JP2010218833A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同軸上に配置された外側管と内側管を具備し、エキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されて円筒状の放電空間を形成する放電容器11と、外側管の外周面上に配置された一方の電極14、内側管の内周面上に配置された他方の電極15とを具備してなるエキシマランプにおいて、一方の電極は、エキシマランプの管軸に垂直な断面において前記外側管の外周面上の半分以上を覆いかつ一定領域非形成部分を備え、外側管の内周面上に一方の電極配置領域を超えて覆うように波長150nm以下の紫外光に対して吸収又は反射特性を有する膜20が形成される。この膜は、シリカ、アルミナ、酸化チタンおよび酸化イットリウムからなる群から選ばれた少なくとも一種であるのがよい。
【選択図】図1
Description
このエキシマランプは、放電容器が、外側管と内側管とを備え、これらがほぼ同軸に配置されて端部において接合された、いわゆる二重管構造を備えるものであり、円筒状の放電空間を有している。
前記一方と他方の電極に、高周波高電圧を印加することにより、放電容器(管)を構成している石英ガラスの壁を介在させて放電が形成される。
上記のように放電空間を円筒状に形成した放電空間を形成する理由は、放電ギャップをなるべく一定にして、安定した照度分布を確保するためである。
そして更に紫外光による劣化が進行した場合には、放電容器にクラックが入ってランプが不点灯になるとともにクラックが放電容器の全体に広がり、容器の破片が落下するという事態に至る。
そこで、本発明は、放電容器の劣化を抑制して長寿命を実現できると共に、光を取り出す効率が良く照度低下が少ないエキシマランプを提供することを目的とする。
同軸上に配置された外側管と内側管を具備し、エキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されて円筒状の放電空間を形成する放電容器と、
前記外側管の外周面上に配置された一方の電極と、前記内側管の内周面上に配置された他方の電極とを具備してなるエキシマランプにおいて、
前記一方の電極は、前記エキシマランプの管軸に垂直な断面において前記外側管の外周面上の半分以上を覆いかつ一定領域非形成部分を備え、
前記外側管の内周面上に、前記一方の電極形成領域を超えて覆うように、波長150nm以下の紫外光に対して吸収または反射特性を有する保護膜が形成されている
ことを特徴とする。
また、内側管の外周面上に、前記他方の電極配置領域を超えて覆うように波長150nm以下の紫外光に対して吸収又は反射特性を有する膜が形成されている
ことを特徴とする。
また、上記膜は、シリカ、アルミナ、酸化チタンおよび酸化イットリウムからなる群から選ばれた少なくとも一種であるのがよい。
また、更に、内側管の放電空間側表面である、当該管の外周面上にも前記保護膜を設けることにより、内側管に紫外線歪が入ることが抑制され、いっそうの長寿命化を実現できる。
また、保護膜としてシリカ、アルミナ、酸化チタンおよび酸化イットリウムからなる群から選ばれた少なくとも一種を用いて構成することにより放電容器に波長150nm以下の紫外光が入射することを確実に防止することができる。
図1は、本発明のエキシマランプの一実施形態における構成の概略を示す説明用断面図である。
このエキシマランプ10は、例えば石英ガラスよりなり、円筒状の外側管12と、この外側管12内においてその管軸に沿って配置された、当該外側管12の内径より小さい外径を有する例えば石英ガラスよりなる円筒状の内側管13とを有し、外側管12と内側管13とが両端部において溶融接合されてなる二重管構造の放電容器11を備えている。
なお図2において符号18は放電容器にガスを封入する際使用した排気管の残部である。
保護膜は誘電体よりなり、材質として好ましくは、シリカ(SiO2)、アルミナ(Al2O3)、酸化チタン(TiO2)、酸化イットリウム(Y2O3)などの粉末であって、このような誘電体の粉末は外側管の内周面上に堆積した状態で配置されてなるものである。このような誘電体の粉末は、単一で用いても、適宜の組み合わせで混合して用いてもよい。なお、上記物質のうちシリカ粒子は波長150nm以下の光に対して吸収特性による作用により放電容器を保護し、アルミナ粒子は波長150nm以下の光に対して吸収特性を主とするがわずかに反射特性を備えており、吸収と反射の両方の特性によって放電容器を保護する。
最終的な膜厚は、1μm以上であり、例えば1〜50μmの範囲で適宜選択可能である。なお、保護膜は、1μm以上あれば石英ガラスの保護が可能であるため、波長172nmの紫外線に対して透過性が不要な部分に形成するのであれば、保持可能な範囲で膜厚を厚く構成することができる。
外側電極14が配置されない部分には、キセノン共鳴線である波長147nmの紫外光及びプラズマは到達することができないため、紫外線歪の形成が緩慢である。よって、上記保護膜20を形成せずとも波長172nmの透過率を高い状態に維持することができる。
ここで、その製法について説明する。
1.まず、膜構成用の粉末を調製する。所定の平均粒径および中心粒径を有するシリカ粉末とアルミナ粉末を調製した混合粉末に、ニトロセルロース、酢酸ブチル液と重量比1:4の割合で混合したバインダ液を合わせ、十分攪拌してアルミナ粉末−シリカ粉末が分散されたスラリーを製作する。
2.このスラリーを発光管構成用のガラス管の内表面に塗布する。
塗付方法は特に限定されないが、流下法、吸い上げ法、デッピング法など採用できる。なお、流下法以外の方法による場合は、膜が不要な個所にマスキングしておくのが好ましい。
3.スラリーを乾燥させた後、保護膜が安定して固着するよう電気炉を用いて焼成する。
焼成温度は1100℃で、約1時間保持する。この焼成工程によって粒子同士が結合するとともにガラス管に融着し、ガラス層が基材に強力に結着することになる。
図1および図3の断面図を参照し、その好ましい態様について具体的に説明する。内側管13の放電空間S側表面と外側電極14の端を結ぶ仮想線dが外管管12の放電空間S側表面と交差する点をA、保護膜20の端部B、放電容器11内に封入されたXe封入圧(室温)をP(kPa)としたとき、断面図上のABの距離ABが、以下の(式1)で求まるL以上であるのが望ましい。
(式1) L=542/P2 [mm]
なお、エキシマランプのキセノンガスの封入圧は10〜80kPaであり、実用には0.5〜5.5mmの範囲において適宜に設定すればよい。
上記式1において、圧力を2乗したものに542を掛ける理由は、J.C.MOLINO GARCIA,J.Quant.Spectrosc.Radiant.Transfer,Vol.57,No.4 によると、Xe原子の147nmの吸収係数K(m−1)は常温において、
(式2) K=0.085(10P)2
で表すことができる。初期の光強度をI0、吸収され減衰した後の光強度をIとすると、光の減衰は
(式3) I/I0=exp(−KL)
で表されるので、式3に式2を代入し整理すると、光が1/100に減衰する距離Lは、上記式1で表すことができる。
図4に示すように、本実施形態にかかるエキシマランプは、外側管12の内周面上の所定領域に保護膜20を形成したという構成を基本的に備えると共に、内側管13の放電空間S側表面上である管(13)の外周表上に波長150nmの光に対して反射特性又は吸収特性を備えた保護膜21を形成したものである。保護膜21は、上記したように、材質として好ましくは、シリカ(SiO2)、アルミナ(Al2O3)、酸化チタン(TiO2)、酸化イットリウム(Y2O3)などであり、粉末の状態のものを単一または適宜の組み合わせで混合して、管の放電空間側表面上に堆積させて層状を形成したものである。保護膜21の形成領域は、内側電極15配置部分に対応してほぼ全周に亘って形成されている。
この実施形態のように、放電容器11における放電形成領域の全てに対応して保護膜20,21を形成することで、放電容器11に紫外線歪が入り難くなり、いっそうエキシマランプの寿命を伸ばすことができるようになる。
図1〜図3の構成に従いエキシマランプ作製した。
<ランプ1>
放電容器:材質;石英ガラス、 全長;1268mm
外側管;外径40mm、厚さ2mm、
内側管;外径18mm、厚さ1mm
外側電極(断面半円状):アルミニウム、厚さ1mm、長さ;1205mm
内側電極(断面C状):アルミニウム、厚さ1mm、長さ;1205mm
保護膜:組成は以下の通りである。
シリカ粒子:粒径0.4μm〜1.5μm、中心径:0.7μm
アルミナ粒子:0.2μm〜0.5μm、中心径:0.3μm
アルミナ粒子の含有量は10質量%、焼成温度:1100℃。
膜厚:30μm(平均)
上記膜は、流下法と呼ばれる塗布方法を用いて、溶剤に粒子を混ぜて溶液を形成し、その溶液を放電容器の内面に流し込むことにより、溶液を付着させる。その後、乾燥、焼成した。膜厚は1mm以上あれば150nmの光を吸収及び反射し、147nmの光に対して保護が可能である。本実施例では30μmの膜を使用した。この実施例にかかる膜によれば、シリカ粒子が主要成分となるため、波長147nmの共鳴線を吸収し、放電容器に対しての保護が可能となる。
この結果から明らかなように、外側管の外周面上の半分以上を覆う外側電極の配置領域を超えて覆うように波長150nm以下の紫外光に対して吸収又は反射特性を有する保護膜を有することで、膜を有さないものや、膜が電極配置領域を超えて形成さえれていないものに比較して、長寿命化を達成できる。更に、膜が形成される領域(ABの長さ)が、ランプにおけるキセノンの封入圧Pとの関係で、L=542/P2により算出される大きさよりも広範囲に形成されることで、1000時間以上も使用寿命を長く伸ばすことができる。
12 外側管
13 内側管
13A 屈曲部分
14 一方の電極(外側電極)
15 他方の電極(内側電極)
18 排気管残部
19 電源装置
20 保護膜
S 放電空間
Claims (3)
- 同軸上に配置された外側管と内側管を具備し、キセノンガスが封入されて円筒状の放電空間を形成する放電容器と、
前記外側管の外周面上に配置された一方の電極と、前記内側管の内周面上に配置された他方の電極とを具備してなるエキシマランプにおいて、
前記一方の電極は、前記エキシマランプの管軸に垂直な断面において前記外側管の外周面上の半分以上を覆いかつ一定領域非形成部分を備え、
前記外側管の内周面上に、前記一方の電極配置領域を超えて覆うように波長150nm以下の紫外光に対して吸収又は反射特性を有する膜が形成されている
ことを特徴とするエキシマランプ。 - 前記内側管の外周面上に、前記他方の電極配置領域を超えて覆うように波長150nm以下の紫外光に対して吸収又は反射特性を有する膜が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載のエキシマランプ。 - 前記膜は、シリカ、アルミナ、酸化チタンおよび酸化イットリウムからなる群から選ばれた少なくとも一種であることを特徴とする請求項1又は2に記載のエキシマランプ。
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