JP2010177485A - 基板保持装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 126
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】多孔質材料から成るホルダ部材12の下面12a(ベース部材11との接触面)に封止部材26を設け、ベース部材11に設けられたホルダ部材吸引管路21の上方開口部21aが封止部材26によって封止されるようにする。これにより、ホルダ部材吸引管路21内に真空を発生させてホルダ部材12をベース部材11側に真空吸引すると、ホルダ部材12は強固な吸着力でベース部材11の上面11aに固定される。
【選択図】図3
Description
ダ部材吸引管路のベース部材の上面の開口部を封止する封止部材と、ホルダ部材吸引管路内に真空を発生させてホルダ部材をベース部材側に真空吸引するホルダ部材吸引手段と、基板吸引管路内に真空を発生させ、基板吸引管路のベース部材の上面の開口部と繋がるホルダ部材の多孔質部分を介してホルダ部材の上面に載置された基板をホルダ部材側に真空吸引する基板吸引手段とを備えた。
テージ6aに対してX軸方向に相対移動するX軸ステージ6bから成り、X軸ステージ6bの上面にはパレットテーブル6cが設けられている。パレットテーブル6cには基板PBに接合すべきチップPを載せたパレット6dが載置されている。チップ供給部6は、パレット6d内のチップPを、Y軸ステージ6aの基台2に対するY軸方向への移動及びX軸ステージ6bのY軸ステージ6aに対するX軸方向への移動によって、所定の位置に位置決めする。
合と異なり、非吸引領域がホルダ部材12の上面12bに生じず、ホルダ部材12の上面12bの全面を基板PBの吸着面として有効に利用することができるので、ホルダ部材12と同等のサイズの基板PBを保持することができる。加えて、ホルダ部材吸引管路21の上方開口部21aの真空が基板PBに作用しないため、基板吸引管路23の上方開口部23aの真空のオンオフ(真空の発生及び消滅)制御により、確実に基板PBの吸着のオンオフ(ホルダ部材12への着脱)が可能となる。
11 ベース部材
11a ベース部材の上面
12 ホルダ部材
12a ホルダ部材の下面
12b ホルダ部材の上面
21 ホルダ部材吸引管路
21a 上方開口部(開口部)
23 基板吸引管路
23a 上方開口部(開口部)
26 封止部材
46 ホルダ部材吸引部(ホルダ部材吸引手段)
47 基板吸引部(基板吸引手段)
PB 基板
Claims (1)
- ベース部材と、ベース部材の内部に設けられてそれぞれベース部材の上面に開口するホルダ部材吸引管路及び基板吸引管路と、ベース部材の上面に設置された多孔質材料から成るホルダ部材と、ホルダ部材の下面に設けられてホルダ部材吸引管路のベース部材の上面の開口部を封止する封止部材と、ホルダ部材吸引管路内に真空を発生させてホルダ部材をベース部材側に真空吸引するホルダ部材吸引手段と、基板吸引管路内に真空を発生させ、基板吸引管路のベース部材の上面の開口部と繋がるホルダ部材の多孔質部分を介してホルダ部材の上面に載置された基板をホルダ部材側に真空吸引する基板吸引手段とを備えたことを特徴とする基板保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009019150A JP4985667B2 (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009019150A JP4985667B2 (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | 基板保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010177485A true JP2010177485A (ja) | 2010-08-12 |
JP4985667B2 JP4985667B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=42708127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009019150A Expired - Fee Related JP4985667B2 (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4985667B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107478484A (zh) * | 2010-11-10 | 2017-12-15 | 罗氏血液诊断股份有限公司 | 制备用于检查的生物标本的自动化系统及方法 |
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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