JP5477842B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
前記一定の条件を次順の検査点の位置が満たしていれば、今回検査スタート時のZ位置へと前記コンタクトプローブを移動させ、前記一定の条件を次順の検査点の位置が満たしていなければ、予め設定されている離間位置へと前記コンタクトプローブを移動させるようにしたことを最も主要な特徴とする。
12 中央処理手段(CPU)
13 記憶装置
14 インターフェース
15 平面位置決め装置
16 プロービング装置
17 プロービング情報検出手段
Claims (5)
- Z方向を軸方向とするコンタクトプローブを備えるプロービング装置と、今回検査分として定置される被検査基板との関係でプロービングに必要なZ方向位置情報を検出するプロービング情報検出手段とを、X−Y方向への移動が可能な平面位置決め装置に搭載させ、かつ、そのそれぞれをインターフェースを介して、前記被検査基板の検査必要情報を予め保持させてある記憶装置との間で前記検査必要情報の送受を可能に配置される中央処理手段に接続させるとともに、
前記平面位置決め装置により前記被検査基板の各検査点との関係で前記コンタクトプローブのX−Y方向が位置決めされる前記プロービング装置は、
前記被検査基板の基準水平面との関係で予め定められている一定の条件を今回の検査点の位置が満たしていれば前記コンタクトプローブを今回の前記検査点に接触させ、前記一定の条件を今回の検査点の位置が満たしていなければ前記プロービング情報検出手段を介して今回の検査点についてのZ方向位置情報を検出した上で前記コンタクトプローブを接触させ、
前記一定の条件を次順の検査点の位置が満たしていれば、今回検査スタート時のZ位置へと前記コンタクトプローブを移動させ、前記一定の条件を次順の検査点の位置が満たしていなければ、予め設定されている離間位置へと前記コンタクトプローブを移動させるようにしたことを特徴とする基板検査装置。 - 前記一定の条件は、検査順で直前直後の関係にある検査済みの検査点相互間のXY距離が前記被検査基板の反りの程度との関係で定められた一定の距離よりも小さい場合である請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記一定の条件は、検査順に並ぶ検査済みデータの直前直後に位置するそれぞれの検査点相互間のXY距離が前記被検査基板の反りの程度との関係で定められた一定の距離よりも小さいものがあればこれを参照点として予め設定しておく場合である請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記一定の条件は、ある一群の検査点を登録位置群として予め登録しておき、該登録位置群中の最初にプロービングされる検査点を基準点とするなかで、次順の検査点が前記基準点以外である場合である請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記一定の条件は、ある一群の検査点を登録位置群として予め登録した上で、検査順に並ぶ検査データ中の最初に位置する検査点の検査データが基準点とし設定されている場合である請求項1に記載の基板検査装置。
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