JP5034614B2 - プロービング方法、プローブ装置及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
被検査体に対向し、かつ垂直となるように形成されたプローブ針を前記被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプローピング方法において、
前記被検査体を載置台に載置する工程(a)と、
次いで前記被検査体と前記プローブ針との位置合わせを行う工程(b)と、
その後、前記載置台を上昇させて、前記電極パッドと前記プローブ針とを接触させる工程(c)と、
続いて前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませるために、前記載置台を鉛直方向に上昇させながら水平方向に移動させて、前記電極パッドの表面に前記プローブ針の針跡を形成することにより当該表面の酸化膜を削り取り、前記電極パッドと前記プローブ針とを導通させる工程(d)と、を含み、
前記針跡は、前記電極パッドを上面から見た時における当該針跡の幅寸法が一方側から他方側に向かって広がると共に、この針跡の深さ寸法が前記一方側から前記他方側に向かって深くなるように形成されることを特徴とする。
前記導通させる工程(d)は、前記プローブ針の針先が前記偏移位置から前記電極パッドの中心位置に向かうように、前記載置台を前記偏移位置と前記中心位置との間の距離の倍の距離を直線状に水平方向に移動させる工程であることが好ましい。
前記接触させる工程(c)における前記載置台の上昇速度は、前記導通させる工程(d)における前記載置台の上昇速度よりも速いことが好ましい。
載置台に載置された被検査体に対向し、かつ垂直となるように設けられたプローブ針を、前記被検査体と当該プローブ針との位置合わせを行った後、前記被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプローブ装置において、
前記載置台を水平方向及び鉛直方向に移動させるための駆動機構と、
前記載置台を上昇させて、前記プローブ針と前記載置台上の被検査体の電極パッドとを接触させ、続いて前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませるために、前記載置台を鉛直方向に上昇させながら水平方向に移動させて、前記電極パッドに前記プローブ針の針跡を形成することにより当該表面の表面の酸化膜を削り取り、前記電極パッドと前記プローブ針とを導通させるように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませる時に、前記プローブ針の針先が前記偏移位置から前記電極パッドの中心位置に向かうように、前記載置台を前記偏移位置と前記中心位置との間の距離の倍の距離を直線状に水平方向に移動させるように制御信号を出力することが好ましい。
前記制御部は、前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませる時の前記載置台の上昇速度を、前記プローブ針と前記電極パッドとを接触させる時までの前記載置台の上昇速度よりも遅くなるように制御信号を出力することが好ましい。
プローブ針を被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプロービング方法を実施するための制御部に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記コンピュータプログラムは、上記プロービング方法を前記制御部が実施するようにステップが組まれていることを特徴とする。
この時の載置台3の移動速度は、プローブ針2と電極パッド40とが接触するまでの速度よりも十分遅い低速に設定される。
その後、電極25から所定の検査信号がプローブ針2を介して電極パッド40に流されて、電気的特性の検査が行われる。また、所定の枚数のウェハWの処理毎に、図示しない画像処理装置により、電極パッド40に形成された針跡42が撮像されて、プローブ針2と電極パッド40とが接触したか否かの画像検査が行われる。
また、上記のように、プローブ針2と電極パッド40とが接触するまでは載置台3を速く移動させるようにしたが、接触後も同じ速度で移動させるようにしても良い。
3 載置台
20 プローブ装置
23 プローブカード
25 電極
40 電極パッド
41 酸化膜
42 針跡
Claims (7)
- 被検査体に対向し、かつ垂直となるように形成されたプローブ針を前記被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプローピング方法において、
前記被検査体を載置台に載置する工程(a)と、
次いで前記被検査体と前記プローブ針との位置合わせを行う工程(b)と、
その後、前記載置台を上昇させて、前記電極パッドと前記プローブ針とを接触させる工程(c)と、
続いて前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませるために、前記載置台を鉛直方向に上昇させながら水平方向に移動させて、前記電極パッドの表面に前記プローブ針の針跡を形成することにより当該表面の酸化膜を削り取り、前記電極パッドと前記プローブ針とを導通させる工程(d)と、を含み、
前記針跡は、前記電極パッドを上面から見た時における当該針跡の幅寸法が一方側から他方側に向かって広がると共に、この針跡の深さ寸法が前記一方側から前記他方側に向かって深くなるように形成されることを特徴とするプロービング方法。 - 前記接触させる工程(c)は、前記電極パッド内において、前記プローブ針が前記電極パッドの中心位置からずれた偏移位置に接触するように、前記載置台を上昇させる工程であり、
前記導通させる工程(d)は、前記プローブ針の針先が前記偏移位置から前記電極パッドの中心位置に向かうように、前記載置台を前記偏移位置と前記中心位置との間の距離の倍の距離を直線状に水平方向に移動させる工程であることを特徴とする請求項1に記載のプロービング方法。 - 前記接触させる工程(c)における前記載置台の上昇速度は、前記導通させる工程(d)における前記載置台の上昇速度よりも速いことを特徴とする請求項1または2に記載のプロービング方法。
- 載置台に載置された被検査体に対向し、かつ垂直となるように設けられたプローブ針を、前記被検査体と当該プローブ針との位置合わせを行った後、前記被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプローブ装置において、
前記載置台を水平方向及び鉛直方向に移動させるための駆動機構と、
前記載置台を上昇させて、前記プローブ針と前記載置台上の被検査体の電極パッドとを接触させ、続いて前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませるために、前記載置台を鉛直方向に上昇させながら水平方向に移動させて、前記電極パッドの表面に前記プローブ針の針跡を形成することにより当該表面の酸化膜を削り取り、前記電極パッドと前記プローブ針とを導通させるように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記針跡は、前記電極パッドを上面から見た時における当該針跡の幅寸法が一方側から他方側に向かって広がると共に、この針跡の深さ寸法が前記一方側から前記他方側に向かって深くなるように形成されることを特徴とするプローブ装置。 - 前記制御部は、前記プローブ針と前記電極パッドとを接触させる時、前記電極パッド内において、前記プローブ針が前記電極パッドの中心位置からずれた偏移位置に接触するように、前記載置台を上昇させ、
前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませる時に、前記プローブ針の針先が前記偏移位置から前記電極パッドの中心位置に向かうように、前記載置台を前記偏移位置と前記中心位置との間の距離の倍の距離を直線状に水平方向に移動させるように制御信号を出力することを特徴とする請求項4に記載のプローブ装置。 - 前記制御部は、前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませる時の前記載置台の上昇速度を、前記プローブ針と前記電極パッドとを接触させる時までの前記載置台の上昇速度よりも遅くなるように制御信号を出力することを特徴とする請求項4または5に記載のプローブ装置。
- プローブ針を被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプロービング方法を実施するための制御部に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記コンピュータプログラムは、請求項1ないし3のいずれか一つに記載のプロービング方法を前記制御部が実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007095181A JP5034614B2 (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | プロービング方法、プローブ装置及び記憶媒体 |
US12/049,799 US7626406B2 (en) | 2007-03-30 | 2008-03-17 | Probing method, probe apparatus and storage medium |
KR1020080025472A KR101037255B1 (ko) | 2007-03-30 | 2008-03-19 | 프로빙 방법, 프로브 장치 및 기억 매체 |
CN2008100878538A CN101275985B (zh) | 2007-03-30 | 2008-03-26 | 探测方法和探测装置 |
TW097111200A TWI425227B (zh) | 2007-03-30 | 2008-03-28 | Detection methods, probe devices and memory media |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007095181A JP5034614B2 (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | プロービング方法、プローブ装置及び記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008252048A JP2008252048A (ja) | 2008-10-16 |
JP5034614B2 true JP5034614B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=39793181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007095181A Expired - Fee Related JP5034614B2 (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | プロービング方法、プローブ装置及び記憶媒体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7626406B2 (ja) |
JP (1) | JP5034614B2 (ja) |
KR (1) | KR101037255B1 (ja) |
CN (1) | CN101275985B (ja) |
TW (1) | TWI425227B (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5050384B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-10-17 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP4950719B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2012-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブの針先位置の検出方法、アライメント方法、針先位置検出装置及びプローブ装置 |
US8305097B2 (en) * | 2007-09-04 | 2012-11-06 | Texas Instruments Incorporated | Method for calibrating an inspection tool |
EP2838107B1 (en) | 2013-08-14 | 2016-06-01 | Fei Company | Circuit probe for charged particle beam system |
US9478237B2 (en) * | 2013-09-18 | 2016-10-25 | Seagate Technology Llc | Work piece contact pad with centering feature |
CN104034737B (zh) * | 2014-06-13 | 2017-01-18 | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 | 三维立体芯片可测试性的检测方法 |
CN206920558U (zh) * | 2017-03-31 | 2018-01-23 | 张咪 | 一种模块化ic测试座及ic测试装置 |
CN108279368A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-07-13 | 德淮半导体有限公司 | 测试机台及测试方法 |
CN110187259A (zh) * | 2019-06-10 | 2019-08-30 | 德淮半导体有限公司 | 一种防止晶圆测试中针痕偏移的调整系统以及调整方法 |
CN112946454B (zh) * | 2021-01-22 | 2023-07-07 | 重庆秦嵩科技有限公司 | 一种芯片数据访问测试系统及其工作方法 |
CN112903022B (zh) * | 2021-02-04 | 2022-07-19 | 上海泽丰半导体科技有限公司 | 一种探针测试系统、其操作方法及检测方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6362245A (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-18 | Canon Inc | ウエハプロ−バ |
US4963822A (en) * | 1988-06-01 | 1990-10-16 | Manfred Prokopp | Method of testing circuit boards and the like |
JP3208734B2 (ja) * | 1990-08-20 | 2001-09-17 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JPH06124985A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | プローブ装置及びプロービング方法 |
JP3138908B2 (ja) * | 1995-03-20 | 2001-02-26 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
WO1997027489A1 (en) * | 1996-01-24 | 1997-07-31 | Intel Corporation | Improved method and apparatus for scrubbing the bond pads of an integrated circuit during wafer sort |
US5773987A (en) * | 1996-02-26 | 1998-06-30 | Motorola, Inc. | Method for probing a semiconductor wafer using a motor controlled scrub process |
US6433571B1 (en) * | 1998-07-06 | 2002-08-13 | Motorola, Inc. | Process for testing a semiconductor device |
JP2001153886A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Mitsubishi Electric Corp | プローブカード、及びこれを備えたテスト装置 |
JP2002311054A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Sony Corp | プローブカード、電子回路装置の測定装置および測定方法 |
JP2004132971A (ja) * | 2002-09-17 | 2004-04-30 | Iwasaki Correspond Industry Co Ltd | プローブカード |
JP2004347565A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Nec Electronics Corp | プロ−ブカ−ドおよび半導体装置の検査方法 |
-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007095181A patent/JP5034614B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-03-17 US US12/049,799 patent/US7626406B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-19 KR KR1020080025472A patent/KR101037255B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2008-03-26 CN CN2008100878538A patent/CN101275985B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-28 TW TW097111200A patent/TWI425227B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101037255B1 (ko) | 2011-05-26 |
KR20080089185A (ko) | 2008-10-06 |
US7626406B2 (en) | 2009-12-01 |
CN101275985A (zh) | 2008-10-01 |
TW200907370A (en) | 2009-02-16 |
CN101275985B (zh) | 2011-06-29 |
US20080238455A1 (en) | 2008-10-02 |
JP2008252048A (ja) | 2008-10-16 |
TWI425227B (zh) | 2014-02-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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