JP2009010325A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、移動するステージに搭載されている被検査物をイメージセンサで撮影する検査方法において、撮影に向け移動する前記ステージの目標位置と実際位置との位置ズレ量を求め、撮影した前記目標位置の撮影範囲からの撮像画像切り出しで、前記位置ズレ量に見合った切り出し位置補正をすることを特徴とする。
【選択図】図9
Description
Xステージ302の差分ΔX=(X1)−(X1´) (数1)
Yステージ301の差分ΔY=(Y1)−(Y1´) (数2)
図7のステージ原点からの移動距離測定マップの測定ピッチを細かくすることにより、被検査基板1の繰り返しパターンとのピッチずれによる位置ずれ量を、極力小さく抑えることが出来る。
Xステージ302の位置ずれ量(差分):ΔXp
ΔXp=〔(Xp1)−(Xp2)〕×画素サイズ×倍率 (数1)
Yステージ301の位置ずれ量(差分):ΔYp
ΔYp=〔(Yp1)−(Yp2)〕×画素サイズ×倍率 (数2)
ステップS24として、図11に示す表示部403に、ステップ23で算出したステージ位置ずれ量と前記ステージ位置ずれ量の補正方法選択画面及びしきい値設定画面を表示する。
Claims (15)
- 移動するステージに搭載されている被検査物をイメージセンサで撮影して検査する検査方法において、
移動する前記ステージの目標位置と実位置との位置ズレ量を求め、
前記目標位置での撮影では、前記位置ズレ量に応じて前記被検査物に対する前記イメージセンサの向きを調整補正することを特徴とする検査方法。 - 被検査物を搭載して移動するステージと、
前記被検査物を撮影するイメージセンサを備える検査装置において、
移動する前記ステージの目標位置と実位置との位置ズレ量を示す情報を記憶する記憶部と、
前記情報に基づいて前記被検査物に対する前記イメージセンサの向きを調整補正する制御部を備えたことを特徴とする検査装置。 - 移動するステージに搭載されている被検査物をイメージセンサで撮影する検査方法において、
移動する前記ステージの目標位置と実際位置との位置ズレ量を求め、
撮影した前記目標位置の撮影範囲からの撮像画像切り出しで、前記位置ズレ量に見合った切り出し位置補正をすることを特徴とする検査方法。 - 被検査物を搭載して移動するステージと、
前記被検査物を撮影するイメージセンサを備える検査装置において、
移動する前記ステージの目標位置と実際の位置ズレ量を示す情報を記憶する記憶部と、
撮影した目標位置の撮像範囲からの撮像画像切り出しで、前記情報に応じた切り出し位置補正をして撮影画像の切り出しをする処理部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項3記載の検査方法において、
前記目標位置の撮像範囲は切り出される撮影画像よりも大きいことを特徴とする検査方法。 - 請求項4記載の検査方法において、
前記目標位置の撮像範囲は切り出される撮影画像よりも大きいことを特徴とする検査装置。 - X軸・Y軸の座標を縦横に移動するステージに搭載される被検査物をイメージセンサで撮影する検査方法において、
移動する前記ステージの目標位置と実位置との位置ズレ量を前記座標上で求め、
前記被検査物に対する前記イメージセンサの向きは、前記座標上の一方軸側分の前記位置ズレ量に見合う調整補正をし、
撮影した目標位置の撮影範囲からの画像切り出しでは、前記座標上の他方軸側分の前記位置ズレ量に見合う切り出し位置補正をすることを特徴とする検査方法。 - 移動するステージに搭載されている被検査物をイメージセンサで撮影し、撮影した画像を比較照合する検査方法において、
個々の画像撮影に向け移動する前記ステージの目標位置と実位置との位置ズレ量を個々に求め、
前記個々の目標位置での画像撮影では、前記被検査物に対する前記イメージセンサの向きを個々の前記位置ズレ量に応じて調整補正することを特徴とする検査方法。 - 移動するステージに搭載されている被検査物をイメージセンサで撮影し、撮影した画像を比較照合する検査方法において、
個々の画像撮影に向け移動する前記ステージの目標位置と実位置との位置ズレ量を個々に求め、
前記個々の目標位置の撮影範囲からの撮像画像切り出しで、個々の前記位置ズレ量に見合った切り出し位置補正をすることを特徴とする検査方法。 - X軸・Y軸の座標を縦横に移動するステージに搭載される被検査物をイメージセンサで撮影する検査方法において、
移動する前記ステージの目標位置と実位置との位置ズレ量を前記座標上で求め、
前記被検査物に対する前記イメージセンサの向きは、前記座標上の一方軸側分の前記位置ズレ量に見合う調整補正をし、
前記座標上の他方軸側分の前記位置ズレ量に見合う調整補正を前記ステージですることを特徴とする検査方法。 - X軸・Y軸の座標を縦横に移動するステージに搭載される被検査物をイメージセンサで撮影する検査方法において、
移動する前記ステージの目標位置と実位置との位置ズレ量を前記座標上で求め、
撮影した前記目標位置の撮影範囲からの撮像画像切り出しで、前記座標上の一方軸側分の前記位置ズレ量に見合う調整補正をし、
前記座標上の他方軸側分の前記位置ズレ量に見合う調整補正を前記ステージですることを特徴とする検査方法。 - 移動するステージに搭載されている被検査物をイメージセンサで撮影して検査する検査方法において、
前記イメージセンサが撮影する基準画像801と比較画像802の画像位置ズレ量より、前記ステージの目標位置と実位置との位置ズレ量を算定することを特徴とする検査方法。 - 請求項12記載の検査方法において、
前記ステージの移動では、前記位置ズレ量に見合う調整補正をすることを特徴とする検査方法。 - 請求項12記載の検査方法において、
撮影した撮影範囲からの撮像画像切り出しでは、前記位置ズレ量に見った切り出し位置補正をすることを特徴とする検査方法。 - 請求項12記載の検査方法において、
検査するところの撮影では、前記位置ズレ量に見合ったイメージセンサの位置補正をすることを特徴とする検査方法。
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