |
| KR100777672B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2007-11-28 | 코아텍주식회사 | 수소가스 처리용 스크러버 시스템 |
| KR101869461B1 (ko) * | 2015-12-10 | 2018-06-20 | 동국대학교 산학협력단 | 산소 제거 촉매제를 이용한 메탄 혼합 가스의 산소 제거 방법, 이에 사용되는 페롭스카이트 산소 제거 촉매제, 및 이를 이용하는 매립가스 메탄 직접 전환 기술을 적용한 매립 가스 정제 장치 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3300896B2 (ja) | 2002-07-08 |
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