JP2007107960A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 試料をｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向及びｚ軸周りに移動させるステージと、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し試料表面にスリット状のビームスポットを生成する照明光学系と、試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有し上記ビームスポットからの光を検出する斜方検出系と、試料の表面の法線に沿った光軸を有し上記ビームスポットからの光を検出する上方検出系と、上記斜方検出系と上記上方検出系の出力を入力し試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する信号処理系と、を有し、上記検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度であることを特徴とする欠陥検査装置。
2. 請求項１記載の欠陥検査装置において、上記照明光学系は、上記斜方検出系と対向する方向から検査用照明光を試料表面に照射する第１の照明ビームスポット結像部と、該第１の照明ビームスポット結像部による検査用照明光の方向に対して所定の角度だけずれた方向から検査用照明光を照射する第２の照明ビームスポット結像部と、該第２の照明ビームスポット結像部による検査用照明光の方向に対して所定の角度だけずれた方向から検査用照明光を照射する第３の照明ビームスポット結像部とを有し、上記第１、第２および第３の照明ビームスポット結像部の少なくとも１つを用いて上記ビームスポットを生成することを特徴とする欠陥検査装置。
3. 請求項１記載の欠陥検査装置において、上記第２および第３の照明ビームスポット結像部による検査用照明光の方向は、上記第１の照明ビームスポット結像部による検査用照明光の方向に対して４５度の角度だけずれた方向であることを特徴とする欠陥検査装置。
4. 請求項１記載の欠陥検査装置において、上記照明光学系の光軸の傾斜角度と上記斜方検出系の光軸の傾斜角度は、試料の表面の透明薄膜上の欠陥の検出精度に基づいて調整可能であることを特徴とする欠陥検査装置。
5. 請求項１記載の欠陥検査装置において、上記上方検出系及び上記斜方検出系は、試料上に存在する回路パターンの繰り返しパターンからの回折光を遮光する空間フィルタを有し、該空間フィルタの繰り返し遮光パターンの寸法及び形状を設定できることを特徴とする欠陥検査装置。
6. 光を試料表面に照射し試料表面にビームスポットを生成する照明光学系と、
   上記ビームスポットからの光を検出する検出系と、
   上記検出系の出力を入力し試料の欠陥を検出する信号処理系と、を有し、
   上記光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度であることを特徴とする欠陥検査装置。
7. 請求項６記載の欠陥検査装置において、
   上記ビームスポットは、複数の照明光学系の少なくとも１つを用いて生成することを特徴とする欠陥検査装置。
8. 請求項７記載の欠陥検査装置において、
   上記複数の照明光学系の光の光軸は、互いに所定角度だけずれた方向であることを特徴とする欠陥検査装置。
9. 請求項７記載の欠陥検査装置において、
   上記複数の照明光学系の光の光軸は、欠陥の検出精度に基づいて調整可能であることを特徴とする欠陥検査装置。
10. 請求項６記載の欠陥検査装置において、
    上記検出系は、回折光を遮光する空間フィルタを有し、該空間フィルタの繰り返し遮光パターンの寸法及び形状を設定できることを特徴とする欠陥検査装置。