JP2010232725A - 複合基板、それを用いた弾性波デバイス及び複合基板の製法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複合基板10は、弾性波を伝搬可能な圧電基板12と、該圧電基板12よりも熱膨張係数の小さな支持基板14とが接合されたものである。この複合基板10の面内における最も大きな熱歪み量である面内最大熱歪み量は、圧電基板12と支持基板14とを相対的に0〜360°回転させたときに最小値と最大値をとるが、圧電基板12と支持基板14とは、面内最大熱歪み量が最小値又はその近傍になるように接合されている。
【選択図】図1
Description
図1は、複合基板10の斜視図である。この複合基板10は、弾性表面波デバイスに利用されるものであり、弾性波を伝搬可能なタンタル酸リチウム(LT)からなる圧電基板12と、この圧電基板12に接合されたシリコンからなる支持基板14と、両基板12,14を接合する接着層16とを備えている。圧電基板12は、熱膨張係数が16.1ppm/Kである。この圧電基板12は、弾性表面波の伝搬方向であるX軸を中心に、Y軸からZ軸に42°回転した、42°YカットX伝搬LT基板(42Y−X LT)であり、オリエンテーションフラット(オリフラと略す)12aを有する。圧電基板12のオリフラ12aの方位は、弾性表面波の伝搬方向(X軸)を示す。支持基板14は、熱膨張係数が2.55ppm/Kであり、オリフラ14aを有する。支持基板14のオリフラ14aの方位は、<110>軸であり、圧電基板12のオリフラ12aの方位から角度φ(ここでは約45°)だけずれている。接着層16は、熱硬化性のエポキシ樹脂接着剤が固化したものであり、厚さが0.3μmである。
実施例2の複合基板10は、圧電基板12としてXカット112°Y伝搬LT基板(X−112Y LT)を用いた以外は、実施例1と同様のものである。実施例2において、支持基板14の厚さを350μm、圧電基板12の厚さを30μmとして上述したシミュレーション(数1参照)を実施したときの面内最大熱歪み量SHの変化の様子を図6に示す。図6から明らかなように、面内最大歪み量SHは最大値と最小値を持ち、最小値は最大値に比べて面内最大歪み量SHが21〜22%軽減された。
実施例3の複合基板10は、圧電基板12として128°YカットX伝搬ニオブ酸リチウム(LN)基板(128Y−X LN)を用いた以外は、実施例1と同様のものである。実施例3において、支持基板14の厚さを100μm、圧電基板12の厚さを10μm,20μm,30μmとして上述したシミュレーション(数1参照)を実施したときの面内最大熱歪み量SHの変化の様子を図7に示す。図7から明らかなように、面内最大歪み量SHは最大値と最小値を持ち、最小値は最大値に比べて面内最大歪み量SHが10〜11%軽減された。なお、支持基板14の厚さを200μm,300μmとして同様にシミュレーションしたところ、図7と同様のグラフが得られた。
実施例4の複合基板10は、支持基板14として方位(100)面のGaAs基板を用いた以外は、実施例1と同様のものである。実施例4において、支持基板14の厚さを100μm、圧電基板12の厚さを10μm,20μm,30μmとして上述したシミュレーション(数1参照)を実施したときの面内最大熱歪み量SHの変化の様子を図8に示す。図8から明らかなように、面内最大歪み量SHは最大値と最小値を持ち、最小値は最大値に比べて面内最大歪み量SHが17〜22%軽減された。なお、支持基板14の厚さを200μm,300μmとして同様にシミュレーションしたところ、図8と同様のグラフが得られた。
実施例5の複合基板10は、圧電基板12として128°YカットX伝搬LN基板(128Y−X LN)、支持基板14として方位(100)面のGaAs基板を用いた以外は、実施例1と同様のものである。実施例5において、支持基板14の厚さを100μm、圧電基板12の厚さを10μm,20μm,30μmとして上述したシミュレーション(数1参照)を実施したときの面内最大熱歪み量SHの変化の様子を図9に示す。図9から明らかなように、面内最大歪み量SHは最大値と最小値を持ち、最小値は最大値に比べて面内最大歪み量SHが約14%軽減された。なお、支持基板14の厚さを200μm,300μmとして同様にシミュレーションしたところ、図9と同様のグラフが得られた。
Claims (6)
- 異方性を有し弾性波を伝搬可能な圧電基板と、異方性を有し該圧電基板よりも熱膨張係数の小さな支持基板とが接合された複合基板であって、
前記複合基板の面内における最も大きな熱歪み量である面内最大熱歪み量は、前記圧電基板と前記支持基板とを相対的に0〜360°回転させたときに最小値と最大値をとるが、前記圧電基板と前記支持基板とは、前記面内最大熱歪み量が前記最小値又はその近傍になるように接合されている、
複合基板。 - 異方性を有し弾性波を伝搬可能な圧電基板と、異方性を有し該圧電基板よりも熱膨張係数の小さな支持基板とが接合された複合基板であって、
前記複合基板の面内における最も大きな熱歪み量である面内最大熱歪み量は、前記圧電基板と前記支持基板とを相対的に0〜360°回転させたときに最小値と最大値をとるが、前記圧電基板と前記支持基板とは、前記面内最大熱歪み量が前記最小値以上前記最大値に対して10%軽減される値以下になるように接合されている、
複合基板。 - 前記圧電基板は、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶、水晶、ホウ酸リチウム、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、ランガサイト(LGS)又はランガテイト(LGT)からなり、
前記支持基板は、シリコン、サファイア、砒化ガリウム、窒化ガリウム又は水晶からなる、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の複合基板。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の複合基板を用いて形成される弾性波デバイス。
- 異方性を有し弾性波を伝搬可能な圧電基板と、異方性を有し該圧電基板よりも熱膨張係数の小さな支持基板とを接合して複合基板を製造する方法であって、
前記複合基板の面内における最も大きな熱歪み量である面内最大熱歪み量は、前記圧電基板と前記支持基板とを相対的に0〜360°回転させたときに最小値と最大値をとるが、前記圧電基板と前記支持基板とを、前記面内最大熱歪み量が前記最小値又はその近傍になるように接合する、
複合基板の製法。
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