JP2010197391A - 鏡面反射面の形状測定 - Google Patents
鏡面反射面の形状測定 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010197391A JP2010197391A JP2010038312A JP2010038312A JP2010197391A JP 2010197391 A JP2010197391 A JP 2010197391A JP 2010038312 A JP2010038312 A JP 2010038312A JP 2010038312 A JP2010038312 A JP 2010038312A JP 2010197391 A JP2010197391 A JP 2010197391A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- specular reflection
- shape
- relationship
- reflection surface
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N7/00—Television systems
- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
- C03B17/06—Forming glass sheets
- C03B17/064—Forming glass sheets by the overflow downdraw fusion process; Isopipes therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2513—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with several lines being projected in more than one direction, e.g. grids, patterns
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/86—Investigating moving sheets
Abstract
【解決手段】ターゲット面142に配置されたターゲット140の表面144に表示されたパターンを測定面122に配置された鏡面反射面124から反射させる。反射の画像が撮像面154において記録される。撮像面154に対する鏡面反射面124上の複数の点の位置が決定される。反射の画像上の複数のフィーチャ位置とパターン上の複数のフィーチャ位置との間の第1の関係が決定される。複数の点の位置を初期状態として用いて、鏡面反射面の表面プロファイル及び第1の関係を含む第2の関係から鏡面反射面の形状が決定される。
【選択図】図3A
Description
式中、zは測定面に垂直な方向における表面プロファイルであり、dz/dxは表面プロファイルの導関数であり、xは測定面に平行な方向であり、α=ArcTan(u)は反射光の方向のベクトルと測定面との間の角度であり、t(u)は第1の関係であり、
(I)第1の条件セット下で第1のシート状ガラスを形成する工程と、
(II)概要を上述し詳細を後述する本発明の第2の態様による装置を用いて第1のシート状ガラスの形状を測定する工程と、
(III)工程(II)で測定された形状に基づき、第1の条件セットを第2の条件セットに変更する工程と、
により、所望の形状を有するシート状ガラスを取得する。
図7Bは、図2〜図6を参照して上述した方法を用いた、水平な台上のシート状ガラスの形状測定を示す。このシート状ガラスの形状は、ガラスの下に板を置くことによって生じたものである。ターゲットに面したガラスのエッジは台に接触しており、これを微分条件の初期状態として用いた。ターゲットはストライプ状パターンを有するものであった。図7Aは、ストライプ状パターン172から取得された反射画像170を示す。上述したように、反射画像170を用いてマッピング関係を取得した。比較の目的で、レールに取り付けた光学変位センサによるガラスのプロファイルの測定も行った。その結果を図7Cに示す。視覚的に観察されるように、図7B及び図7Cに示されているプロファイルは互いに一致している。
図8及び図9は、測定台上にある2つの異なるシート状ガラスの形状を、上述の方法によって、シート状ガラスの様々な向きで復元したものを示す。ガラスの右側のエッジに沿った変位センサのアレイを用いて、微分方程式の積分のための初期状態を取得した。図8には、同じシート状ガラスの様々な向きにおける4通りの測定が示されている。同様に、図9には、同じシート状ガラスの様々な向きにおける4通りの測定が示されている。図8及び図9は、上述の方法がシート状ガラスの向きに依存しないことを示している。
122 測定面
124、126 鏡面反射面
128、130 エッジ
140 ターゲット
142 ターゲット面
144 表面
152 記録媒体
153 カメラ
154 撮像面
158 レンズ
160 CPU
161、170 反射画像
163 チェッカーボード状パターン
167、169 データ解析器
172 ストライプ状パターン
Claims (9)
- 鏡面反射面の形状を測定する方法であって、
ターゲット面に配置されたターゲットの表面に表示された平面状の幾何学的パターンを、測定面に配置された鏡面反射面から反射させる工程と、
前記反射の画像を撮像面において記録する工程と、
前記撮像面に対する前記鏡面反射面上の複数の点の位置を決定する工程と、
前記反射の画像上の複数のフィーチャ位置と前記パターン上の複数のフィーチャ位置との間の第1の関係を決定する工程と、
前記複数の点の前記位置を初期状態として用いて、前記鏡面反射面の表面プロファイル及び前記第1の関係を含む第2の関係から前記鏡面反射面の形状を決定する工程と
を含むことを特徴とする方法。 - 前記鏡面反射面上の前記複数の点の位置を決定する前記工程が、前記鏡面反射面のエッジにおける線又はエッジ近傍の線に沿って前記複数の点を選択し、前記測定面に対する前記複数の点の位置を測定する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第2の関係が、一次元において、
式中、zは前記測定面に垂直な方向における表面プロファイルであり、dz/dxは前記表面プロファイルの導関数であり、xは前記測定面に平行な方向であり、α=ArcTan(u)は反射光の方向のベクトルと前記測定面との間の角度であり、t(u)は前記第1の関係であり、
- 前記第2の関係が、
- 前記第1の関係を決定する前記工程が、前記反射の画像上の複数のサブ領域と前記パターン上の対応する複数のサブ領域とを識別して、前記反射の画像上の各前記サブ領域上の複数のフィーチャ位置と前記パターン上の各前記対応するサブ領域上の複数のフィーチャ位置との間の第1のサブ関係を決定する工程を含み、
前記第2の関係から前記鏡面反射面の形状を決定する前記工程が、前記複数の点の前記位置を初期状態として用いて、前記第2の関係及び前記第1のサブ関係から前記鏡面反射面の前記複数のサブ領域の形状を決定する工程を含み、
前記方法が、前記鏡面反射面の前記複数のサブ領域の形状を組み合わせて前記鏡面反射面の形状を取得する工程を更に含むことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 鏡面反射面の形状を測定する装置であって、
パターンが表示される表面を有するターゲットと、
前記ターゲットの前記表面を照明するための光源と、
前記鏡面反射面から生じた前記パターンの反射の画像を記録する記録媒体を有するカメラと、
前記反射の画像上の複数のフィーチャ位置と前記パターン上の複数のフィーチャ位置との間の第1の関係と、前記鏡面反射面の表面プロファイル及び前記第1の関係を含む第2の関係とから、前記鏡面反射面の形状を決定するよう構成されたデータ解析器と
を含むことを特徴とする装置。 - 基準面に対する前記鏡面反射面上の複数の点の位置を測定するための変位センサのリニアアレイを更に含むことを特徴とする請求項6記載の装置。
- 所望の形状のシート状ガラスを製造する方法であって、
(I)第1の条件セット下で第1のシート状ガラスを形成する工程と、
(II)請求項6又は7記載の装置を用いて前記第1のシート状ガラスの形状を測定する工程と、
(III)前記工程(II)で測定された前記形状に基づき、前記第1の条件セットを第2の条件セットに変更する工程と、
を含むことにより、前記所望の形状を有するシート状ガラスを取得することを特徴とする方法。 - 前記第1のシート状ガラスがオンラインの測定工程で測定されることを特徴とする請求項8記載のシート状ガラスを製造する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/391,585 | 2009-02-24 | ||
US12/391,585 US8441532B2 (en) | 2009-02-24 | 2009-02-24 | Shape measurement of specular reflective surface |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012260950A Division JP2013040971A (ja) | 2009-02-24 | 2012-11-29 | 鏡面反射面の形状測定 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010197391A true JP2010197391A (ja) | 2010-09-09 |
JP5193241B2 JP5193241B2 (ja) | 2013-05-08 |
Family
ID=42620776
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010038312A Expired - Fee Related JP5193241B2 (ja) | 2009-02-24 | 2010-02-24 | 鏡面反射面の形状測定 |
JP2012260950A Pending JP2013040971A (ja) | 2009-02-24 | 2012-11-29 | 鏡面反射面の形状測定 |
JP2015254123A Expired - Fee Related JP6027673B2 (ja) | 2009-02-24 | 2015-12-25 | 鏡面反射面の形状測定 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012260950A Pending JP2013040971A (ja) | 2009-02-24 | 2012-11-29 | 鏡面反射面の形状測定 |
JP2015254123A Expired - Fee Related JP6027673B2 (ja) | 2009-02-24 | 2015-12-25 | 鏡面反射面の形状測定 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8441532B2 (ja) |
JP (3) | JP5193241B2 (ja) |
KR (1) | KR101671028B1 (ja) |
CN (2) | CN101813460B (ja) |
TW (1) | TWI426228B (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011155447A1 (ja) * | 2010-06-07 | 2011-12-15 | 旭硝子株式会社 | 形状測定装置、形状測定方法、およびガラス板の製造方法 |
JP2016004011A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | パルステック工業株式会社 | 面形状測定装置及び面形状測定方法 |
JP2017500572A (ja) * | 2013-12-19 | 2017-01-05 | コーニング インコーポレイテッド | 実質的に円筒形の鏡面反射面の形状を決定するための方法 |
JP2017501951A (ja) * | 2013-11-25 | 2017-01-19 | コーニング インコーポレイテッド | 実質的に柱面を成す鏡面反射面の形状を決定するための方法 |
US10210628B2 (en) | 2014-03-03 | 2019-02-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Position measurement apparatus for measuring position of object having reflective surface in the three-dimensional space |
JP2019082333A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-30 | 株式会社ニコン | 検査装置、検査システム、および検査方法 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007037726B4 (de) * | 2007-08-09 | 2010-07-08 | Lavision Gmbh | Verfahren zur berührungslosen Messung von Verformungen einer Oberfläche eines Messobjektes |
US8441532B2 (en) * | 2009-02-24 | 2013-05-14 | Corning Incorporated | Shape measurement of specular reflective surface |
CN102183214B (zh) * | 2011-03-03 | 2014-03-26 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大口径非球面镜结构光检测方法 |
DE102011085322A1 (de) * | 2011-10-27 | 2013-05-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion einer spiegelnden Beschichtung |
US9186470B2 (en) * | 2012-02-08 | 2015-11-17 | Apple Inc. | Shape reflector and surface contour mapping |
US8976241B1 (en) * | 2012-09-27 | 2015-03-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Surface deformation image analyzer |
US9076213B2 (en) * | 2013-04-16 | 2015-07-07 | Adobe Systems Incorporated | Light estimation from video |
US10526232B2 (en) * | 2013-05-30 | 2020-01-07 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Microwave heating glass bending process |
CN103630541B (zh) * | 2013-11-28 | 2016-05-25 | 广州市香港科大霍英东研究院 | 一种双光源镜面反射面测量系统 |
FR3015033B1 (fr) * | 2013-12-13 | 2015-12-04 | Saint Gobain | Procede et dispositif d'analyse de la surface d'un substrat |
TWI467129B (zh) * | 2014-01-07 | 2015-01-01 | China Steel Corp | 鑄嘴平坦度之檢測方法 |
WO2016010670A1 (en) * | 2014-07-18 | 2016-01-21 | Arizona Optical Systems, LLC | Method and apparatus for measuring optical systems and surfaces with optical ray metrology |
WO2016018260A1 (en) * | 2014-07-29 | 2016-02-04 | Apple Inc. | Distortion quantifier |
CN104729430B (zh) * | 2015-03-26 | 2017-09-22 | 中国科学院电工研究所 | 一种塔式太阳能热发电用定日镜面形检测方法 |
US9613406B2 (en) | 2015-03-31 | 2017-04-04 | Nokia Technologies Oy | Method and apparatus for providing specular surface reconstruction |
US9952037B2 (en) * | 2015-06-26 | 2018-04-24 | Glasstech, Inc. | System and method for developing three-dimensional surface information corresponding to a contoured sheet |
US20170188010A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-06-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Reconstruction of local curvature and surface shape for specular objects |
CN106644394A (zh) * | 2016-11-17 | 2017-05-10 | 天津滨海光热反射技术有限公司 | 银镜在线检测装置及检测方法 |
FI128204B (en) * | 2016-12-28 | 2019-12-31 | Helsingin Yliopisto | Reference piece to improve vertical resolution of radiation based imaging |
CN107203994B (zh) * | 2017-06-08 | 2021-03-26 | 广东嘉铭智能科技有限公司 | 一种弧面玻璃曲率检测的方法和装置 |
EP4113993A1 (en) * | 2018-01-24 | 2023-01-04 | Cyberoptics Corporation | Structured light projection for specular surfaces |
CN109781031A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-05-21 | 上海晶电新能源有限公司 | 一种大尺度镜面面型检测系统及其方法 |
DE102019208474A1 (de) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Verfahren und System zum optischen Vermessen eines Objekts mit spiegelnder und/oder teilspiegelnder Oberfläche sowie entsprechende Messanordnung |
US20220412727A1 (en) * | 2019-11-29 | 2022-12-29 | Machine Vision Lighting Inc. | Shape reconstruction method and image measurement device |
FR3113314B1 (fr) * | 2020-08-05 | 2023-05-12 | V Optics | Système de caractérisation de surfaces présentant une composante spéculaire |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11148813A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-06-02 | Asahi Glass Co Ltd | 表面形状の評価方法および評価装置 |
JPH11257930A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Nidek Co Ltd | 三次元形状測定装置 |
JP2002062122A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-28 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の形状測定方法及び形状測定装置 |
US20050238237A1 (en) * | 2004-04-23 | 2005-10-27 | 3D-Shape Gmbh | Method and apparatus for determining the shape and the local surface normals of specular surfaces |
JP2005345383A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Asahi Glass Co Ltd | 表面形状の検査方法および検査装置 |
JP2009503503A (ja) * | 2005-07-27 | 2009-01-29 | コーニング インコーポレイテッド | 物品の形状を測定する方法及び装置 |
JP2011505559A (ja) * | 2007-11-30 | 2011-02-24 | コーニング インコーポレイテッド | 動いている基板の形状変化を検出する方法および装置 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3338696A (en) | 1964-05-06 | 1967-08-29 | Corning Glass Works | Sheet forming apparatus |
BE757057A (fr) | 1969-10-06 | 1971-04-05 | Corning Glass Works | Procede et appareil de controle d'epaisseur d'une feuille de verre nouvellement etiree |
US3982609A (en) * | 1975-07-07 | 1976-09-28 | Chicago Pneumatic Tool Company | Air line lubricator |
JP2737271B2 (ja) * | 1989-07-12 | 1998-04-08 | 旭硝子株式会社 | 表面三次元形状測定方法及びその装置 |
JPH04157344A (ja) * | 1990-10-19 | 1992-05-29 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラス歪自動測定装置 |
US6690474B1 (en) * | 1996-02-12 | 2004-02-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and methods for surface contour measurement |
US6559465B1 (en) * | 1996-08-02 | 2003-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface position detecting method having a detection timing determination |
US6075883A (en) * | 1996-11-12 | 2000-06-13 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
SE9700384D0 (sv) * | 1997-02-04 | 1997-02-04 | Biacore Ab | Analytical method and apparatus |
US7162052B2 (en) * | 1998-04-16 | 2007-01-09 | Digimarc Corporation | Steganographically encoding specular surfaces |
WO2001094880A1 (fr) * | 2000-06-07 | 2001-12-13 | Citizen Watch Co., Ltd. | Projecteur de motif de reseau utilisant un reseau de cristaux liquides |
NO321629B1 (no) * | 2000-11-30 | 2006-06-12 | Tomra Systems Asa | Anordning for bruk ved spektroskopi |
EP3388784B1 (en) * | 2001-05-04 | 2019-07-17 | Vexcel Imaging GmbH | Method and large format camera for acquiring a large format image of a large area object |
WO2002097730A1 (fr) * | 2001-05-25 | 2002-12-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif de generation d'image grand-angle |
BE1014355A3 (fr) * | 2001-08-30 | 2003-09-02 | Ct Rech Metallurgiques Asbl | Procede et dispositif pour la mesure de distances sur des bandes de metal brillant. |
FR2830079B1 (fr) * | 2001-09-26 | 2004-04-30 | Holo 3 | Procede et dispositif de mesure d'au moins une grandeur geometrique d'une surface optiquement reflechissante |
US6982743B2 (en) * | 2002-01-31 | 2006-01-03 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Multispectral omnidirectional optical sensor and methods therefor |
JP2004028792A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 非接触断面形状測定方法および測定装置 |
EP1599825A4 (en) * | 2003-03-06 | 2012-02-22 | Digimarc Corp | CAMERA AND DIGITAL WATERMARK SYSTEMS AND METHOD |
JP2006145231A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 表面形状測定方法及び表面形状測定装置 |
US20070039990A1 (en) | 2005-05-06 | 2007-02-22 | Kemmerer Marvin W | Impact induced crack propagation in a brittle material |
US7639862B2 (en) * | 2005-12-09 | 2009-12-29 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Method and apparatus for quantifying pigment dispersion quality by paint drawdown |
US20070140311A1 (en) | 2005-12-20 | 2007-06-21 | House Keith L | Method and apparatus for characterizing a glass ribbon |
JP2007225384A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Konica Minolta Sensing Inc | 反射特性測定装置 |
US20070236514A1 (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Bracco Imaging Spa | Methods and Apparatuses for Stereoscopic Image Guided Surgical Navigation |
DE102006015792A1 (de) * | 2006-04-05 | 2007-10-18 | Isra Surface Vision Gmbh | Verfahren und System zur Formmessung einer reflektierenden Oberfläche |
DE102006032810A1 (de) * | 2006-07-14 | 2008-01-17 | Carl Zeiss Smt Ag | Beleuchtungsoptik für eine Mikrolithografie-Projektionsbelichtungsanlage, Beleuchtungssystem mit einer derartigen Beleuchtungsoptik, mikrolithografie-Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Beleuchtungssystem, mikrolithografisches Herstellungsverfahren für Bauelemente sowie mit diesem Verfahren hergestelltes Bauelement |
DE102006039389A1 (de) * | 2006-08-22 | 2008-02-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur Reduzierung von Übergangsartefakten in einem Gesamtbild, das sich aus Teilbildern zusammensetzt |
TWI370894B (en) * | 2007-02-26 | 2012-08-21 | Corning Inc | Method for measuring distortion |
US7895861B2 (en) | 2007-05-09 | 2011-03-01 | Corning Incorporated | Conformable nosing device for reducing motion and stress within a glass sheet while manufacturing the glass sheet |
US8208759B2 (en) * | 2007-08-29 | 2012-06-26 | Texas Instruments Incorporated | Light valve projection of visible image correlated with non-visible image |
US8908016B2 (en) * | 2008-10-06 | 2014-12-09 | Mantivision Ltd. | Method and system for providing three-dimensional and range inter-planar estimation |
US8441532B2 (en) * | 2009-02-24 | 2013-05-14 | Corning Incorporated | Shape measurement of specular reflective surface |
US8432395B2 (en) | 2009-06-16 | 2013-04-30 | Apple Inc. | Method and apparatus for surface contour mapping |
-
2009
- 2009-02-24 US US12/391,585 patent/US8441532B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-22 TW TW099105107A patent/TWI426228B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-02-23 CN CN2010101264776A patent/CN101813460B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-02-23 CN CN2010201365522U patent/CN201803705U/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-02-23 KR KR1020100016222A patent/KR101671028B1/ko active IP Right Grant
- 2010-02-24 JP JP2010038312A patent/JP5193241B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-10-26 US US13/661,469 patent/US20130070087A1/en not_active Abandoned
- 2012-11-29 JP JP2012260950A patent/JP2013040971A/ja active Pending
-
2015
- 2015-12-25 JP JP2015254123A patent/JP6027673B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11148813A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-06-02 | Asahi Glass Co Ltd | 表面形状の評価方法および評価装置 |
JPH11257930A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Nidek Co Ltd | 三次元形状測定装置 |
JP2002062122A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-28 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス板の形状測定方法及び形状測定装置 |
US20050238237A1 (en) * | 2004-04-23 | 2005-10-27 | 3D-Shape Gmbh | Method and apparatus for determining the shape and the local surface normals of specular surfaces |
JP2005345383A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Asahi Glass Co Ltd | 表面形状の検査方法および検査装置 |
JP2009503503A (ja) * | 2005-07-27 | 2009-01-29 | コーニング インコーポレイテッド | 物品の形状を測定する方法及び装置 |
JP2011505559A (ja) * | 2007-11-30 | 2011-02-24 | コーニング インコーポレイテッド | 動いている基板の形状変化を検出する方法および装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011155447A1 (ja) * | 2010-06-07 | 2011-12-15 | 旭硝子株式会社 | 形状測定装置、形状測定方法、およびガラス板の製造方法 |
US9152844B2 (en) | 2010-06-07 | 2015-10-06 | Asahi Glass Company, Limted | Shape measuring device, shape measuring method, and method for manufacturing glass plate |
JP2017501951A (ja) * | 2013-11-25 | 2017-01-19 | コーニング インコーポレイテッド | 実質的に柱面を成す鏡面反射面の形状を決定するための方法 |
JP2020019706A (ja) * | 2013-11-25 | 2020-02-06 | コーニング インコーポレイテッド | 実質的に柱面を成す鏡面反射面の形状を決定するための方法 |
JP2017500572A (ja) * | 2013-12-19 | 2017-01-05 | コーニング インコーポレイテッド | 実質的に円筒形の鏡面反射面の形状を決定するための方法 |
US10210628B2 (en) | 2014-03-03 | 2019-02-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Position measurement apparatus for measuring position of object having reflective surface in the three-dimensional space |
JP2016004011A (ja) * | 2014-06-19 | 2016-01-12 | パルステック工業株式会社 | 面形状測定装置及び面形状測定方法 |
JP2019082333A (ja) * | 2017-10-27 | 2019-05-30 | 株式会社ニコン | 検査装置、検査システム、および検査方法 |
JP7135297B2 (ja) | 2017-10-27 | 2022-09-13 | 株式会社ニコン | 検査装置、検査システム、および検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN201803705U (zh) | 2011-04-20 |
CN101813460A (zh) | 2010-08-25 |
JP2016040559A (ja) | 2016-03-24 |
KR101671028B1 (ko) | 2016-10-31 |
JP6027673B2 (ja) | 2016-11-16 |
JP2013040971A (ja) | 2013-02-28 |
CN101813460B (zh) | 2013-08-21 |
US20100214406A1 (en) | 2010-08-26 |
TW201105925A (en) | 2011-02-16 |
TWI426228B (zh) | 2014-02-11 |
KR20100097048A (ko) | 2010-09-02 |
US20130070087A1 (en) | 2013-03-21 |
JP5193241B2 (ja) | 2013-05-08 |
US8441532B2 (en) | 2013-05-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6027673B2 (ja) | 鏡面反射面の形状測定 | |
CN106705897B (zh) | 曲面电子显示屏用弧形玻璃面板缺陷检测方法 | |
JP4896373B2 (ja) | 立体3次元計測システムおよび方法 | |
TWI576563B (zh) | 非接觸式測量表面的方法及設備 | |
TWI291013B (en) | Digital-structured micro-optic three-dimensional confocal surface profile measuring system and technique | |
IL138414A (en) | Apparatus and method for optically measuring an object surface contour | |
JP2005514606A5 (ja) | ||
KR20190017644A (ko) | 사이드 뷰 이미징을 사용하는 시료의 높이 프로파일 특성화 | |
TWI445919B (zh) | 玻璃基板之厚度測定和二維碼檢測系統及其方法 | |
CN108344751A (zh) | 基于多通道光源的材料板形缺陷检测系统和方法 | |
JP5686139B2 (ja) | 液晶表示パネル用ガラス基板の製造方法 | |
KR20160102244A (ko) | 광학 검사를 위한 비-이미징 코히어런트 라인 스캐너 시스템 및 방법 | |
US20160109363A1 (en) | Method for determining the refractive power of a transparent object, and corresponding device | |
US6927864B2 (en) | Method and system for determining dimensions of optically recognizable features | |
TW201704733A (zh) | 使用靜態條紋圖案的干涉滾降測量 | |
CN110618138B (zh) | 一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法 | |
JP6590429B1 (ja) | 共焦点顕微鏡、及びその撮像方法 | |
CN103189714A (zh) | 用于测量镜子形状或镜表面形状的设备和方法 | |
KR101566129B1 (ko) | 라인 스캔 방식의 모아레 3차원 형상 측정 장치 및 방법 | |
Bergues et al. | External visual interface for a Nikon 6D autocollimator | |
CN208026651U (zh) | 基于多通道光源的材料板形缺陷检测系统 | |
CN105486693A (zh) | 一种无损检测高精度元件缺陷的方法 | |
JP2003315208A (ja) | 光ファイバ母材の内部屈折率測定法及び測定装置 | |
CN110095075A (zh) | 圆柱直径测量装置及方法 | |
CN214065993U (zh) | 一种表面痕迹检测装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110310 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120911 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160208 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |