JP2010198006A - 多階調フォトマスク、多階調フォトマスクの製造方法、及びパターン転写方法 - Google Patents
多階調フォトマスク、多階調フォトマスクの製造方法、及びパターン転写方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010198006A JP2010198006A JP2010013914A JP2010013914A JP2010198006A JP 2010198006 A JP2010198006 A JP 2010198006A JP 2010013914 A JP2010013914 A JP 2010013914A JP 2010013914 A JP2010013914 A JP 2010013914A JP 2010198006 A JP2010198006 A JP 2010198006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- light
- semi
- correction
- transparent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/36—Masks having proximity correction features; Preparation thereof, e.g. optical proximity correction [OPC] design processes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/76—Patterning of masks by imaging
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0332—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their composition, e.g. multilayer masks, materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0334—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
- H01L21/0337—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane characterised by the process involved to create the mask, e.g. lift-off masks, sidewalls, or to modify the mask, e.g. pre-treatment, post-treatment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】透明基板上に遮光部、透光部及び半透光部が形成された転写パターンを有し、被転写体上のレジスト膜に2つ以上の異なるレジスト残膜値を有するレジストパターンを形成する多階調フォトマスクであって、遮光部は透明基板上に遮光膜が形成されてなり、透光部は透明基板が露出して形成され、半透光部は透明基板上に形成された半透光膜によりなる正常部と、透明基板上に形成された修正膜によりなる修正部とを有し、透光部と修正部のi線〜g線の波長光に対する位相差が80度以下である。
【選択図】図3
Description
また、特許文献2には、フォトマスクの白欠陥箇所に、ヘリウムガスをキャリアガスとし、クロム(Cr)を原料ガスとしてレーザーCVD法により膜を形成する方法が記載されている。
(構成1)透明基板上に形成された少なくとも半透光膜と遮光膜がそれぞれパターン加工されることにより、遮光部、透光部、及び半透光部が形成された転写パターンを有し、該転写パターンによって透過する露光光量を制御することにより、被転写体上のレジスト膜に、2つ以上の異なるレジスト残膜値を有するレジストパターンを形成する多階調フォトマスクにおいて、前記遮光部は、前記透明基板上に少なくとも前記遮光膜が形成されてなり、前記透光部は、前記透明基板が露出して形成され、前記半透光部は、前記透明基板上に形成された半透光膜によりなる正常部と、前記透明基板上に形成された修正膜によりなる修正部とを有し、前記透光部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差が、80度以下であることを特徴とする多階調フォトマスク。
(構成4)前記正常部と前記修正部の透過率波長依存性が実質的に等しいことを特徴とする構成1乃至3のいずれか1項に記載の多階調フォトマスク。
(構成6)前記修正膜は、モリブデンとケイ素を含む材料からなることを特徴とする構成1乃至5のいずれか1項に記載の多階調フォトマスク。
(構成8)前記多階調フォトマスクは薄膜トランジスタ製造用のフォトマスクであり、前記遮光部は、前記薄膜トランジスタのソース及びドレインに対応する部分を含み、前記半透光部は、前記薄膜トランジスタのチャネルに対応する部分を含むことを特徴とする構成1乃至7のいずれか1項に記載の多階調フォトマスク。
(構成13)前記正常部と前記修正部の透過率波長依存性が実質的に等しいことを特徴とする構成10乃至12のいずれか1項に記載の多階調フォトマスクの製造方法。
(構成15)前記修正膜は、レーザーCVD法によって形成することを特徴とする構成10乃至14のいずれか1項に記載の多階調フォトマスクの製造方法。
(構成16)前記修正膜は、モリブデンを含む原料とケイ素を含む原料をそれぞれ用いたレーザーCVD法によって形成することを特徴とする構成14に記載の多階調フォトマスクの製造方法。
結果的に、特に好ましい、好適に修正された多階調フォトマスクは、前記正常部と前記透光部、前記正常部と前記修正部、前記透光部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差が、いずれも80度以下である多階調フォトマスクである。
図1は、本発明の多階調フォトマスクを用いたパターン転写方法を説明するための断面図である。図1に示す本発明の多階調フォトマスク10は、例えば液晶表示装置(LCD)の薄膜トランジスタ(TFT)等の電子デバイスを製造するために用いられるものであり、図1に示す被転写体20上に、2つ以上の膜厚が段階的または連続的に異なるレジストパターン23を形成するものである。なお、図1中において符号22A、22Bは、被転写体20において基板21上に積層された膜を示す。
上述の図1に示すような、透光部、遮光部の他に、1種類の半透光部を有する3階調マスクのみならず、異なる露光光透過率をもつ2つの半透光部を有する4階調のマスク、あるいはそれ以上の階調数をもつマスクにも、本発明は好適に適用される。
黒欠陥の場合には、黒欠陥の生じた部分を、レーザーまたはFIB照射し、そのエネルギーで除去し、除去した部分にあらためて修正膜を形成することができる。例えば、チャネル部に生じた黒欠陥は、該チャネル部全体の半透光膜を除去し、チャネル部全体に修正膜30を形成してもよい(図3(B)参照)。または、チャネル部に生じた黒欠陥が小さいものであれば、黒欠陥部分のみを除去し、除去した部分の形状に合わせて修正膜30を形成してもよい(図3(C)参照)。
従って、修正部と正常部(正常な半透光部13)の間の、i線〜g線の波長光に対する位相差についても、80度以下、より好ましくは70度以下となるように、修正膜と半透光膜の選択を行うことが好ましい。このように、修正部と正常部の間の、i線〜g線の波長光に対する位相差が80度以下となるような修正膜33を用いて修正を行うことにより、修正部と正常部の隣接部での暗線が生じるのを抑止することができる(図3(E)参照)。
すなわち、透明基板上に形成された少なくとも半透光膜と遮光膜がそれぞれパターン加工されることにより、遮光部、透光部、及び半透光部が形成された転写パターンを有し、該転写パターンによって透過する露光光量を制御することにより、被転写体上のレジスト膜に、2つ以上の異なるレジスト残膜値を有するレジストパターンを形成する多階調フォトマスクにおいて、前記遮光部は、前記透明基板上に少なくとも前記遮光膜が形成されてなり、前記透光部は、前記透明基板が露出して形成され、前記半透光部は、前記透明基板上に形成された半透光膜によりなる正常部と、前記透明基板上に形成された修正膜によりなる修正部とを有し、前記正常部と前記透光部、前記正常部と前記修正部、前記透光部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差が、いずれも80度以下、より好ましくは70度以下である多階調フォトマスクである。
縦軸は透明基板に対する、i線の位相シフト量、横軸は透過率である。透過率が低いものほど膜厚が大きい。膜厚が大きいほど、位相シフト量も大きい。ここで、例えば、半透光膜(正常部)として、MoSi膜を用いたとき、透過率25〜80%の範囲で、透明基板に対する位相シフト量が+(プラス)20度未満となっている。このようなMoSi膜を用いた半透光部は、透明基板との位相差が小さく、好ましいものである。
さらに、本発明では、半透光膜(正常部)にMoSi膜を好適に用いることができるので、修正膜にMoSi系膜を用いた場合、正常部と修正部の境界においても位相差は、70度以下(実際には、20度以下となる)となり、前述の図3(C)のような局所的な修正を行っても、正常部と修正部の間の位相差が問題となることはない。
すなわち、本発明は、透明基板上に形成された少なくとも半透光膜と遮光膜がそれぞれパターン加工されることにより、遮光部、透光部、及び半透光部が形成された転写パターンを有し、該転写パターンによって透過する露光光量を制御することにより、被転写体上のレジスト膜に、2つ以上の異なるレジスト残膜値を有するレジストパターンを形成する多階調フォトマスクの製造方法であって、前記透明基板上に少なくとも半透光膜と遮光膜が形成されたフォトマスクブランクを用意する工程と、フォトリソグラフィ法により、前記半透光膜と前記遮光膜をそれぞれパターン加工することによって、遮光部、透光部、及び半透光部を有する転写パターンを形成するパターニング工程と、形成された前記転写パターンに生じた欠陥を修正する修正工程と、を有し、前記修正工程においては、前記半透光膜の欠落部、または、前記半透光膜又は前記遮光膜を除去した除去部に、修正膜を形成して修正部となし、前記透光部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差を80度以下とする多階調フォトマスクの製造方法である。
本実施の形態に使用するフォトマスクブランク1は、透明基板14上に、例えばMoSiを含む材料からなる半透光膜16と遮光膜15がこの順に形成されている。なお、遮光膜15は、例えばCrを主成分とする遮光層15aと、Crの酸化物等を含む反射防止層15bの積層構成である(図2(a)参照)。
まず、このフォトマスクブランク1上に、レジストを塗布してレジスト膜17を形成する(同図(b)参照)。上記レジストとしてはポジ型フォトレジストを使用する。
(1)透明基板上に半透光膜、及び遮光膜をこの順に積層されたフォトマスクブランクを用意し、該フォトマスクブランク上に、遮光部及び半透光部に対応する領域のレジストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクとして、露出した遮光膜及び半透光膜をエッチングすることにより、透光部を形成する。次に、少なくとも遮光部を含む領域にレジストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクとして、露出した遮光膜をエッチングすることにより、半透光部及び遮光部を形成する。こうして、透明基板上に、半透光膜によりなる半透光部、半透光膜と遮光膜の積層膜によりなる遮光部、透光部を形成した多階調フォトマスクを得ることができる。
成膜時には、予め特定のSi原料とMo原料を選択し、成膜したときのレーザーのドーズ量(膜厚との間に相関をもつ)と透過率との関係を予め把握し、そのデータに基づいて成膜を行うことが好ましい。
本発明において、正常部と修正部といった2つの半透光部の透過率波長依存性が実質的に等しいとは、それぞれの半透光部に用いられる膜構成で、i線〜g線の範囲における、透過率波長依存性の変化カーブがほぼ平行であることをいう。例えば、i線〜g線の範囲での透過率変化を直線で近似したとき、この直線の傾きがほぼ等しいことを含む。ここで、直線の傾きがほぼ等しいとは、相互の傾きの差異が、5%/100nm以内であることをいい、より好ましくは2%/100nm以内である。1%/100nm以内であるとさらに好ましい。
10 多階調フォトマスク
11 遮光部
12 透光部
13 半透光部
14 透明基板
15 遮光膜
16 半透光膜
17a,18a レジストパターン
20 被転写体
23 レジストパターン
30,33 修正膜
Claims (16)
- 透明基板上に形成された少なくとも半透光膜と遮光膜がそれぞれパターン加工されることにより、遮光部、透光部、及び半透光部が形成された転写パターンを有し、該転写パターンによって透過する露光光量を制御することにより、被転写体上のレジスト膜に、2つ以上の異なるレジスト残膜値を有するレジストパターンを形成する多階調フォトマスクにおいて、
前記遮光部は、前記透明基板上に少なくとも前記遮光膜が形成されてなり、
前記透光部は、前記透明基板が露出して形成され、
前記半透光部は、前記透明基板上に形成された半透光膜によりなる正常部と、前記透明基板上に形成された修正膜によりなる修正部とを有し、
前記透光部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差が、80度以下であることを特徴とする多階調フォトマスク。 - さらに、前記正常部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差が、80度以下であることを特徴とする請求項1に記載の多階調フォトマスク。
- 透明基板上に形成された少なくとも半透光膜と遮光膜がそれぞれパターン加工されることにより、遮光部、透光部、及び半透光部が形成された転写パターンを有し、該転写パターンによって透過する露光光量を制御することにより、被転写体上のレジスト膜に、2つ以上の異なるレジスト残膜値を有するレジストパターンを形成する多階調フォトマスクにおいて、
前記遮光部は、前記透明基板上に少なくとも前記遮光膜が形成されてなり、
前記透光部は、前記透明基板が露出して形成され、
前記半透光部は、前記透明基板上に形成された半透光膜によりなる正常部と、前記透明基板上に形成された修正膜によりなる修正部とを有し、
前記正常部と前記透光部、前記正常部と前記修正部、前記透光部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差が、いずれも80度以下であることを特徴とする多階調フォトマスク。 - 前記正常部と前記修正部の透過率波長依存性が実質的に等しいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の多階調フォトマスク。
- 前記半透光膜は、モリブデンシリサイド化合物を含む材料からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の多階調フォトマスク。
- 前記修正膜は、モリブデンとケイ素を含む材料からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の多階調フォトマスク。
- 前記遮光部は、前記透明基板上に少なくとも前記半透光膜と前記遮光膜が、この順に形成されてなることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の多階調フォトマスク。
- 前記多階調フォトマスクは薄膜トランジスタ製造用のフォトマスクであり、前記遮光部は、前記薄膜トランジスタのソース及びドレインに対応する部分を含み、前記半透光部は、前記薄膜トランジスタのチャネルに対応する部分を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の多階調フォトマスク。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の多階調フォトマスクを用い、露光機によって前記転写パターンを被転写体上に転写することを特徴とするパターン転写方法。
- 透明基板上に形成された少なくとも半透光膜と遮光膜がそれぞれパターン加工されることにより、遮光部、透光部、及び半透光部が形成された転写パターンを有し、該転写パターンによって透過する露光光量を制御することにより、被転写体上のレジスト膜に、2つ以上の異なるレジスト残膜値を有するレジストパターンを形成する多階調フォトマスクの製造方法であって、
前記透明基板上に少なくとも半透光膜と遮光膜が形成されたフォトマスクブランクを用意する工程と、
フォトリソグラフィ法により、前記半透光膜と前記遮光膜をそれぞれパターン加工することによって、遮光部、透光部、及び半透光部を有する転写パターンを形成するパターニング工程と、
形成された前記転写パターンに生じた欠陥を修正する修正工程と、を有し、
前記修正工程においては、前記半透光膜の欠落部、または、前記半透光膜又は前記遮光膜を除去した除去部に、修正膜を形成して修正部となし、
前記透光部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差を、80度以下とすることを特徴とする多階調フォトマスクの製造方法。 - さらに、前記正常部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差を、80度以下とすることを特徴とする請求項10に記載の多階調フォトマスクの製造方法。
- 透明基板上に形成された少なくとも半透光膜と遮光膜がそれぞれパターン加工されることにより、遮光部、透光部、及び半透光部が形成された転写パターンを有し、該転写パターンによって透過する露光光量を制御することにより、被転写体上のレジスト膜に、2つ以上の異なるレジスト残膜値を有するレジストパターンを形成する多階調フォトマスクの製造方法であって、
前記透明基板上に少なくとも半透光膜と遮光膜が形成されたフォトマスクブランクを用意する工程と、
フォトリソグラフィ法により、前記半透光膜と前記遮光膜をそれぞれパターン加工することによって、遮光部、透光部、及び半透光部を有する転写パターンを形成するパターニング工程と、
形成された前記転写パターンに生じた欠陥を修正する修正工程と、を有し、
前記修正工程においては、前記半透光膜の欠落部、または、前記半透光膜又は前記遮光膜を除去した除去部に、修正膜を形成して修正部となし、
前記正常部と前記透光部、前記正常部と前記修正部、前記透光部と前記修正部の、i線(波長365nm)からg線(波長436nm)の波長域にわたる波長光に対する位相差を、いずれも80度以下とすることを特徴とする多階調フォトマスクの製造方法。 - 前記正常部と前記修正部の透過率波長依存性が実質的に等しいことを特徴とする請求項10乃至12のいずれか1項に記載の多階調フォトマスクの製造方法。
- 前記半透光膜の材質として、モリブデンシリサイド化合物を含む材料を用いることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか1項に記載の多階調フォトマスクの製造方法。
- 前記修正膜は、レーザーCVD法によって形成することを特徴とする請求項10乃至14のいずれか1項に記載の多階調フォトマスクの製造方法。
- 前記修正膜は、モリブデンを含む原料とケイ素を含む原料をそれぞれ用いたレーザーCVD法によって形成することを特徴とする請求項14に記載の多階調フォトマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010013914A JP2010198006A (ja) | 2009-01-27 | 2010-01-26 | 多階調フォトマスク、多階調フォトマスクの製造方法、及びパターン転写方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009015136 | 2009-01-27 | ||
JP2010013914A JP2010198006A (ja) | 2009-01-27 | 2010-01-26 | 多階調フォトマスク、多階調フォトマスクの製造方法、及びパターン転写方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010198006A true JP2010198006A (ja) | 2010-09-09 |
Family
ID=42532015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010013914A Pending JP2010198006A (ja) | 2009-01-27 | 2010-01-26 | 多階調フォトマスク、多階調フォトマスクの製造方法、及びパターン転写方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010198006A (ja) |
KR (1) | KR101140054B1 (ja) |
CN (1) | CN101788757B (ja) |
TW (1) | TWI440964B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015102633A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-06-04 | Hoya株式会社 | 表示装置製造用の位相シフトマスクブランク、表示装置製造用の位相シフトマスク及びその製造方法、並びに表示装置の製造方法 |
KR20190015997A (ko) | 2017-08-07 | 2019-02-15 | 호야 가부시키가이샤 | 포토마스크의 수정 방법, 포토마스크의 제조 방법, 포토마스크 및 표시 장치의 제조 방법 |
KR20200013601A (ko) | 2018-07-30 | 2020-02-07 | 호야 가부시키가이샤 | 포토마스크 수정 방법, 포토마스크의 제조 방법, 포토마스크, 및 표시 장치용 디바이스의 제조 방법 |
JP2022017386A (ja) * | 2020-04-28 | 2022-01-25 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | フォトマスク及びその製造方法 |
KR20220011095A (ko) | 2020-07-20 | 2022-01-27 | 호야 가부시키가이샤 | 위상 시프트 마스크의 제조 방법, 위상 시프트 마스크, 및 표시 장치의 제조 방법 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6235643B2 (ja) * | 2016-03-25 | 2017-11-22 | Hoya株式会社 | パターン修正方法、フォトマスクの製造方法、フォトマスク、及び修正膜形成装置 |
JP6557638B2 (ja) * | 2016-07-06 | 2019-08-07 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | ハーフトーンマスクおよびハーフトーンマスクブランクス |
JP6960741B2 (ja) * | 2017-02-02 | 2021-11-05 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | 位相シフトマスクの欠陥修正方法 |
JP6741893B1 (ja) * | 2020-03-04 | 2020-08-19 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | ハーフトーンマスクの欠陥修正方法、ハーフトーンマスクの製造方法及びハーフトーンマスク |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1165091A (ja) * | 1997-08-18 | 1999-03-05 | Hoya Corp | ハーフトーン型位相シフトマスクの欠陥修正方法 |
JP2000181048A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Sharp Corp | フォトマスクおよびその製造方法、並びにそれを用いた露光方法 |
JP2004233820A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Renesas Technology Corp | フォトマスク、フォトマスクの製造方法、およびフォトマスクの製造装置 |
JP2007292822A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 階調をもつフォトマスクの欠陥修正方法 |
JP2008122698A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Dainippon Printing Co Ltd | プロキシミティ露光用階調マスク |
JP2008216346A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Hoya Corp | グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク |
JP2009014934A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Hoya Corp | グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 |
JP2009020312A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Hoya Corp | グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4294359B2 (ja) * | 2003-04-08 | 2009-07-08 | Hoya株式会社 | グレートーンマスクの欠陥修正方法 |
JP4446395B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2010-04-07 | Hoya株式会社 | グレートーンマスクの欠陥修正方法、及びグレートーンマスク |
JP4570632B2 (ja) | 2006-02-20 | 2010-10-27 | Hoya株式会社 | 4階調フォトマスクの製造方法、及びフォトマスクブランク加工品 |
JP5036328B2 (ja) * | 2007-01-24 | 2012-09-26 | Hoya株式会社 | グレートーンマスク及びパターン転写方法 |
-
2009
- 2009-12-31 TW TW098146457A patent/TWI440964B/zh active
-
2010
- 2010-01-13 CN CN201010003908XA patent/CN101788757B/zh active Active
- 2010-01-26 JP JP2010013914A patent/JP2010198006A/ja active Pending
- 2010-01-26 KR KR1020100006927A patent/KR101140054B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1165091A (ja) * | 1997-08-18 | 1999-03-05 | Hoya Corp | ハーフトーン型位相シフトマスクの欠陥修正方法 |
JP2000181048A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Sharp Corp | フォトマスクおよびその製造方法、並びにそれを用いた露光方法 |
JP2004233820A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Renesas Technology Corp | フォトマスク、フォトマスクの製造方法、およびフォトマスクの製造装置 |
JP2007292822A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 階調をもつフォトマスクの欠陥修正方法 |
JP2008122698A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Dainippon Printing Co Ltd | プロキシミティ露光用階調マスク |
JP2008216346A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Hoya Corp | グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク |
JP2009014934A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Hoya Corp | グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 |
JP2009020312A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Hoya Corp | グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015102633A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-06-04 | Hoya株式会社 | 表示装置製造用の位相シフトマスクブランク、表示装置製造用の位相シフトマスク及びその製造方法、並びに表示装置の製造方法 |
KR20190015997A (ko) | 2017-08-07 | 2019-02-15 | 호야 가부시키가이샤 | 포토마스크의 수정 방법, 포토마스크의 제조 방법, 포토마스크 및 표시 장치의 제조 방법 |
KR20210010610A (ko) | 2017-08-07 | 2021-01-27 | 호야 가부시키가이샤 | 포토마스크의 수정 방법, 포토마스크의 제조 방법, 포토마스크 및 표시 장치의 제조 방법 |
KR20200013601A (ko) | 2018-07-30 | 2020-02-07 | 호야 가부시키가이샤 | 포토마스크 수정 방법, 포토마스크의 제조 방법, 포토마스크, 및 표시 장치용 디바이스의 제조 방법 |
JP2020024406A (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-13 | Hoya株式会社 | フォトマスク修正方法、フォトマスクの製造方法、フォトマスク、及び表示装置用デバイスの製造方法 |
KR20210058792A (ko) | 2018-07-30 | 2021-05-24 | 호야 가부시키가이샤 | 포토마스크의 제조 방법, 포토마스크, 및 표시 장치용 디바이스의 제조 방법 |
JP7353094B2 (ja) | 2018-07-30 | 2023-09-29 | Hoya株式会社 | フォトマスク修正方法、フォトマスクの製造方法、フォトマスク、及び表示装置用デバイスの製造方法 |
JP2022017386A (ja) * | 2020-04-28 | 2022-01-25 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | フォトマスク及びその製造方法 |
JP7214815B2 (ja) | 2020-04-28 | 2023-01-30 | 株式会社エスケーエレクトロニクス | フォトマスク及びその製造方法 |
KR20220011095A (ko) | 2020-07-20 | 2022-01-27 | 호야 가부시키가이샤 | 위상 시프트 마스크의 제조 방법, 위상 시프트 마스크, 및 표시 장치의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100087654A (ko) | 2010-08-05 |
TWI440964B (zh) | 2014-06-11 |
TW201111903A (en) | 2011-04-01 |
CN101788757A (zh) | 2010-07-28 |
CN101788757B (zh) | 2012-07-04 |
KR101140054B1 (ko) | 2012-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5555789B2 (ja) | フォトマスク及びその製造方法、並びにパターン転写方法 | |
KR101140054B1 (ko) | 다계조 포토마스크, 다계조 포토마스크의 제조 방법, 및 패턴 전사 방법 | |
JP5410839B2 (ja) | 多階調フォトマスクの製造方法、多階調フォトマスク、及びパターン転写方法 | |
JP4210166B2 (ja) | グレートーンマスクの製造方法 | |
JP4968709B2 (ja) | グレートーンマスクの製造方法 | |
JP5036328B2 (ja) | グレートーンマスク及びパターン転写方法 | |
JP5057866B2 (ja) | グレートーンマスクの欠陥修正方法、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 | |
JP2005257712A (ja) | グレートーンマスク及びその製造方法 | |
JP2010276724A (ja) | 多階調フォトマスク、多階調フォトマスクの製造方法、及びパターン転写方法 | |
JP4934236B2 (ja) | グレートーンマスクブランク、グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 | |
JP2006030319A (ja) | グレートーンマスク及びグレートーンマスクの製造方法 | |
JP4714311B2 (ja) | 多階調フォトマスクの製造方法及び薄膜トランジスタ基板用パターン転写方法 | |
TW201019045A (en) | Multi-tone photomask, pattern transfer method and method of producing a display device using the multi-tone photomask | |
JP2020024406A (ja) | フォトマスク修正方法、フォトマスクの製造方法、フォトマスク、及び表示装置用デバイスの製造方法 | |
JP2009237419A (ja) | 多階調フォトマスク及びその製造方法、並びにパターン転写方法 | |
KR101176262B1 (ko) | 다계조 포토마스크 및 패턴 전사 방법 | |
JP2009271213A (ja) | 多階調フォトマスク及びその製造方法、並びにパターン転写方法 | |
JP2011081326A (ja) | 多階調フォトマスクの製造方法及び多階調フォトマスク用ブランク、並びに電子デバイスの製造方法 | |
JP4615032B2 (ja) | 多階調フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法 | |
JP2009237491A (ja) | フォトマスクの欠陥修正方法及びフォトマスクの製造方法、並びにパターン転写方法 | |
JP4848071B2 (ja) | 5階調フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法 | |
JP4792148B2 (ja) | 5階調フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法 | |
JP4615066B2 (ja) | 多階調フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法 | |
JP4714312B2 (ja) | 多階調フォトマスク及び多階調フォトマスクの製造方法 | |
JP4834206B2 (ja) | グレートーンマスクの製造方法及び被処理体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140610 |