KR20100105364A - 엑시머 램프 - Google Patents

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KR20100105364A
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

방전 용기의 열화를 억제하여 장수명을 실현할 수 있음과 더불어, 광을 취출하는 효율이 좋고 조도 저하가 적은 엑시머 램프를 제공하는 것으로서, 동축 상에 배치된 외측관과 내측관을 구비하고, 엑시머 분자를 형성하는 방전용 가스가 봉입되어 원통형상의 방전 공간을 형성하는 방전 용기와, 외측관의 외주면 상에 배치된 한쪽의 전극, 내측관의 내주면 상에 배치된 다른쪽의 전극을 구비하여 이루어지는 엑시머 램프에 있어서, 한쪽의 전극은, 엑시머 램프의 관축에 수직인 단면에 있어서 상기 외측관의 외주면 상의 반 이상을 덮고 또한 일정 영역 비형성 부분을 구비하고, 외측관의 내주면 상에 한쪽의 전극 배치 영역을 넘어 덮도록 파장 150㎚ 이하의 자외광에 대해서 흡수 또는 반사 특성을 가지는 막이 형성된다. 이 막은, 실리카, 알루미나, 산화티탄 및 산화이트륨으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종인 것이 좋다.

Description

엑시머 램프{EXCIMER LAMP}
본 발명은, 진공 자외광을 조사하는 엑시머 램프에 관한 것이다.
도 4에 도시하는 구조의 엑시머 램프가 알려져 있다.
이 엑시머 램프는, 방전 용기가, 외측관과 내측관을 구비하고, 이들이 거의 동축에 배치되어 단부에서 접합된, 이른바 이중관 구조를 구비하는 것이며, 원통형상의 방전 공간을 가지고 있다.
이 외측관의 외주면측(방전 공간의 외측)에 한쪽의 전극이, 내측관의 내주면측(방전 공간의 외측)에 다른쪽의 전극이 배치되고, 방전 용기의 내부에는 엑시머 방전 가스로서 크세논 가스가 예를 들면 10∼80kPa 봉입되어 구성되어 있다.
상기 한쪽과 다른쪽의 전극에, 고주파 고전압을 인가함으로써, 방전 용기(관)를 구성하고 있는 석영 유리의 벽을 개재시켜 방전이 형성된다.
상기와 같이 방전 공간을 원통형상으로 형성한 방전 공간을 형성하는 이유는, 방전 갭을 가능한한 일정하게 하여, 안정된 조도 분포를 확보하기 위함이다.
이러한 엑시머 램프는, 기판의 세정, 개질 등의 표면 처리에 사용되는데, 최근, 워크의 스루풋을 높임과 더불어, 램프의 교환 빈도를 줄여, 가동율을 높여 라인 전체에 있어서 비용을 낮추는 것이 요망되고 있다.
그러나, 상기 엑시머 램프에 있어서는, 방전 용기를 구성하는 석영 유리가 자외광에 의해 열화되고, 주요한 파장 172㎚의 광의 투과율이 저하한다.
그리고 자외광에 의한 열화가 더 진행된 경우에는, 방전 용기에 크랙이 들어가 램프가 점등하지 않음과 더불어 크랙이 방전 용기의 전체에 퍼져, 용기의 파편이 낙하하는 사태에 이른다.
이러한, 자외선 왜곡에 유래하는 문제에 대해서 과거에도 검토되고 있고, 예를들면 특허문헌 1에는, 방전 용기의 냉각부에 특히 자외선 왜곡이 생기기 쉬우므로, 방전 용기에 있어서의 냉각 수단에 의해 냉각되는 부위에 대응하여, 방전 공간측 표면 상에, 자외선 반사막 및/또는 자외선 흡수막을 형성한 엑시머 램프가 개시되어 있다.
특허 문헌 1에 기재되는 바와같이, 엑시머 램프의 방전 공간 내에는, 파장 172㎚ 이외에도 140∼190㎚의 범위의 자외선이 방사하고 있고, 방전 용기를 구성하는 석영 유리의 방전 공간측 표면은, 끊임없이 이러한 자외광이 조사되고 있다. 자외광이 석영 유리에 주는 손상은 파장이 짧을수록 크고, 방전 용기 형상, 사용 상태, 유리에 잔류하는 열 변형 등을 고려하여, 특히 파손되기 쉬운 부분을 이러한 자외광으로부터 보호함으로써, 방전 용기의 파손을 막을 수 있어, 램프를 장수명화할 수 있다.
일본국특허공개2002－093377호공보
그러나, 특허 문헌 1에 기재된 기술에서는 냉각부를 보호하고, 이 부분에 있어서 파손을 지연시켜 수명을 늘릴 수 있다고 해도, 그 외의 부위에 있어서는 보호되지 않으므로, 자외선 왜곡이 생김으로써 주요한 파장 172㎚의 자외광의 투과율이 나빠져, 조도 저하가 일어난다.
여기서, 본 발명은, 방전 용기의 열화를 억제하여 장수명을 실현할 수 있음과 더불어, 광을 취출하는 효율이 좋아 조도 저하가 적은 엑시머 램프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 엑시머 램프를 실현하기 위해, 본 발명은, 동축 상에 배치된 외측관과 내측관을 구비하고, 엑시머 분자를 형성하는 방전용 가스가 봉입되어 원통형상의 방전 공간을 형성하는 방전 용기와,
상기 외측관의 외주면 상에 배치된 한쪽의 전극과, 상기 내측관의 내주면 상에 배치된 다른쪽의 전극을 구비하여 이루어지는 엑시머 램프에 있어서,
상기 한쪽의 전극은, 상기 엑시머 램프의 관축에 수직인 단면에 있어서 상기 외측관의 외주면 상의 반 이상을 덮고 또한 일정 영역 비형성 부분을 구비하고,
상기 외측관의 내주면 상에, 상기 한쪽의 전극 형성 영역을 넘어 덮도록, 파장 150㎚ 이하의 자외광에 대해서 흡수 또는 반사 특성을 가지는 보호막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 내측관의 외주면 상에, 상기 다른쪽의 전극 배치 영역을 넘어 덮도록 파장 150㎚ 이하의 자외광에 대해서 흡수 또는 반사 특성을 가지는 막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 막은, 실리카, 알루미나, 산화티탄 및 산화이트륨으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종인 것이 좋다.
본 발명에 관한 엑시머 램프에 의하면, 방전 용기의 외측관에 있어서 방전에 노출되는 부분에 대해서는 파장 150㎚ 이하의 자외광에 대해서 흡수 또는 반사 특성을 가지는 보호막을 형성함으로써, 크세논 공명선인 파장 147㎚의 자외광이 조사되지 않아도 되어, 자외선에 왜곡이 발생하는 것에 유래하여 방전 용기가 열화되는 것을 억제할 수 있고, 장기간에 걸쳐 방전 용기의 파손을 억제할 수 있어, 장수명의 엑시머 램프로 할 수 있게 된다.
또한, 내측관의 방전 공간측 표면인, 당해 관의 외주면상에도 상기 보호막을 더 설치함으로써, 내측관에 자외선 왜곡이 생기는 것이 억제되어, 한층 더 장수명화를 실현할 수 있다.
또한, 보호막으로서 실리카, 알루미나, 산화티탄 및 산화이트륨으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종을 이용하여 구성함으로써 방전 용기에 파장 150㎚ 이하의 자외광이 입사하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태를 설명하는 엑시머 램프를 관축에 대해 수직 방향으로 절단한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태를 설명하는 엑시머 램프를 관축 방향으로 절단한 단면도이다.
도 3은 도 1에 있어서 원으로 둘러싼 부분을 확대하여 도시하는 주요부 설명도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 형태를 설명하는 엑시머 램프를 관축에 대해서 수직 방향으로 절단한 단면도이다.
도 5는 종래 기술을 설명하는 엑시머 램프를 관축에 대해서 수직 방향으로 절단한 단면도이다.
이하, 본 발명에 대해서 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은, 본 발명의 엑시머 램프의 일실시 형태에 있어서의 구성의 개략을 나타내는 설명용 단면도이다.
이 엑시머 램프(10)는, 예를 들면 석영 유리로 이루어지고, 원통형상의 외측관(12)과, 이 외측관(12) 내에 있어서 그 관축을 따라 배치된, 당해 외측관(12)의 내경보다 작은 외경을 가지는 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 원통형상의 내측관(13)을 가지고, 외측관(12)과 내측관(13)이 양 단부에 있어서 용융 접합되어 이루어지는 이중관 구조의 방전 용기(11)를 구비하고 있다.
방전 용기(11)를 구성하는 내측관(13)은, 예를 들면 양 단부가 직경 방향 외측방으로 확대되어 신장하도록 만곡되어 형성된 굴곡 부분을 가지는 것이며, 당해 내측관(13)의 굴곡 부분이 외측관(12)과 접합됨으로써 당해 굴곡 부분(13A)에 의해 단벽이 구성되고, 이에 따라, 외측관(12)의 내주면과 내측관(13)의 외주면의 사이에, 기밀하게 폐색된 환형상의 방전 공간(S)이 형성되어 있다.
방전 용기(11)를 구성하는 외측관(12)에는, 그 외주면에 밀접하여 알루미늄판 등 프레스 가공하여 구성한 단면이 개략 C형상인 금속판이 끼어넣어짐으로써, 한쪽의 전극(이하, 「외측 전극」이라고 한다)(14)이 설치되어 있다. 그리고, 내측관(13)에는, 그 내주면에 밀접하여, 예를 들면 알루미늄으로 이루어지는, 파이프형상 혹은 단면에 있어서 일부에 절결을 가지는 개략 C자형상(홈통형상)의 금속판으로 이루어지는 다른쪽의 전극(이하, 「내측 전극」이라고 한다)(15)이 설치되어 있다. 이들 외측 전극(14) 및 내측 전극(15)은, 예를 들면 고주파 전원으로 이루어지는 전원 장치(19)에 접속되어 있다.
방전 공간(S) 내에는, 외측 전극(14)과 내측 전극(15)의 사이에서 발생하는 엑시머 방전에 의해 엑시머 분자를 형성하는, 예를 들면 크세논 가스 등의 방전용 가스가 충전되어 있다.
또한, 도 2에 있어서 부호 18은 방전 용기에 가스를 봉입할 때 사용한 배기관의 잔부이다.
이 방전 용기의 내부에 있어서의 소정의 영역에, 파장 150㎚ 이하의 광에 대해서 흡수 특성 및/또는 반사 특성을 가지는 하기 구성의 보호막(20)이 형성되어 있다.
보호막은 유전체로 이루어지고, 재질로서 바람직하게는, 실리카(SiO2), 알루미나(Al203), 산화티탄(TiO2), 산화이트륨(Y203) 등의 분말로서, 이러한 유전체의 분말은 외측관의 내주면 상에 퇴적한 상태로 배치되어 이루어지는 것이다. 이러한 유전체의 분말은, 단일로 이용하거나, 적절한 조합으로 혼합하여 이용해도 된다. 또한, 상기 물질 중 실리카 입자는 파장 150㎚ 이하의 광에 대해서 흡수 특성에 의한 작용에 의해 방전 용기를 보호하고, 알루미나 입자는 파장 150㎚ 이하의 광에 대해서 흡수 특성을 주로 하지만 미세하게 반사 특성을 구비하여, 흡수와 반사의 양쪽의 특성에 의해 방전 용기를 보호한다.
실리카 입자와 알루미나 입자를 혼합하여 이용하는 경우는, 일례를 들면, 실리카 입자는 입경 0.4㎛∼1.5㎛, 중심직경：0.7㎛이며, 알루미나 입자는 0.2㎛∼0.5㎛, 중심직경：0.3㎛이며, 알루미나 입자의 함유량이 10질량%가 되도록 조제된다.
최종적인 막 두께는, 1㎛ 이상이며, 예를 들면 1∼50㎛의 범위에서 적절히 선택 가능하다. 또한, 보호막은, 1㎛ 이상 있으면, 석영 유리의 보호가 가능하므로, 파장 172㎚의 자외선에 대해서 투과성이 불필요한 부분에 형성하면, 유지 가능한 범위에서 막 두께를 두껍게 구성할 수 있다.
상기 보호막(20)이 형성되는 영역은, 방전 용기(11)에 있어서 전극(14, 15)이 배치된 부분에 대응한 부분이며, 그 중에서도 자외선 왜곡이 생기기 쉬운 부분이다. 본 발명에 관한 엑시머 램프와 같이, 외측관(12)과 내측관(13)을 구비하고, 외측관(12)의 일부에 광 투과창을 형성한 엑시머 램프에 있어서는, 외측관(12) 상에 있어서 외측 전극(14)이 배치된 부분 및 내측관(13)의 전체 둘레 부분이다. 그러나, 내측관(13)의 내표면에 있어서는 동작 중의 온도가 높고, 외측관(12)보다도 자외선 왜곡이 생기기 어렵기 때문에 필수는 아니다. 따라서, 외측관의 내표면(방전 공간측 표면)에 있어서, 전극에 대응한 부분에 있어서 필수가 된다.
외측 전극(14)이 배치되지 않은 부분에는, 크세논 공명선인 파장 147㎚의 자외광 및 플라즈마는 도달할 수 없으므로, 자외선 왜곡의 형성이 완만하다. 따라서, 상기 보호막(20)을 형성하지 않고도 파장 172㎚의 투과율을 높은 상태로 유지할 수 있다.
이러한 막은 램프를 제작하는 단계에서 형성된다.
여기서, 그 제법에 대해서 설명한다.
1. 우선, 막 구성용의 분말을 조제한다. 소정의 평균 입경 및 중심 입경을 가지는 실리카 분말과 알루미나 분말을 조제한 혼합 분말에, 니트로셀룰로오스, 아세트산부틸액과 중량비 1：4의 비율로 혼합한 바인더액을 합하여, 충분히 교반하여 알루미나 분말―실리카 분말이 분산된 슬러리를 제작한다.
2. 이 슬러리를 발광관 구성용의 유리관의 내표면에 도포한다.
도포 방법은 특별히 한정되지 않지만, 흘려내림법, 빨아올림법, 딥핑법 등을 채용할 수 있다. 또한, 흘려내림법 이외의 방법에 의한 경우는, 막이 불필요한 부분에 마스킹해 두는 것이 바람직하다.
3. 슬러리를 건조시킨 후, 보호막이 안정되게 고착하도록 전기로를 이용하여 소성한다. 소성 온도는 1100℃에서, 약 1시간 유지한다. 이 소성 공정에 의해 입자끼리 결합함과 더불어 유리관에 융착하고, 유리층이 기재에 강력하게 결착하게 된다.
이러한 보호층은, 적어도 방전 플라즈마가 형성되는(외측관 내주면) 부분에 형성할 필요가 있고, 외측 전극(한쪽의 전극)이 배치되어 있는 부분과 전극의 측단부를 넘어 비전극 형성측까지 형성되어 있는 것이 바람직한 양태이다.
도 1 및 도 3의 단면도를 참조하여, 그 바람직한 양태에 대해서 구체적으로 설명한다. 내측관(13)의 방전 공간(S)측 표면과 외측 전극(14)의 끝을 연결하는 가상선(d)이 외측관(12)의 방전 공간(S)측 표면과 교차하는 점을 A, 보호막(20)의 단부(B), 방전 용기(11) 내에 봉입된 Xe 봉입압(실온)을 P(kPa)로 했을 때, 단면도 상의 AB의 거리(AB)가, 이하의 (식 1)로 구해지는 L이상인 것이 바람직하다.
(식 1) L＝542/P2 ［㎜］
또한, 엑시머 램프의 크세논 가스의 봉입압은 10∼80kPa이며, 실용에서는 0.5∼5.5㎜의 범위에 있어서 적절하게 설정하면 된다.
자외선 왜곡의 원인이 되는 파장 147㎚의 광은, Xe 공명선이므로, 비여기 Xe 원자에 흡수된다. 이 때문에, 147㎚광의 강도는 램프 중의 Xe 원자수에 의존한다. Xe 원자수는 온도가 일정한 경우, 압력으로 표기하는 것도 가능하므로, 압력이 높으면 147㎚ 강도는 낮고, 압력이 낮으면 147㎚ 강도는 높아진다. 따라서, 파장 147㎚광이 닿는 거리(L)는 Xe 봉입압(P)에 의해 결정할 수 있다.
상기 식 1에 있어서, 압력을 2제곱한 것에 542를 곱하는 이유는, J. c. MOLINO GARCIA, J.Quant. Spectrosc. Radiant. Transfer, Vo1. 57, No.4에 의하면, Xe 원자의 147㎚의 흡수 계수 K(m－1)는 상온에 있어서,
(식 2) K＝0.085(10P)2
로 표시할 수 있다. 초기의 광 강도를 Io, 흡수되어 감쇠한 후의 광 강도를 I로 하면, 광의 감쇠는
(식 3) I/Io＝exp(－KL)
로 표시되므로, 식 3에 식 2를 대입하여 정리하면, 광이 1/100으로 감쇠하는 거리(L)는, 상기 식 1로 표시할 수 있다.
이상의, 보호막을 가지는 본원 발명에 관한 엑시머 램프에 의하면, 광 투과창부(전극 비형성부)에 있어서는, 전극이 형성되어 있지 않으므로, 램프 동작 중에 플라즈마에 노출되지 않는 구조임과 더불어, 파장 147㎚의 광이 도달할 수 없으므로, 투과율의 저하나 자외선 왜곡의 도입이 적고, 장기에 걸쳐 172㎚의 자외광을 높은 조도로 조사할 수 있음과 더불어, 외측관의 전극 형성부의 석영 유리에 있어서는, 파장 150㎚ 이하의 자외광에 대해서 흡수 또는 반사 특성을 가지는 막이 형성되어 있으므로, 파장 147㎚의 자외광 및 플라즈마에, 직접적으로 노출되지 않아도 되어, 유리의 열화의 진행을 억제할 수 있고, 파손에 이르기까지의 시간을 매우 길게 할 수 있게 된다.
또한 다른 실시 형태를 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 엑시머 램프를 관축과 수직인 단면에서 절단한 도면이다. 또한 동 도면에 있어서 앞서 도 1∼3으로 설명한 구성에 대해서는 동 부호로 표시하고, 상세한 설명을 생략한다.
도 4에 도시하는 바와같이, 본 실시 형태에 관한 엑시머 램프는, 외측관(12)의 내주면 상의 소정 영역에 보호막(20)을 형성했다고 하는 구성을 기본적으로 구비함과 더불어, 내측관(13)의 방전 공간(S)측 표면상인 관(13)의 외주 표면 상에 파장 150㎚의 광에 대해서 반사 특성 또는 흡수 특성을 구비한 보호막(21)을 형성한 것이다. 보호막(21)은, 상기한 것처럼, 재질로서 바람직하게는, 실리카(SiO2), 알루미나(Al203), 산화티탄(TiO2), 산화이트륨(Y203) 등이고, 분말 상태의 것을 단일 또는 적절한 조합으로 혼합하여, 관의 방전 공간측 표면상에 퇴적시켜 층형상을 형성한 것이다. 보호막(21)의 형성 영역은, 내측 전극(15) 배치 부분에 대응하여 거의 전체 둘레에 걸쳐 형성되어 있다.
이 실시 형태와 같이, 방전 용기(11)에 있어서의 방전 형성 영역의 전체에 대응하여 보호막(20, 21)을 형성함으로써, 방전 용기(11)에 자외선 왜곡이 생기기 어려워져, 엑시머 램프의 수명을 한층 더 늘릴 수 있게 된다.
이상, 본 발명에 대해서 설명했는데 본 발명의 구성에 관해서 치환 가능한 구성에 대해서 적절히 변경이 가능한 것은 말할 필요도 없다. 예를 들면, 막의 종류는 150㎚의 광에 대해서 흡수 및/또는 반사 특성을 가지는 것이면, 상술한 것에 한정되지 않는다.
<실시예>
이하, 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 1∼도 3의 구성에 따라 엑시머 램프를 제작했다.
＜램프 1＞
방전 용기 : 재질: 석영 유리, 전체 길이；1268㎜
외측관 : 외경 40㎜, 두께 2㎜
내측관；외경 18㎜, 두께 1㎜
외측 전극(단면 반원상) : 알루미늄, 두께 1㎜, 길이；1205㎜
내측 전극(단면 C형상)：알루미늄, 두께 1㎜, 길이；1205㎜
보호막：조성은 이하와 같다.
실리카 입자：입경 0.4㎛∼1.5㎛, 중심직경：0.7㎛
알루미나 입자 : 0.2㎛∼0.5㎛, 중심직경：0.3㎛
알루미나 입자의 함유량은 10질량%, 소성 온도：1100℃
막 두께 : 30㎛(평균)
상기 막은, 흘려내림법으로 불리는 도포 방법을 이용하여, 용제에 입자를 혼합하여 용액을 형성하고, 그 용액을 방전 용기의 내면에 흘려넣음으로써, 용액을 부착시킨다. 그 후, 건조, 소성했다. 막 두께는 1㎜이상 있으면 150㎚의 광을 흡수 및 반사하고, 147㎚의 광에 대해서 보호가 가능하다. 본 실시예에서는 30㎛의 막을 사용했다. 이 실시예에 관한 막에 의하면, 실리카 입자가 주요 성분이 되기 때문에, 파장 147㎚의 공명선을 흡수하여, 방전 용기에 대한 보호가 가능해진다.
하기 표 1에 따라, 막의 형성 영역 및 Xe 봉입 압력을 변화시켜 램프 1∼램프 3을 제작했다.
또한, 상기 실시예와 램프의 기본적 구조는 동일하게 하고, 보호막의 형성 영역이 비교적 작은 혹은 보호막을 갖지 않는, 참조예에 관한 램프 4∼램프 6을 제작했다. 이들 램프 4∼램프 6의 Xe 봉입압 및 보호막의 구성에 대해서, 하기 표 1에 정리하여 나타낸다.
각 램프의 정격 전압, 정격 주파수로, 램프 1∼램프 6을 점등하고, 파손까지의 시간을 비교했다. 이 결과를 하기 표 1에 표시한다.
이 결과로부터 명백한 바와같이, 외측관의 외주면 상의 반 이상을 덮는 외측 전극의 배치 영역을 넘어 덮도록 파장 150㎚이하의 자외광에 대해서 흡수 또는 반사 특성을 가지는 보호막을 가짐으로써, 막을 갖지 않는 것이나, 막이 전극 배치 영역을 넘어 형성되지 않은 것에 비해, 장수명화를 달성할 수 있다. 또한, 막이 형성되는 영역(AB의 길이)이, 램프에 있어서의 크세논의 봉입압(P)과의 관계에서, L＝542/P2에 의해 산출되는 크기보다도 광범위하게 형성됨으로써, 1000시간 이상이나 사용 수명을 길게 늘릴 수 있다.
<표 1>
Figure pat00001
11 : 방전 용기 12 : 외측관
13 : 내측관 13A : 굴곡 부분
14 : 한쪽의 전극(외측 전극) 15 : 다른쪽의 전극(내측 전극)
18 : 배기관 잔부 19 : 전원 장치
20 : 보호막 S : 방전 공간

Claims (3)

  1. 동축 상에 배치된 외측관과 내측관을 구비하고, 크세논 가스가 봉입되어 원통형상의 방전 공간을 형성하는 방전 용기와,
    상기 외측관의 외주면 상에 배치된 한쪽의 전극과, 상기 내측관의 내주면 상에 배치된 다른쪽의 전극을 구비하여 이루어지는 엑시머 램프에 있어서,
    상기 한쪽의 전극은, 상기 엑시머 램프의 관축에 수직인 단면에 있어서 상기 외측관의 외주면 상의 반 이상을 덮고 또한 일정 영역 비형성 부분을 구비하고,
    상기 외측관의 내주면 상에, 상기 한쪽의 전극 배치 영역을 넘어 덮도록 파장 150㎚ 이하의 자외광에 대해서 흡수 또는 반사 특성을 가지는 막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 내측관의 외주면 상에, 상기 다른쪽의 전극 배치 영역을 넘어 덮도록 파장 150㎚ 이하의 자외광에 대해서 흡수 또는 반사 특성을 가지는 막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 막은, 실리카, 알루미나, 산화티탄 및 산화이트륨으로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200131046A (ko) * 2019-05-13 2020-11-23 주식회사 원익큐엔씨 임플란트 표면개질 처리용 자외선 램프
CN112786433A (zh) * 2019-11-01 2021-05-11 崇翌科技股份有限公司 准分子灯

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5397455B2 (ja) * 2011-11-22 2014-01-22 ウシオ電機株式会社 希ガス蛍光ランプ
JP6202332B2 (ja) * 2013-03-28 2017-09-27 株式会社Ｇｓユアサ 紫外線ランプ
CN107428088B (zh) * 2015-03-19 2020-07-14 优志旺电机株式会社 树脂制管的接合方法
JP7107108B2 (ja) * 2018-08-31 2022-07-27 東芝ライテック株式会社 紫外線照射ユニット、紫外線照射装置およびバリア放電ランプ
JP7185521B2 (ja) * 2018-12-26 2022-12-07 株式会社オーク製作所 放電ランプ
TWI757575B (zh) * 2019-01-23 2022-03-11 崇翌科技股份有限公司 準分子燈及準分子燈的製造方法
CN111508816B (zh) * 2019-01-30 2023-06-06 崇翌科技股份有限公司 准分子灯及准分子灯的制造方法
CN115916692A (zh) * 2020-08-20 2023-04-04 株式会社岛津制作所 检查装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3087566B2 (ja) * 1994-03-30 2000-09-11 ウシオ電機株式会社 誘電体バリア放電蛍光ランプ
JP3133265B2 (ja) * 1997-02-07 2001-02-05 スタンレー電気株式会社 蛍光ランプ
JP3580233B2 (ja) * 2000-09-19 2004-10-20 ウシオ電機株式会社 誘電体バリア放電ランプ装置
JP4461707B2 (ja) * 2003-05-06 2010-05-12 ウシオ電機株式会社 エキシマランプ
JP4396415B2 (ja) * 2004-06-24 2010-01-13 ウシオ電機株式会社 光照射装置
JP4305298B2 (ja) * 2004-06-28 2009-07-29 ウシオ電機株式会社 エキシマランプ
US7687997B2 (en) * 2004-07-09 2010-03-30 Koninklijke Philips Electronics N.V. UVC/VUV dielectric barrier discharge lamp with reflector
JP2006269189A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Md Komu:Kk 長尺エキシマランプユニット
TWM289462U (en) * 2005-06-10 2006-04-11 Fu-Kuo Huang After glow lighting film having UV filtering and explosion-proof
JP4749797B2 (ja) * 2005-08-10 2011-08-17 株式会社オーク製作所 エキシマランプ
TWI322999B (en) * 2006-06-30 2010-04-01 Suk Yue Ka A cold electron ultraviolet lamp
TWI402882B (zh) * 2007-03-14 2013-07-21 Jenn Wei Mii 發光元件

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200131046A (ko) * 2019-05-13 2020-11-23 주식회사 원익큐엔씨 임플란트 표면개질 처리용 자외선 램프
CN112786433A (zh) * 2019-11-01 2021-05-11 崇翌科技股份有限公司 准分子灯

Also Published As

Publication number Publication date
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