JP2007107960A - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。
【選択図】図5
Description
また、本発明によれば、従来の上方検出光学系の検出器に加えて、斜方検出光学系の検出器の出力が1回の検査によって同時に検出出力を得ることができるため、従来2倍の情報量を得ることができる。そのため、スループットを半分に向上させる効果を奏する。
Claims (5)
- 試料をx軸方向、y軸方向、z軸方向及びz軸周りに移動させるステージと、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し試料表面にスリット状のビームスポットを生成する照明光学系と、試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有し上記ビームスポットからの光を検出する斜方検出系と、試料の表面の法線に沿った光軸を有し上記ビームスポットからの光を検出する上方検出系と、上記斜方検出系と上記上方検出系の出力を入力し試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する信号処理系と、を有し、上記検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、上記照明光学系は、上記斜方検出系と対向する方向から検査用照明光を試料表面に照射する第1の照明ビームスポット結像部と、該第1の照明ビームスポット結像部による検査用照明光の方向に対して所定の角度だけずれた方向から検査用照明光を照射する第2の照明ビームスポット結像部と、該第2の照明ビームスポット結像部による検査用照明光の方向に対して所定の角度だけずれた方向から検査用照明光を照射する第3の照明ビームスポット結像部とを有し、上記第1、第2および第3の照明ビームスポット結像部の少なくとも1つを用いて上記ビームスポットを生成することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、上記第2および第3の照明ビームスポット結像部による検査用照明光の方向は、上記第1の照明ビームスポット結像部による検査用照明光の方向に対して45度の角度だけずれた方向であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、上記照明光学系の光軸の傾斜角度と上記斜方検出系の光軸の傾斜角度は、試料の表面の透明薄膜上の欠陥の検出精度に基づいて調整可能であることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、上記上方検出系及び上記斜方検出系は、試料上に存在する回路パターンの繰り返しパターンからの回折光を遮光する空間フィルタを有し、該空間フィルタの繰り返し遮光パターンの寸法及び形状を自動的に設定できることを特徴とする欠陥検査装置。
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