JP2019082333A - 検査装置、検査システム、および検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
10ごとに設定された)所定の検査範囲について、被検物Wkの表面の検査を行うための画像を取得し、取得した画像データを処理装置5に送信する。処理装置5は、各検査装置10から送信された画像データに基づいて、被検物Wkの表面における異常の有無を判定する処理を行う。なお、異常が無いと判定された被検物Wkは、搬送装置2により所定の搬送位置から後の工程ラインに向けて搬送される。
線移動させる。所定の合焦距離とは、撮像部30が被検物Wkの表面の検査位置に対して合焦状態となる(検査位置からヘッド部50までの)距離である。このように、フォーカス調整部66は、撮像部30が被検物Wkの表面の検査位置に対して合焦するように調整を行う。
該検出閾値より小さくなる位置を、被検物Wkの表面における異常の存在する位置として判定および抽出することが可能である。このように、明るさ(輝度)が連続的に変化するドットパターンP1を用いることで、動的閾値法を用いた画像処理により、被検物Wkの表面における異常の有無を判定することができる。
効率的な学習を行うことが可能である。
って相対移動させた場合に、被検物Wkの表面が曲面であっても、撮像部30が被検物Wkの表面に対して合焦する状態を保つことができ、異常の判別精度を高く安定させることができる。
A(図12を参照)を有する補助照明光で被検物Wkの一部を照明する。補助照明部216は、撮像部30を囲む環状に形成されて、撮像部30の周辺部に配置される。補助照明部216は、照明部21と同様に、指向性の高い補助照明光を発光させることが可能で、補助照明光の指向性の向きは撮像部30の光軸と略平行である。これにより、補助照明部216は、撮像部30の光軸に沿った方向から被検物Wkの一部を照明する。補助照明部216による補助照明光の照明範囲は、照明部21による照明光の照明範囲より狭い範囲(被検物Wkの表面における撮像部30の光軸が通る部分の近傍の範囲)に設定される。
の光軸を跨いで撮像部30の光軸に対して傾斜する方向へ進むため、撮像部30に達することができない。そのため、撮像部30は、折れ曲がり曲面Wksで照明光が鏡面反射して形成されるドットパターンP1の鏡像Imを撮像することができない。
。
kの表面における異常の有無を判定する処理部を、検査装置自体が備えるようにしてもよい。
4 保持装置 5 処理装置
10 検査装置(第1実施形態)
20 照明ユニット
21 照明部 26 照明移動部
30 撮像部
40 距離・角度検出部 50 ヘッド部
60 姿勢制御ユニット
61 ヘッド移動部 66 フォーカス調整部
101 検査システム(変形例)
104 保持装置(変形例)
110 検査装置(第2実施形態)
210 検査装置(第3実施形態)
215 補助照明ユニット
216 補助照明部
221 照明部(第1変形例) 321 照明部(第2変形例)
Wk 被検物
Lt 照明光 Im 鏡像
P1 ドットパターン
Q1 明部 R1 暗部
P2 チェッカーパターン
Q2 明部 R2 暗部
P3 縞パターン
Q3 明部 R3 暗部
Claims (13)
- 所定のパターンを有する照明光で被検物を照明する照明部と、
前記照明部に照明された前記被検物の表面で前記照明光が鏡面反射して形成される前記パターンの鏡像を撮像する撮像部とを備え、
前記撮像部は、前記被検物の表面に対して合焦して、前記パターンの鏡像を撮像する検査装置。 - 前記所定のパターンは、相対的に明るい明部と、前記明部よりも暗い暗部とを有し、前記明部が前記暗部を挟んで並ぶ明暗のパターンであり、
前記明部と前記暗部との境界部分の明るさが連続的に変化する請求項1に記載の検査装置。 - 前記暗部を挟んで並ぶ前記明部の配列は、千鳥配列である請求項2に記載の検査装置。
- 前記明部は、円形状に形成される請求項3に記載の検査装置。
- 前記照明部は、前記被検物の反射率に応じて、前記暗部を挟んで並ぶ前記明部の数を変更可能である請求項2〜4のいずれかに記載の検査装置。
- 前記被検物の表面で鏡面反射した前記照明光の主光線の向きが、前記撮像部の光軸の向きと異なるように、前記照明部と前記撮像部とが配置される請求項1〜5のいずれかに記載の検査装置。
- 前記照明部から前記被検物の表面までの距離は、該表面から前記撮像部までの距離よりも短い請求項6に記載の検査装置。
- 前記照明部および前記撮像部を保持するヘッド部と、
前記被検物の表面において前記照明部および前記撮像部が対向する部分に対する、前記照明部および前記撮像部の向きが一定となるように、前記被検物の表面の形状に応じて前記ヘッド部を移動させるヘッド移動部とを有する請求項1〜7のいずれかに記載の検査装置。 - 前記撮像部が前記被検物の表面に対して合焦するように調整を行うフォーカス調整部を有する請求項1〜8のいずれかに記載の検査装置。
- 前記照明部により前記被検物を照明する位置を移動させて、前記被検物の表面で鏡面反射する前記照明光の前記パターンを前記被検物の表面に沿って移動させる照明移動部を有する請求項1〜9のいずれかに記載の検査装置。
- 前記パターンと同様の補助パターンを有する補助照明光で前記被検物を照明する補助照明部を備え、
前記補助照明部は、前記撮像部の光軸に沿った方向から前記被検物を照明する請求項1〜10のいずれかに記載の検査装置。 - 被検物を搬送する搬送装置と、前記搬送装置に搬送される前記被検物の表面を検査する検査装置と、前記検査装置を前記被検物に対して相対移動可能に保持する保持装置とを備え、
前記検査装置が請求項1〜11のいずれかに記載の検査装置である検査システム。 - 所定のパターンを有する照明光で被検物を照明することと、
前記被検物の表面で前記照明光が鏡面反射して形成される前記パターンの鏡像を撮像することと、
撮像された前記パターンの鏡像に基づいて前記被検物の表面の異常を検査することと、を含み、
前記被検物の表面に対して合焦した撮像部を用いて、前記パターンの鏡像を撮像する検査方法。
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