JP2014203904A - 真空吸着装置及び吸着プレート - Google Patents
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Description
Claims (3)
- 複数の気孔が形成され且つ連なった気孔を介して吸着面とその反対面との間で流体を貫通させることができる通気性を有する多孔質セラミック製吸着プレートの表面にワークを真空吸着させるようにした真空吸着装置において、
前記吸着プレートのワークが載置される吸着面の反対面である裏面に、当該吸着面にまで貫通しない複数の孔が二次元に拡がって形成されることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1において、
前記吸着プレートは真空ポートと連通する真空案内路が形成されたベースプレート上に固定され、前記吸着プレートの裏面は、前記ベースプレートの真空案内路が形成された面と対向して接着されていることを特徴とする真空吸着装置。 - 複数の気孔が形成され且つ連なった気孔を介して吸着面とその反対面との間で流体を貫通させることができる通気性を有する多孔質セラミック製吸着プレートであって、
ワークが載置される吸着面の反対面である裏面に、当該吸着面にまで貫通しない複数の孔が二次元に拡がって形成されることを特徴とする多孔質セラミック製吸着プレート。
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