JP2006177787A - 針圧調整用プローブカード、プローブ針の針圧調整方法および半導体装置の特性検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電極パッドに対してプローブ針を接触させる際の針圧を、必要最小限の針圧に、容易にかつ正確に調整できる針圧調整用プローブカード、当該プローブカードを使用したプローブ針の針圧調整方法およびこれらを使用した半導体装置の検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明の針圧調整用プローブカード101は、電極パッド5との接触開始時に、略点接触となる例えば球面等の先端形状を有するプローブ針102を備える。これにより、電極パッド5上にプローブ針102の針痕が鮮明に形成され、プローブ針102と電極パッド5とが接触を開始するZ原点を正確に特定することができる。また、当該Z原点を基準として、プローバ装置のステージを上昇させる、あるいは、プローブカードを下降させることにより、プローブ針の針圧を、適切かつ正確に調整することが可能となる。【選択図】 図2
【解決手段】 本発明の針圧調整用プローブカード101は、電極パッド5との接触開始時に、略点接触となる例えば球面等の先端形状を有するプローブ針102を備える。これにより、電極パッド5上にプローブ針102の針痕が鮮明に形成され、プローブ針102と電極パッド5とが接触を開始するZ原点を正確に特定することができる。また、当該Z原点を基準として、プローバ装置のステージを上昇させる、あるいは、プローブカードを下降させることにより、プローブ針の針圧を、適切かつ正確に調整することが可能となる。【選択図】 図2
Description
本発明は、半導体装置の特性検査に使用する針圧調整用プローブカード、プローブ針の針圧調整方法および、半導体装置の特性検査方法に関し、特に、POE(Pad On Element)型の半導体装置の特性検査に好適な針圧調整用プローブカード、プローブ針の針圧調整方法および、半導体装置の特性検査方法に関する。
従来、半導体装置の製造工程では、半導体基板上に形成された個々の半導体装置の良否判定を行うために、半導体装置に形成された複数の電極パッド(ボンディングパッド)にタングステン等からなるプローブ針をそれぞれ接触させて電気特性を測定するプロービング検査が行われている。
一方、近年の半導体装置の高集積化、高機能化及び高速化に伴い、電極パッドのサイズやピッチ、並びに、電極パッド上に形成された絶縁保護膜の開口サイズが縮小されるようになっている。また、チップ面積をさらに縮小するために、電極パッドの下層にもトランジスタ等の素子や配線等(以下、単に回路という)を配置するPOE型の電極パッドが採用されつつある。
このようなPOE型の電極パッドでは、プロービングやワイヤボンディングの際に下層の回路にダメージが与えられることを防止する構造を採用する必要がある。例えば、後掲の特許文献1には、層間絶縁膜や保護膜にクラックが発生することを抑制できる電極パッド構造が提案されている。
すなわち、図6(a)の断面図に示すように、電極パッド5は、半導体基板1側から、第1配線層21、第1層間絶縁膜31、第2配線層22、第2層間絶縁膜32、および、第3配線層23が順に積層された構造を有する。ここでは、図6(b)の平面図に示すように、矩形状に形成された第3配線層23が、プローブ針やボンディングワイヤ等との接触面を構成しており、当該接触面を露出させる開口部41を有する保護膜4が最上層に形成されている。
また、図6(a)、(b)に示すように、第3配線層23の直下に位置する第2層間絶縁膜32には、複数の第2コンタクトホール321が設けられており、当該第2コンタクトホール321を介して、第3配線層23と第2配線層22とが電気的に接続されている。同様に、図6(a)に示すように、第2配線層22の直下に位置する第1層間絶縁膜31には、複数の第1コンタクトホール311が設けられており、当該第1コンタクトホール311を介して、第2配線層22と第1配線層21とが接続されている。
上記の構造では、それぞれの配線層2間に適当な膜厚の層間絶縁膜3が配置されている。すなわち、すべての層間絶縁膜3に対して上記保護膜4の開口部41と同様の開口部を設けて各配線層2だけを直接積層した構造を有する電極パッドに比べて、電極パッドの外周部に形成される段差の数が少なくなる。したがって、第3配線層23の上面と保護膜4の上面との段差h1が小さくなり、保護膜4や層間絶縁膜3にクラックが発生することを抑制することができる。
一方、プロービング検査工程では、半導体装置上に形成された複数の電極パッドに対応する複数のプローブ針を備えたプローブカードを用いて検査が行われる。このとき、対応する電極パッドとプローブ針とを低コンタクト抵抗で接触させるために、プローブ針の接触圧(以下、針圧という。)が適切な針圧に調整される。
上記プローブカードは、例えば、プリント基板等からなるベース基板に各プローブ針の基端部が固定された構造を有する。各プローブ針は、プリント基板上に形成された配線と電気的に接続されるとともに、当該配線が、例えば、プリント基板の一端に連結されるコネクタを介してLSIテスタ等に接続される。また、各プローブ針は、各プローブ針の先端とベース基板との距離がほぼ等しくなるように、ミクロン単位の精度でプリント基板に取り付けられている。
また、上記プローブ針の針圧調整は、プローバ装置のステージ上に載置された半導体基板と、プローバ装置に固定された上記プローブカードのプローブ針の先端との間隔を調整することで行うことができる。例えば、半導体基板とプローブ針先端との間隔を徐々に狭め、プローブ針先端が電極パッドに接触を開始した状態から、さらにステージを所定量上昇させるのである。
このとき、プローブ針の先端は、電極パッドに突き刺さった後、電極パッド上をプローブ針と電極パッドとの成す角が最も大きい方向にオーバードライブする(電極パッドに突き刺さった状態で、水平方向にスライドする)。これにより、プローブ針と電極パッドとの間の密着性が高まり、低いコンタクト抵抗を得ることができる。
また、上述の針圧調整では、針圧の再現性を確保するために、一本のプローブ針のみを備えた針圧調整用プローブカードが利用されることもある。
この場合、プローブ針と電極パッドとが接触を開始するステージの高さ(以下、Z原点という。)が、針圧調整用プローブカードを用いて予め特定される。そして、このZ原点から、プローブカードに応じた量だけステージを上昇させる。
一般にプローバ装置では、ステージの上昇量をサブミクロン単位で制御することが可能である。したがって、当該針圧調整法を採用することにより、測定対象品種に応じてプローブカードを交換するような場合であっても、常に同一の針圧でプロービングを行うことが可能になる。
特開平5−343466号公報
しかしながら、上記Z原点の特定は、プローブ針が接触した際に導電膜上に形成される針痕を、作業者が目視で確認することで行われている。人が行う作業である以上、特定したZ原点は、個人差等によりばらつきが発生し、このようなZ原点のばらつきは、例えば、数十ミクロンのレンジに達する。
したがって、上記針圧調整法を複数のプローバ装置に対して適用した場合、各プローバ装置のZ原点にばらつきが生じることになり、このZ原点を基準としてステージを所定量上昇させる操作を行った場合、各プローバ装置の針圧は異なることになる。例えば、上記Z原点が、電極パッドとプローブ針の先端とが接触を開始する位置より、両者の間隔が狭くなる方向にずれていた場合、当該Z原点に基づいて上記針圧調整を行うと、電極パッドに対して過大な針圧が付加される。
このように過大な針圧が付加された状況は、特に、図7に示すように、POE型の電極パッド5に対してプローブ針を接触させる場合に問題となる。なお、図7では、配線層2は第1配線層21から第4配線層24の4層からなり、層間絶縁膜3は第1層間絶縁膜31から第4層間絶縁膜34の4層からなる。また、第4配線層24がプローブ針やボンディングワイヤ等との接触面を構成しており、当該接触面を露出させる開口部41を有する保護膜4が最上層に形成されている。そして、各配線層2は、図6の例と同様に、それぞれの層間絶縁膜3に設けられたスルーホールを介して電気的に接続されている。
さて、図7に示す例では、プローブ針20から電極パッド5に伝達された応力は、第4配線層24の塑性変形により消費されるとともに、一部が下部構造に伝達される。このとき、過大な針圧のために、プローブ針の先端が第4配線層24の底面付近にまで到達していた場合、上記応力は下部構造に直接伝達されてしまう。図7に示す電極パッド構造では、下部構造に応力が伝達されると、当該応力が第4層間絶縁膜34に設けられたスルーホール341の下部端部に集中する。この応力が、下部構造の許容量を超えていると、下部構造にクラック6が発生する。
下部構造にクラック6が発生すると、当該クラック6から水分等が侵入して半導体装置の長期信頼性が当然に低下する。さらに、図7に示すように、クラック6が第4配線層24の直下に形成された半導体素子10等まで到達した場合、プローブ針20を介して電極パッド5に印加された電圧あるいは電流により、当該クラック6に沿って漏洩電流が流れることがあり、半導体素子10等が破損する原因にもなる。
本発明は、上記従来の事情を鑑みてなされたものであり、電極パッドに対してプローブ針を接触させる際の針圧を、必要最小限の針圧に、容易にかつ正確に調整できる針圧調整用プローブカード、当該プローブカードを使用したプローブ針の針圧調整方法およびこれらを使用した半導体装置の検査方法を提供することを目的とするものである。
本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用している。まず、本発明に係る針圧調整用プローブカードは、被検物が載置されたステージと、プローブ針との間隔を変化させることにより、前記被検物上の導電膜に前記プローブ針を接触させるプローバ装置で、前記導電膜と前記プローブ針とが接触する際の接触圧の調整に使用される。
そして、本発明に係る針圧調整用プローブカードは、上記導電膜との接触開始時に、略点接触となる先端形状を有するプローブ針を備えた構成を採用している。
本構成によれば、プローブ針の先端が、鋭利かつ面積が小さいため、プローブ針が導電膜上に接触した際に、導電膜上に形成される針痕が鮮明になる。これにより、プローブ針と電極パッドとが接触を開始するZ原点を正確に特定する事ができる。したがって、このようにして特定したZ原点を基準として、プローバ装置のステージを上昇させる、あるいは、プローブカードを下降させることにより、プローブ針の針圧を、適切かつ正確に調整することが可能となる。
また、本発明に係る他の針圧調整用プローブカードは、上記導電膜の表面に対して先端が略垂直に接触するプローブ針を備えた構造を採用している。
本構成によれば、プローブ針の先端が導電膜に接触した際に、プローブ針の横方向へ移動を抑制することができ、プローブ針が導電膜上に接触した際に、導電膜上に形成される針痕が鮮明になる。これにより、プローブ針と電極パッドとが接触を開始するZ原点を正確に特定する事ができる。このとき、当該プローブ針の先端形状は、上記導電膜との接触開始時に略点接触となる形状を採用してもよい。
また、上記各針圧調整用プローブカードのプローブ針の先端は球面形状とすることができる。さらに、上記各針圧調整用プローブカードのプローブ針の先端が上記導電膜に接触した際に形成される針痕の線幅は、2μm以上、かつ8μm以下であることが好ましい。
一方、本発明は、上記針圧調整用プローブカードを使用したプローブ針の針圧調整方法を提供することもできる。まず、当該針圧調整方法は、被検物が載置されたステージとプローブ針との間隔を変化させることにより、前記被検物上の導電膜に前記プローブ針を接触させるプローバ装置で使用されることを前提としている。
そして、本発明に係るプローブ針の針圧の調整方法は、まず、上述の針圧調整用プローブカードが備えたプローブ針の先端位置を特定するとともに、プローブ針を接触させる前記導電膜の表面位置を特定する。次に、前記ステージと前記プローブ針先端との間隔を段階的に小さくするとともに、前記導電膜上に形成されたプローブ針の針痕を検索することにより、前記導電膜とプローブ針とが接触を開始する位置を特定する。さらに、このようにして特定した位置に基づいて、プローブ針の針圧を調整する。
なお、前記プローブ針の先端位置の特定、前記導電膜の表面位置の特定、および、前記針痕の検索は、例えば、光学カメラ等により画像データを取得し、当該画像データに基づいて、画像認識処理を行うことができる。
さらに他の観点では、本発明は、上述の針圧調整方法を使用した半導体装置の検査方法を提供することができる。すなわち、プローブ針の針圧調整を行った後、前記針圧調整用プローブカードのプローブ針と同形状のプローブ針を、半導体装置のパッド配置に応じて配置した特性測定用プローブカードを用いて当該半導体装置の特性を測定することにより、半導体装置の特性を正確に測定することが可能となる。
前記半導体装置が、前記電極パッドの下層に半導体素子が形成されている半導体装置に対して上記検査方法は特に有効である。
本発明によれば、プローブ針と電極パッドとの接触開始位置を高精度で特定することができる。このため、当該接触開始位置を基準として、プローブ針と電極パッドとの間隔を所定量狭めることにより、プローブ針の針圧を均一、かつ精度よく調整することができる。これにより適切なプローブ針圧が設定でき、電極パッドの下部構造にクラックが発生することを防止することができる。
以下、本発明に係る一実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明を適用した針圧調整用プローブカードを装着したプローバ装置100を示す概略側面図である。
図1に示すように、プローバ装置100は、従来から使用されているプローバ装置と同様に、半導体基板1が載置されるステージ105と、当該ステージ105の基板載置面(上面)に対向する位置で、当該基板載置面に対して平行に針圧調整用プローブカード101を支持するトッププレート107とを備える。
上記ステージ105は、例えば、ステッピングモータ等により基板載置面に対して平行な面内(以下、水平方向という。)で移動自在に設けられている。また、ステージ105には、エアシリンダ等が内蔵されており、基板載置面に対して垂直な方向(以下、垂直方向という。)にも移動できる構造を有している。
そして、ステージ105は、測定が行われる際に、半導体基板1と後述のプローブ針102とが接触する高さ(以下、アップ位置という。)まで上昇し、水平方向に移動する際には、プローブ針102と半導体基板1とが接触しない高さ(以下、ダウン位置という。)に下降して、移動を行う。なお、上記アップ位置は、例えば、0.5μmステップでその高さが設定できるようになっており、上記ダウン位置は、例えば、当該アップ位置に対して予め設定された所定距離(例えば、150μm)だけ下方の高さに設定される。
また、ステージ105には、プローブ針102の先端位置を認識するための光学カメラ106が設けられており、トッププレート107には半導体基板1の上面に形成された電極パッド5の表面位置を認識するための光学カメラ104を備えたカメラユニット108が設けられている。
さて、図1は、プローバ装置100において針圧調整を行う状態を示しており、針圧調整用プローブカード101は、従来と同様に、プローブ針102を1本だけ備えている。また、当該プローブ針102は、プローブカード基板103に対して、精密に位置決めされた上で固定されている。
図2(a)は、当該プローブ針102を拡大して示す側面図である。また、図2(a)に示す拡大図Aは、プローブ針102の先端を斜め下方から観察した図である。
図2(a)に示すように、プローブ針102は、プローブカード基板103の表面に略平行に固定された基端部102aと、半導体基板1上の電極パッド5に接触する先端を含む先端部102bからなる。先端部102bは、基端部102aから半導体基板1の方向に屈曲しており、先端部102bは電極パッド5の表面に対して、例えば、70°から80°の角度で接触するようになっている。
また、プローブ針102の先端は、図2(a)の拡大図Aに示すように、例えば、曲率半径の小さい球面形状等、電極パッド5に対して略点接触が可能な形状に加工されている。ここで、略点接触が可能な形状とは、プローブ針102の先端と電極パッド5との間隔を徐々に狭めた際に、電極パッド5の表面に形成される認識可能な針痕が数μmの線幅(または、直径)となる形状を指すものであり、球面形状に限らず任意の形状を採用することができる。
以下、本発明に係る針圧調整用プローブカード101を使用したZ原点を特定する手順について説明する。ここでは、半導体基板1上の位置を指定する座標系と、プローバ装置がステージ105の水平移動の制御に使用する座標系とを一致させる位置あわせ(いわゆる、ウエハアライメント)が公知の手法により実行されているものとする。
まず、プローバ装置100は、光学カメラ106が、プローブ針102の先端の直下に位置するようにステージ105を移動させる。通常、トッププレート107にプローブカード101を取り付ける位置は決まっている。このため、プローブ針102の先端の水平位置は、プローブカード101の取り付け誤差の範囲内で特定可能であり、この水平位置を予めプローバ装置100に設定しておくことで、上記光学カメラ106の移動は容易に行うことができる。
この状態で、プローバ装置100は、光学カメラ106によりプローブ針102の先端を観測し、プローブ針102の先端の垂直方向の位置(座標Zn)、および、正確な水平方向の位置(座標(Xn、Yn))を認識する。
上記座標Znは、例えば、光学カメラ106により取得した画像データに基づいて、プローブ針102の先端にフォーカスが合った状態を検出することで求めることができる。すなわち、フォーカスが合った状態の光学カメラ106の焦点距離と、このときの光学カメラ106のZ座標との合算値が座標Znになる。
なお、フォーカスが合った状態は、公知のオートフォーカスの手法を用いて求めればよい。例えば、エッジ検出によりプローブ針102の外形を抽出するとともに先端を特定し、当該先端の画像データのコントラストが最大になる状態を求めればよい。また、上記光学カメラ106のZ座標は、プローバ装置100が、ステージ105の垂直移動を制御するために使用する絶対座標に基づいて求めることができる。
一方、座標(Xn、Yn)は、プローバ装置100がステージ105の水平移動を制御するために使用する絶対座標と、上記画像データに基づいて求めた先端位置とに基づいて求めることが可能である。ここで、トッププレート107に対して、プローブカード101が誤差なく取り付けられていた場合、座標(Xn、Yn)は、プローバ装置100に予め設定された上記水平位置と同一になる。
次に、プローバ装置100は、予め設定されている上記電極パッド5の水平位置(座標(Xp、Yp))に基づいて、光学系カメラ104の直下に、電極パッド5が位置するようにステージ105を移動させる。そして、半導体基板1の表面を観察し、プローブ針102の先端位置の認識と同様の手法により、電極パッド5の表面の座標Zpを認識する。このとき、プローバ装置100は、電極パッド5表面の画像データを図示しない記憶手段に初期画像データとして記憶する。
なお、上述のプローブ針102の先端の位置の特定、および電極パッド5の表面位置の特定は、どちらを先に行ってよくその順序は問わない。
続いて、プローバ装置100は、上述のようにして認識したプローブ針102先端の座標(Xn、Yn)と電極パッド5の座標(Xp、Yp)とに基づいて、プローブ針102の先端の直下に、電極パッド5が位置するようにステージ105を移動させる。
当該移動が完了した後、プローバ装置100は、プローブ針102先端のZ座標Zn、電極パッド5のZ座標Zp、および、光学カメラ104、106の焦点深度に基づいて、ステージ105の上記アップ位置を、プローブ針102の先端と電極パッドの表面とが近接し、かつ接触しない位置に設定する。このようなアップ位置は、例えば、電極パッド5の画像データ取得時のステージ105のZ座標+(Zn−Zp+光学カメラ104の焦点深度+光学カメラ106の焦点深度)、として求めることができる。
この後、プローバ装置100は、ステージ105をアップ位置に上昇させたのち、上記ダウン位置に下降させる。そして、プローバ装置100は、電極パッド5が光学カメラ104の直下に位置するようにステージ105移動させるとともに、ステージ105のZ座標を上述の初期画像データ取得時と同一のZ座標にする。
そして、プローバ装置100は、光学カメラ104を介して電極パッド5表面の画像データを取得し、上記初期画像データと比較することにより針痕の検出を行う。このとき、電極パッド5の表面にプローブ針102の針痕がある場合には、直前のアップ位置をZ原点に設定する。
一方、電極パッド5上にプローブ針102の針痕がない場合には、プローバ装置100は、上記アップ位置を所定量(例えば、0.5μm)上方に設定した後、当該電極パッド5を再度、プローブ針102の直下に移動させ、ステージ105をアップ位置に上昇させた後、上記ダウン位置に下降させる。そして、再度、当該電極パッド5の表面の画像データを取得し、針痕の検出を行う。
この動作が、電極パッド5の表面にプローブ針102の針痕が検出されるまで繰り返し実行され、Z原点が特定される。なお、半導体基板1は水平面に対して傾きをもっている可能性があるため、当該Z原点の特定は、例えば、半導体基板1の中央部と外縁部等、複数個所について行うことが好ましい。この場合、後述の針圧調整は、当該針圧調整を行う位置に最も近い位置のZ原点、あるいは、複数個所のZ原点に基づいて算出された補間値を基準として行われる。
本発明に係る針圧調整用プローブカード101を使用して以上説明した手順を実行することで、極めて精度良くZ原点を特定することが可能となる。
図3に、図2(a)に示したプローブ針102を備えた針圧調整用プローブカード101を用いた場合の針痕の形成状態と、従来から使用されているプローブ針202を備えたプローブカードを用いた場合の針痕の形成状態とを比較した光学顕微鏡写真を示す。図3(a)、(b)は、本発明の針圧調整用プローブカード101を使用した場合の結果であり、図3(c)、(d)、(e)は比較例のプローブカードを用いた場合の結果である。
また、図3(a)、(c)は、プローブ針102、202の先端が電極パッドに接触を開始した時点の電極パッド表面の状態を示すものである。図3(b)、(d)は、図3(a)、(c)に示す状態から、ステージ105を1μm上昇させた状態であり、さらに、図3(e)は、図3(c)に示す状態からステージ105を10μm以上上昇させた状態である。なお、図3において、電極パッド5の最上位の配線層はアルミニウム合金により形成されている。
比較例とする従来のプローブカードのプローブ針202は、一般にプローブカードに採用されているプローブ針であり、図2(b)に示すように、電極パッド5に接触した際のコンタクト抵抗を小さくするために、接触面積が大きくなる形状を有している。すなわち、図2(b)の拡大図Bに示すように、先端が平坦加工されており、当該平坦加工された面が電極パッドに面接触するようにプローブカード基板に固定されている。なお、図3(a)、(b)では、図2(a)の拡大図Aに示すR1が0.5μmのプローブ針102を使用し、図3(c)、(d)、(e)では、図2(b)の拡大図Bに示すR2が15μmのプローブ針202を使用している。
さて、図3(a)、(b)から理解できるように、本発明に係る針圧調整用プローブカード101によれば、ステージ105を接触開始位置から1μm上昇させることで針痕C1が形成されている。
これは、本発明のプローブカード101が、先端が球面形状に加工されたプローブ針102を採用していることに起因する。すなわち、プローブ針102の先端が鋭利で、かつ電極パッド5表面との接触面積も小さいため、針痕C1は鮮明に電極パッド5上に形成される。このため、プローブ針102と電極パッド5とが接触を開始するZ座標を、両者が接触を開始した状態からステージ105を僅か1μmの差という非常に高い感度で特定することができるのである。
これに対し、比較例では、図3(c)、(d)から理解できるように、ステージ105を1μmの上昇させただけでは針痕は形成されず、図3(e)に示すように、10μm以上上昇させたときに初めて針痕C2が形成されている。
これは、先端が平坦に加工されたプローブ針202は、電極パッド5に接触した際に電極パッド5に食い込むことなく水平方向にスライドするため、針痕C2が鮮明に形成されないからである。加えて、針痕C2は太く浅いためプローバ装置100の照明光量等の影響を受けやすく、図3(e)に示すように、電極パッド5上に光学カメラ104で認識可能な針痕C2を形成するには、ステージ105を大きく上昇させなければならないのである。
この結果は、比較例により特定したZ原点は、実際のプローブ針202と電極パッド5との接触開始位置と比較して10μm以上の差があることを意味しており、当該Z原点を基準としてステージ105を所定量上昇させて針圧を設定した場合、電極パッド5には過大な針圧が付加されることになる。
また、図4は、図3で使用した、本発明の針圧調整用プローブカード101(白四角)と、比較例の針圧調整用プローブカード(黒菱形)とを使用してZ原点の特定を複数回繰り返して行った結果を示す図である。なお、図4において、横軸は各測定の測定番号を示しており、縦軸は本発明の針圧調整用プローブカード101を使用して予め求めたZ原点(基準値)との差を示している。また、縦軸の+方向は針圧が増大する方向である。
図4において、本発明の針圧調整用プローブカード101を使用してZ原点を特定した場合、データのばらつきのレンジは3μm以下になっている。一方、従来のプローブカードにより特定したデータばらつきのレンジは70μmである。すなわち、本発明に係る針圧調整用プローブカード101によれば、極めて再現性良くZ原点の特定ができていることが理解できる。
なお、上記ではプローブ針102先端が、曲率半径R1が0.5μmの球面形状である場合について説明したが、上述したように、プローブ針102の先端の形状は球面形状に限られるものではなく、略点接触が可能な先端形状であればよい。
この場合、上述の手法により電極パッド5の表面に初めて形成される針痕の線幅(または、直径)が8μm以下であれば、図4と同等の結果を得ることができ、針痕の線幅(または、直径)が10μm以下であれば、図4に示したデータばらつきのレンジを5μm以下とすることができる。
加えて、プローブ針102の先端が極端に鋭利であると、後述するように、同形状のプローブ針を特性測定用プローブカードのプローブ針として採用する場合に、プローブ針と導電膜との間のコンタクト抵抗が大きくなるため好ましくない。この観点では、上述の手法により電極パッド5の表面に、初めて形成される針痕の線幅(または、直径)が、2μm以上であることが好ましい。なお、図3(b)に示す例では、針痕の線幅は3〜4μmになっている。
以上説明したように、本発明の針圧調整用プローブカード101を使用することにより、極めて精度良くZ原点を特定することが可能となる。
したがって、当該Z原点を基準にしてステージ105を所定量上昇させて特性測定用プローブカードの針圧調整を行う(例えば、特性測定時の上記アップ位置をZ原点+10μmに設定する。)ことにより、極めて正確に、かつ再現性よく針圧の調整を行うことが可能となる。このため、POE型の半導体装置に対しても、適切な針圧で特性検査を実施することができ、保護膜や層間絶縁膜にクラックなどが発生することを防止することができる。
特に、特性測定用プローブカードのプローブ針として図2(a)に示したプローブ針102を採用した場合、プローブ針は電極パッド5の表面をスライドしにくくなるため、針圧はステージ105の上昇に応じて滑らかに上昇することになる。すなわち、ステージ105のアップ位置を微調整することで、電極パッド5に対する針圧を微調整することができ、特性測定用プローブカードを使用して特性測定を行う際の針圧を、必要最小限の針圧に正確に調整することが可能となる。
また、上述した針圧調整方法によれば、全てを自動で行うことが可能であるため、人為的なばらつきが介在することがなく、容易にかつ正確に針圧の調整を行うことができる。
なお、上記説明において、例示したプローバ装置の構成は具体例を示したものであり、本発明の技術的範囲を制限するものではなく、等価な作用を奏することができる構造を任意に採用することができる。例えば、上記では、ステージ105が垂直方向に移動する構成を例示したが、プローブカード101が垂直方向に移動する構成であってもよい。また、光学カメラ104は、半導体基板1の表面を観察可能であれば良く、トッププレート107に対して移動可能に設けたり、トッププレート107の上方に配置し、トッププレートおよびプローブカードに設けた貫通穴を介して電極パッド5の表面を観察したりする構成を採用してもよい。さらに、光学カメラ106は、ステージ105に固定されている必要はなく、ステージ105と独立して移動可能な構成であってもよい。
ところで、上記では、電極パッド5に対して略点接触が可能な先端形状を有するプローブ針102を備えた針圧調整用プローブカード101について説明したが、本発明に係る針圧調整用プローブカードは、以下に示すプローブ針112を採用することもできる。
図5に示すように、プローブ針112は、上述のプローブ針102と同様に、プローブカード基板の表面に略平行に固定された基端部112aと、電極パッド5に接触する先端を含む先端部112bからなる。また、先端部112bは、基端部112aから半導体基板1の方向に屈曲しており、先端部112bが電極パッド5の表面に対して、ほぼ垂直に接触する点で異なっている。
このようなプローブカードを使用して上述のZ原点の特定を行うと、プローブ針112の先端は、電極パッド5の表面に垂直に接触するので接触圧力か高くなる。また、プローブ針112と電極パッド5とにより構成される角度は、水平面内のいずれの方向についても同一であるためオーバードライブしにくくなり、針痕がつきやすくなる。したがって、プローブ針102を採用した場合と同様に、Z原点特定の精度を高めることができる。また、プローブ針112の先端形状は、プローブ針102と同様に、電極パッド5と略点接触が可能な形状としてもよい。この場合、電極パッド5上に針痕が形成されやすくなり、Z原点をより高精度に特定することが可能となる。
以上説明したように、本発明の針圧調整用プローブカードを用いてプローブ針の針圧調整を行うことにより、極めて正確にプローブ針の針圧の調整を行うことが可能となる。このため、電極パッドに過大な針圧でプローブ針が接触することを回避することが可能となり、クラック等の発生を抑制することができる。特に、POE型の電極パッドに対する特性検査において極めて有効な手法である。
本発明は、電極パッド下部に配置される半導体素子を有する、情報通信機器、事務用電子機器等に用いられる半導体装置を検査測定するためのプローブ針圧調整、および針圧調整したプローブカードを用いた検査に有用である。
1 半導体基板
5 電極パッド(導電膜)
6 クラック
10 半導体素子
100、110 プローブカード
101、111 基板
20、102、202、112 プローブ針
104、106 光学カメラ
105 ステージ
C1、C2 針痕
5 電極パッド(導電膜)
6 クラック
10 半導体素子
100、110 プローブカード
101、111 基板
20、102、202、112 プローブ針
104、106 光学カメラ
105 ステージ
C1、C2 針痕
Claims (10)
- 被検物が載置されたステージと、プローブ針との間隔を変化させることにより、前記被検物上の導電膜に前記プローブ針を接触させるプローバ装置で、前記導電膜と前記プローブ針とが接触する際の接触圧の調整に使用される針圧調整用プローブカードにおいて、
前記導電膜との接触開始時に、略点接触となる先端形状を有するプローブ針を備えたことを特徴とする針圧調整用プローブカード。 - 被検物が載置されたステージと、プローブ針との間隔を変化させることにより、前記被検物上の導電膜に前記プローブ針を接触させるプローバ装置で、前記導電膜と前記プローブ針とが接触する際の接触圧の調整に使用される針圧調整用プローブカードにおいて、
前記導電膜の表面に対して先端が略垂直に接触するプローブ針を備えたことを特徴とする針圧調整用プローブカード。 - 前記プローブ針が、前記導電膜との接触開始時に、略点接触となる先端形状を有する請求項2に記載の針圧調整用プローブカード。
- 前記プローブ針の先端が、球面形状である請求項1または3に記載の針圧調整用プローブカード。
- 前記プローブ針が、当該プローブ針の先端が前記導電膜の表面に接触した際に、当該導電膜の表面に形成される針痕の線幅が2μm以上かつ8μm以下となる先端形状を有する請求項1または3に記載の針圧調整用プローブカード。
- 被検物が載置されたステージと、プローブ針との間隔を変化させることにより、前記被検物上の導電膜に前記プローブ針を接触させるプローバ装置で使用されるプローブ針の針圧調整方法において、
針圧調整用プローブカードが備えた1のプローブ針の先端位置を特定するステップと、
前記プローブ針を接触させる前記導電膜の表面位置を特定するステップと、
前記ステージと前記プローブ針先端との間隔を段階的に小さくするとともに、前記導電膜上に形成されたプローブ針の針痕を検索することにより、前記導電膜と前記プローブ針先端とが接触を開始する相対位置を特定するステップと、
前記特定された相対位置に基づいて、特性測定用プローブカードが備えるプローブ針の針圧を調整するステップと、
を含むことを特徴とするプローブ針の針圧調整方法。 - 前記針圧調整用プローブカードが請求項1から5のいずれかに記載の針圧調整用プローブカードである請求項6に記載のプローブ針の針圧調整方法。
- 前記プローブ針の先端位置の特定、前記導電膜の表面位置の特定、および、前記針痕の検索が画像認識により行われる請求項6または7に記載のプローブ針圧調整方法。
- 請求項6から8のいずれかに記載の方法によりプローブ針の針圧調整を行った後、前記針圧調整用プローブカードが備えるプローブ針と同形状のプローブ針を、半導体装置のパッド配置に応じて配置した特性測定用プローブカードを用いて当該半導体装置の特性を測定することを特徴とする、半導体装置の特性検査方法。
- 前記半導体装置が、前記パッドの下層に半導体素子を備える請求項9に記載の半導体装置の特性検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004371608A JP2006177787A (ja) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | 針圧調整用プローブカード、プローブ針の針圧調整方法および半導体装置の特性検査方法 |
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JP2006177787A true JP2006177787A (ja) | 2006-07-06 |
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Family Applications (1)
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JP2004371608A Pending JP2006177787A (ja) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | 針圧調整用プローブカード、プローブ針の針圧調整方法および半導体装置の特性検査方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114252761A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-29 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 适用于超低温环境的探针设备针痕控制装置 |
-
2004
- 2004-12-22 JP JP2004371608A patent/JP2006177787A/ja active Pending
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