JP2010238908A - コンタクトパラメータの設定方法、コンタクトパラメータの設定用プログラム及びコンタクトパラメータの設定用プログラムが記録された記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コンタクトパラメータの設定方法は、時間軸と高さ軸とからなる座標図1を用意する工程と、座標図1上で、半導体ウエハの各電極パッドと複数のプローブが電気的に離接する間の半導体ウエハの複数の昇降位置とこれらの昇降位置までにそれぞれ要する半導体ウエハの昇降時間をそれぞれ指定し、複数の指定点Pを直線で結んで折れ線グラフとして表示することにより半導体ウエハのコンタクトパラメータを設定する第2の工程と、を備えている。
【選択図】図2
Description
P1〜P6 指定点
10 プローブ装置
12 プローブカード
12A プローブ
14 制御装置
W 半導体ウエハ
Claims (8)
- 半導体ウエハに形成されたデバイスの電極パッドと複数のプローブを電気的に接触させて上記デバイスの電気的特性検査を行うために、半導体ウエハと複数のプローブを相対的に移動させるためのコンタクトパラメータを設定する方法であって、
コンピュータの表示画面に時間を示す第1軸と上記相対移動距離を示す第2軸とからなる座標図を用意する第1の工程と、
上記座標図上で、上記相対移動位置を複数回指定すると共に上記複数の相対移動位置までにそれぞれ要する、少なくとも上記半導体ウエハの移動時間をそれぞれ指定し、複数の指定点を直線で結んで折れ線グラフとして表示することにより上記コンタクトパラメータを設定する第2の工程と、を備えた
ことを特徴とするコンタクトパラメータの設定方法。 - 半導体ウエハに形成されたデバイスの電極パッドと複数のプローブを電気的に接触させて上記デバイスの電気的特性検査を行うために、半導体ウエハを移動させて複数のプローブに離接させるためのコンタクトパラメータを設定する方法であって、
コンピュータの表示画面に時間を示す第1軸と上記半導体ウエハの移動距離を示す第2軸とからなる座標図を用意する第1の工程と、
上記座標図の上で、上記半導体ウエハの移動位置を複数回指定すると共に上記複数の移動位置までにそれぞれ要する上記半導体ウエハの移動時間をそれぞれ指定し、複数の指定点を直線で結んで折れ線グラフとして表示することにより上記コンタクトパラメータを設定する第2の工程と、を備えた
ことを特徴とするコンタクトパラメータの設定方法。 - 半導体ウエハに形成されたデバイスの電極パッドと複数のプローブを電気的に接触させて上記デバイスの電気的特性検査を行うために、半導体ウエハを昇降させて複数のプローブに離接させるためのコンタクトパラメータを設定する方法であって、
コンピュータの表示画面に時間を示す第1軸と上記半導体ウエハの昇降距離を示す第2軸とからなる座標図を用意する第1の工程と、
上記座標図上で、上記半導体ウエハの各電極パッドと上記複数のプローブが電気的に離接する間の上記半導体ウエハの複数の昇降位置とこれらの昇降位置までにそれぞれ要する上記半導体ウエハの昇降時間をそれぞれ指定し、複数の指定点を直線で結んで折れ線グラフとして表示することにより上記コンタクトパラメータを設定する第2の工程と、を備えた
ことを特徴とするコンタクトパラメータの設定方法。 - 上記第2の工程において、上記半導体ウエハが上昇する時には、上昇位置及び上昇時間を複数回指定して、半導体ウエハの上昇速度を変更して設定することを特徴とする請求項3に記載のコンタクトパラメータの設定方法。
- 上記半導体ウエハの上昇開始時には上昇速度を速く、上記複数のプローブに近づくほど上昇速度を遅く設定することを特徴とする請求項4に記載のコンタクトパラメータの設定方法。
- 上記コンピュータがパーソナルコンピュータであることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のコンタクトパラメータの設定方法。
- 検査装置のコンピュータを駆動させて、請求項1〜6のいずれか1項に記載のコンタクトパラメータの設定方法を実行することを特徴とするコンタクトパラメータの設定用プログラム。
- 請求項7に記載のコンタクトパラメータの設定用プログラムが記録されていることを特徴とする記録媒体。
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