JP6479441B2 - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents
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Description
12 電極板
13 プローブ部
14 移動機構
15 測定部
17 制御部
100 基板
101 導体パターン
Ca 静電容量
Lr 誤差
L2 移動距離
L3 離間距離
P2 移動開始位置
Pr 第1位置
Claims (4)
- 検査対象の基板に対して接離する接離方向にプローブ部を移動させる移動機構と、当該移動機構によって前記検査対象の基板における導体部に接触させられている前記プローブ部を介して入出力する電気信号に基づいて当該検査対象の基板を検査する検査部とを備えた基板検査装置であって、
前記プローブ部を目標位置に位置させるべく前記移動機構が当該プローブ部を前記接離方向に移動させたときに当該プローブ部が実際に位置する第1位置と当該目標位置との誤差を特定する処理部と、
前記接離方向に前記プローブ部を移動させる際に指定する指定距離を前記誤差に基づいて補正すると共に補正後の当該指定距離で前記移動機構を制御する制御部と、
前記プローブ部と基準電極との間に誤差特定用の基板における導体部が位置している状態で当該プローブ部と当該基準電極との間の静電容量を測定する測定部とを備え、
前記処理部は、前記誤差特定用の基板における導体部と前記プローブ部とが非接触状態となる位置を前記目標位置とする前記第1位置に位置した前記プローブ部を前記移動機構が当該誤差特定用の基板に対して接近する接近方向にさらに移動させている状態において、前記測定部によって測定された当該プローブ部と前記基準電極との間の前記静電容量の変化に基づき、前記誤差特定用の基板における導体部と前記プローブ部とが前記非接触状態から接触状態に移行したことを特定すると共に、前記非接触状態から前記接触状態に移行したときの前記第1位置からの前記プローブ部の前記接近方向の実際の移動距離を特定し、当該実際の移動距離に対応する理論上の移動距離と当該実際の移動距離との差分値を前記誤差として特定する基板検査装置。 - 検査対象の基板に対して接離する接離方向にプローブ部を移動させる移動機構と、当該移動機構によって前記検査対象の基板における導体部に接触させられている前記プローブ部を介して入出力する電気信号に基づいて当該検査対象の基板を検査する検査部とを備えた基板検査装置であって、
前記プローブ部を目標位置に位置させるべく前記移動機構が当該プローブ部を前記接離方向に移動させたときに当該プローブ部が実際に位置する第1位置と当該目標位置との誤差を特定する処理部と、
前記接離方向に前記プローブ部を移動させる際に指定する指定距離を前記誤差に基づいて補正すると共に補正後の当該指定距離で前記移動機構を制御する制御部と、
前記プローブ部と基準電極との間に誤差特定用の基板における導体部が位置している状態で当該プローブ部と当該基準電極との間の静電容量を測定する測定部とを備え、
前記処理部は、前記誤差特定用の基板における導体部と前記プローブ部とが接触状態となる位置を前記目標位置とする前記第1位置に位置した前記プローブ部を前記移動機構が当該誤差特定用の基板から離間する離間方向にさらに移動させている状態において、前記測定部によって測定された当該プローブ部と前記基準電極との間の前記静電容量の変化に基づき、前記誤差特定用の基板における導体部と前記プローブ部とが前記接触状態から非接触状態に移行したことを特定すると共に、前記接触状態から前記非接触状態に移行したときの前記第1位置からの前記プローブ部の前記離間方向の実際の移動距離を特定し、当該実際の移動距離に対応する理論上の移動距離と当該実際の移動距離との差分値を前記誤差として特定する基板検査装置。 - 移動機構がプローブ部を目標位置に位置させるべく誤差特定用の基板に対して接離する接離方向に移動させたときに当該プローブ部が実際に位置する第1位置と当該目標位置との誤差を特定し、前記接離方向に前記プローブ部を移動させる際に指定する指定距離を前記誤差に基づいて補正すると共に補正後の当該指定距離で前記移動機構を制御し、前記移動機構によって検査対象の基板における導体部に接触させられている前記プローブ部を介して入出力する電気信号に基づいて当該検査対象の基板を検査する基板検査方法であって、
前記プローブ部と基準電極との間に前記誤差特定用の基板における導体部が位置している状態で当該誤差特定用の基板における導体部と当該プローブ部とが非接触状態となる位置を前記目標位置とする前記第1位置に位置した当該プローブ部を前記移動機構が当該誤差特定用の基板に対して接近する接近方向にさらに移動させている状態において当該プローブ部と当該基準電極との間の静電容量を測定し、当該測定した前記プローブ部と前記基準電極との間の前記静電容量の変化に基づき、前記誤差特定用の基板における導体部と前記プローブ部とが前記非接触状態から接触状態に移行したことを特定すると共に、前記非接触状態から前記接触状態に移行したときの前記第1位置からの前記プローブ部の前記接近方向の実際の移動距離を特定し、当該実際の移動距離に対応する理論上の移動距離と当該実際の移動距離との差分値を前記誤差として特定する基板検査方法。 - 移動機構がプローブ部を目標位置に位置させるべく誤差特定用の基板に対して接離する接離方向に移動させたときに当該プローブ部が実際に位置する第1位置と当該目標位置との誤差を特定し、前記接離方向に前記プローブ部を移動させる際に指定する指定距離を前記誤差に基づいて補正すると共に補正後の当該指定距離で前記移動機構を制御し、前記移動機構によって検査対象の基板における導体部に接触させられている前記プローブ部を介して入出力する電気信号に基づいて当該検査対象の基板を検査する基板検査方法であって、
前記プローブ部と基準電極との間に前記誤差特定用の基板における導体部が位置している状態で当該誤差特定用の基板における導体部と当該プローブ部とが接触状態となる位置を前記目標位置とする前記第1位置に位置した当該プローブ部を前記移動機構が当該誤差特定用の基板から離間する離間方向にさらに移動させている状態において当該プローブ部と当該基準電極との間の静電容量を測定し、当該測定した前記プローブ部と前記基準電極との間の前記静電容量の変化に基づき、前記誤差特定用の基板における導体部と前記プローブ部とが前記接触状態から非接触状態に移行したことを特定すると共に、前記接触状態から前記非接触状態に移行したときの前記第1位置からの前記プローブ部の前記離間方向の実際の移動距離を特定し、当該実際の移動距離に対応する理論上の移動距離と当該実際の移動距離との差分値を前記誤差として特定する基板検査方法。
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