JP2010199124A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2010199124A5
JP2010199124A5 JP2009039144A JP2009039144A JP2010199124A5 JP 2010199124 A5 JP2010199124 A5 JP 2010199124A5 JP 2009039144 A JP2009039144 A JP 2009039144A JP 2009039144 A JP2009039144 A JP 2009039144A JP 2010199124 A5 JP2010199124 A5 JP 2010199124A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ozone
water
ozone water
gas
ozone gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009039144A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2010199124A (ja
JP5412135B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2009039144A priority Critical patent/JP5412135B2/ja
Priority claimed from JP2009039144A external-priority patent/JP5412135B2/ja
Publication of JP2010199124A publication Critical patent/JP2010199124A/ja
Publication of JP2010199124A5 publication Critical patent/JP2010199124A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5412135B2 publication Critical patent/JP5412135B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2009039144A 2009-02-23 2009-02-23 オゾン水供給装置 Active JP5412135B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009039144A JP5412135B2 (ja) 2009-02-23 2009-02-23 オゾン水供給装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009039144A JP5412135B2 (ja) 2009-02-23 2009-02-23 オゾン水供給装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2010199124A JP2010199124A (ja) 2010-09-09
JP2010199124A5 true JP2010199124A5 (https=) 2012-03-29
JP5412135B2 JP5412135B2 (ja) 2014-02-12

Family

ID=42823601

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009039144A Active JP5412135B2 (ja) 2009-02-23 2009-02-23 オゾン水供給装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5412135B2 (https=)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6059871B2 (ja) * 2011-12-20 2017-01-11 野村マイクロ・サイエンス株式会社 気体溶解水製造装置及び気体溶解水製造方法
KR101818048B1 (ko) * 2015-11-19 2018-02-22 에스케이하이닉스 주식회사 순환형 오존수 공급 장치
JP6640630B2 (ja) * 2016-03-25 2020-02-05 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
CN110709153B (zh) * 2017-06-07 2022-03-01 三菱电机株式会社 水处理膜的清洁装置、清洁方法以及水处理系统
EP3814284B1 (en) 2018-08-29 2025-06-04 MKS Instruments, Inc. Ozonated water delivery system and method of use

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3332323B2 (ja) * 1996-10-29 2002-10-07 オルガノ株式会社 電子部品部材類の洗浄方法及び洗浄装置
JP2002066475A (ja) * 2000-08-25 2002-03-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板洗浄装置
JP2003236481A (ja) * 2002-02-14 2003-08-26 Toshiba Corp 洗浄方法、洗浄装置ならびに半導体装置の製造方法およびアクティブマトリックス型表示装置の製造方法
JP4077845B2 (ja) * 2005-03-18 2008-04-23 セメス株式会社 機能水供給システム、及び機能水供給方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1819868B (zh) 气体溶解量调整方法和其装置及其系统
CN106663622B (zh) 清洗装置
TWI791454B (zh) 電子元件洗淨用之鹼水之製造裝置及製造方法
JP2010199124A5 (https=)
JP5020784B2 (ja) オゾン水の製造装置及び製造方法
JP2012157789A (ja) 微細気泡発生方法および微細気泡発生装置
JP2003334433A (ja) 連続溶解装置、連続溶解方法及び気体溶解水供給装置
JP5412135B2 (ja) オゾン水供給装置
JP2007326101A (ja) オゾン水処理方法
TWI759381B (zh) 稀釋液製造裝置及稀釋液製造方法
JP2011078858A (ja) マイクロバブル生成方法及びマイクロバブル生成装置
JP5704634B2 (ja) 海洋生物の付着を抑制する方法およびシステム、および、水の塩素濃度を減少させる方法およびシステム
US20090321370A1 (en) Apparatus for treating a liquid with a gas
JP2009228991A (ja) ボイラシステム及びボイラシステムの運転方法
JP7365751B2 (ja) 溶存気体置換装置、及び溶存気体の置換方法
JP2010155754A (ja) オゾン水の製造装置及び製造方法
BR112014004296B1 (pt) Tratamento de água para estender o tempo de vida do ozônio
JP6777533B2 (ja) 希釈液製造装置および希釈液製造方法
JP7204211B2 (ja) バッチ式マイクロバブル液生成装置および生成方法
JP2012024719A (ja) 微細バブル含有液供給装置
JP6777534B2 (ja) 希釈液製造装置および希釈液製造方法
JP6105879B2 (ja) 脱炭酸処理装置
RU2006122444A (ru) Устройство получения воды очищенной и для инъекций
KR20140085706A (ko) 밸러스트 수처리 시스템
JP3748865B2 (ja) 脱酸素方法