JP2019082333A5 - - Google Patents

Description

第１の態様に係る検査装置は、所定のパターンを有する照明光で被検物を照明する照明部と、前記照明部に照明された前記被検物の表面で前記照明光が反射して形成される前記パターンの像を撮像する撮像部とを備え、前記撮像部は、前記被検物の表面に対して合焦した前記像を撮像する。

第３の態様に係る検査方法は、所定のパターンを有する照明光で被検物を照明することと、前記被検物の表面で前記照明光が反射して形成される前記パターンの像を撮像することと、撮像された前記パターンの像に基づいて前記被検物の表面の異常を検査することと、を含み、前記被検物の表面に対して合焦した前記像を撮像する。

Claims (15)

1. 所定のパターンを有する照明光で被検物を照明する照明部と、
   前記照明部に照明された前記被検物の表面で前記照明光が反射して形成される前記パターンの像を撮像する撮像部とを備え、
   前記撮像部は、前記被検物の表面に対して合焦した前記像を撮像する検査装置。
2. 前記照明部は、前記被検物の前記表面から離れて配置された前記所定のパターンを有するパターン板を備え、
   前記撮像部は、前記パターン板の非合焦像を撮像する請求項１に記載の検査装置。
3. 前記所定のパターンは、相対的に明るい明部と、前記明部よりも暗い暗部とを有し、前記明部が前記暗部を挟んで並ぶ明暗のパターンであり、
   前記明部と前記暗部との境界部分の明るさが連続的に変化する請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記暗部を挟んで並ぶ前記明部の配列は、千鳥配列である請求項３に記載の検査装置。
5. 前記明部は、円形状に形成される請求項４に記載の検査装置。
6. 前記照明部は、前記被検物の反射率に応じて、前記暗部を挟んで並ぶ前記明部の数を変更可能である請求項３〜５のいずれかに記載の検査装置。
7. 前記被検物の表面で反射した前記照明光の主光線の向きが、前記撮像部の光軸の向きと異なるように、前記照明部と前記撮像部とが配置される請求項１〜６のいずれかに記載の検査装置。
8. 前記照明部から前記被検物の表面までの距離は、該表面から前記撮像部までの距離よりも短い請求項７に記載の検査装置。
9. 前記照明部および前記撮像部を保持するヘッド部と、
   前記被検物の表面において前記照明部および前記撮像部が対向する部分に対する、前記照明部および前記撮像部の向きが一定となるように、前記被検物の表面の形状に応じて前記ヘッド部を移動させるヘッド移動部とを有する請求項１〜８のいずれかに記載の検査装置。
10. 前記撮像部が前記被検物の表面に対して合焦するように調整を行うフォーカス調整部を有する請求項１〜９のいずれかに記載の検査装置。
11. 前記照明部により前記被検物を照明する位置を移動させて、前記被検物の表面で鏡面反射する前記照明光の前記パターンを前記被検物の表面に沿って移動させる照明移動部を有する請求項１〜１０のいずれかに記載の検査装置。
12. 前記パターンと同様の補助パターンを有する補助照明光で前記被検物を照明する補助照明部を備え、
    前記補助照明部は、前記撮像部の光軸に沿った方向から前記被検物を照明する請求項１〜１１のいずれかに記載の検査装置。
13. 被検物を搬送する搬送装置と、前記搬送装置に搬送される前記被検物の表面を検査する検査装置と、前記検査装置を前記被検物に対して相対移動可能に保持する保持装置とを備え、
    前記検査装置が請求項１〜１２のいずれかに記載の検査装置である検査システム。
14. 所定のパターンを有する照明光で被検物を照明することと、
    前記被検物の表面で前記照明光が反射して形成される前記パターンの像を撮像することと、
    撮像された前記パターンの像に基づいて前記被検物の表面の異常を検査することと、を含み、
    前記被検物の表面に対して合焦した前記像を撮像する検査方法。
15. 前記照明することは、前記被検物の前記表面から離れて配置された前記所定のパターンを有するパターン板からの前記照明光で前記被検物を照明することを含み、
    前記撮像することは、前記パターン板の非合焦像を撮像することを含む請求項１４に記載の検査方法。