JP2010217129A - 検査方法および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】領域毎に検査閾値を設定する機能を搭載し且つ、空間的に独立した複数の検出器毎に検査閾値を設定する機能を搭載する。被検査体からのノイズの大きさは同じ領域でも空間的な方向によって異なる。よって、検出器毎,被検査体の領域毎に被検査体からのノイズの大きさに応じて最適な信号演算処理による検出信号SN比の最大化と最適な閾値設定を行うことで、検出感度の最大化を図る。
【選択図】 図1
Description
図8を用いて、ウェーハ外周部の検査への応用例を説明する。ウェーハ外周部の領域EG(例えば、ベベル領域)の検査では、平坦部FTと同一の閾値ではウェーハからのノイズが大きく検査できない。ウェーハ外周部の領域EGのノイズが大きい要因は、主にウェーハが傾斜していることと、表面状態が平坦部FTに比べて粗いことによる。上記領域EGでは、ウェーハからのノイズが大きい検出器は図6を用いて説明した機能により、最適な閾値が計算され、ウェーハ表面からの強度(ノイズ成分)を排除し誤検出なく検査可能となる。また、ウェーハ表面からの入射光は小さい検出器では、図6で示された機能により、適正な閾値が計算され、高感度で欠陥・異物の判定が可能となる。
図9を用いて、パターン付きウェーハの検査への応用例を説明する。パターン付きウェーハについては、検査照明の走査軌跡が螺旋状または同心円となる回転ステージを用いたシステム構成を有する場合は、パターンからの散乱光ノイズはウェーハ回転角度により変化し、散乱光を一つの検出器で電気信号に変換すると、ウェーハの多くの領域でノイズが大きく、ウェーハ上の欠陥・異物の判定ができない、または著しく検出感度が低下する。
図10を用いて、別のパターン付きウェーハの検査への応用例を説明する。応用例2で説明したとおり、検査条件としてチップサイズ,配列などの情報を入力する必要がないため、チップの配列がマトリクス状(千鳥格子)でない場合、または異種のチップが混在する場合、またはその両方の検査試料であっても、図6の機能により、空間的に異なる位置に配置された検出器毎、且つ検査領域(領域Pや領域NP)毎に適正な閾値が計算され、試料表面の状態に関わらず欠陥・異物の判定が可能となる。
1.被検査体に照明光を照射する照明系と、前記被検査体からの散乱光を検出する検出部と、空間的に独立した複数の検出器と、前記複数の検出器の各出力信号を独立した処理条件で信号処理する信号処理部とを有する検査装置。
2.上記1.において、前記独立した処理条件で処理する信号処理部は、前記複数の検出器の検出器毎に、独立して閾値を設定し判定処理する判定処理部を有する検査装置。
3.上記1.において、前記独立した処理条件で処理する信号処理部は、前記複数の検出器の検出器毎に、かつ、被検査体の個別領域毎に、ノイズと欠陥を判別する閾値を変化させて判定処理する判定処理部を有する検査装置。
4.上記1.において、前記複数の検出器の各出力信号および前記信号処理結果を任意に選択し同一画面内に表示する表示部を有する検査装置。
5.上記1.において、複数の検出器の信号処理結果を任意の条件にて再処理する信号処理部を有する検査装置。
6.上記1.において、前記信号処理部において、前記複数の検出器からの出力信号の加算結果信号のSN比が最大となるゲイン設定値を算出し、複数の検出器にその値を設定する検査装置。
7.被検査体に照明光を照射して検査する検査方法において、前記被検査体からの散乱光を、空間的に独立した複数の検出器にて検出し、前記複数の検出器の各出力信号を独立した処理条件で信号処理する検査方法。
8.上記7.において、前記独立した処理条件で処理するとは、前記複数の検出器の検出器毎に、独立して閾値を設定し判定処理する検査方法。
9.上記7.において、前記独立した処理条件で処理するとは、前記複数の検出器の検出器毎に、かつ、被検査体の個別領域毎に、ノイズと欠陥を判別する閾値を変化させて判定処理する検査方法。
10.上記7.において、前記複数の検出器の各出力信号および前記信号処理結果を任意に選択し同一画面内に表示する検査方法。
11.上記7.において、複数の検出器の信号処理結果を任意の条件にて再処理する検査方法。
12.上記7.において、前記複数の検出器からの出力信号の加算結果信号のSN比が最大となるゲイン設定値を算出し、複数の検出器にその値を設定する検査方法。
2 光量調整機構
3 光軸補正機構
5 ズーム機構
6a 垂直斜方照射切り替えミラー
7a 集光レンズ
8 試料
9 XYZθステージ
10 検出レンズ
11 検出器
12 A/D変換器
13 異物・欠陥判定機構
131 入力部
132 出力部
Claims (12)
- 被検査体に照明光を照射する照明系と、
前記被検査体からの散乱光を検出する検出部と、
空間的に独立した複数の検出器と、
前記複数の検出器の各出力信号を独立した処理条件で信号処理する信号処理部とを有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記独立した処理条件で処理する信号処理部は、前記複数の検出器の検出器毎に、独立して閾値を設定し判定処理する判定処理部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記独立した処理条件で処理する信号処理部は、前記複数の検出器の検出器毎に、かつ、被検査体の個別領域毎に、ノイズと欠陥を判別する閾値を変化させて判定処理する判定処理部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
前記複数の検出器の各出力信号および前記信号処理結果を任意に選択し同一画面内に表示する表示部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1において、
複数の検出器の信号処理結果を任意の条件にて再処理する、再処理しないの選択および複数の検出器の信号処理結果を任意の条件にて再処理する信号処理部を有する検査装置。 - 請求項1において、
前記信号処理部において、前記複数の検出器からの出力信号の加算結果信号のSN比が最大となるゲイン設定値を算出し、複数の演算器にその値を設定することを特徴とする検査装置。 - 被検査体に照明光を照射して検査する検査方法において、
前記被検査体からの散乱光を、空間的に独立した複数の検出器にて検出し、
前記複数の検出器の各出力信号を独立した処理条件で信号処理することを特徴とする検査方法。 - 請求項7において、
前記独立した処理条件で処理するとは、前記複数の検出器の検出器毎に、独立して閾値を設定し判定処理することを特徴とする検査方法。 - 請求項7において、
前記独立した処理条件で処理するとは、前記複数の検出器の検出器毎に、かつ、被検査体の個別領域毎に、ノイズと欠陥を判別する閾値を変化させて判定処理することを特徴とする検査方法。 - 請求項7において、
前記複数の検出器の各出力信号および前記信号処理結果を任意に選択し同一画面内に表示することを特徴とする検査方法。 - 請求項7において、
複数の検出器の信号処理結果を任意の条件にて再処理することを特徴とする検査方法。 - 請求項7において、
前記複数の検出器からの出力信号の加算結果信号のSN比が最大となるゲイン設定値を算出し、複数の検出器にその値を設定することを特徴とする検査方法。
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