JP2010171462A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010171462A5 JP2010171462A5 JP2010101420A JP2010101420A JP2010171462A5 JP 2010171462 A5 JP2010171462 A5 JP 2010171462A5 JP 2010101420 A JP2010101420 A JP 2010101420A JP 2010101420 A JP2010101420 A JP 2010101420A JP 2010171462 A5 JP2010171462 A5 JP 2010171462A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle member
- liquid
- exposure apparatus
- optical system
- projection optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (58)
- 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられ、液体供給口及び第1液体回収口のうち少なくともいずれか一方を有する第1ノズル部材と、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側に設けられ、前記第1液体回収口とは別の第2液体回収口を有する第2ノズル部材とを備え、
前記第1ノズル部材と前記第2ノズル部材との間には間隙が形成され、
前記第2ノズル部材が可動である露光装置。 - 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられ、液体供給口及び第1液体回収口のうち少なくともいずれか一方を有する第1ノズル部材と、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側に設けられ、前記第1液体回収口とは別の第2液体回収口を有する第2ノズル部材とを備え、
前記第1ノズル部材と前記第2ノズル部材との間には間隙が形成され、
前記間隙を形成する前記第1ノズル部材の側面は、前記液体に対して撥液性である露光装置。 - 前記間隙を形成する前記第1ノズル部材の側面は、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、シリコン系樹脂材料の少なくとも一つの膜の表面を含む請求項2に記載の露光装置。
- 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられ、液体供給口及び第1液体回収口のうち少なくともいずれか一方を有する第1ノズル部材と、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側に設けられ、前記第1液体回収口とは別の第2液体回収口を有する第2ノズル部材とを備え、
前記第1ノズル部材と前記第2ノズル部材との間には間隙が形成され、
前記間隙を形成する前記第1ノズル部材の側面は、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、シリコン系樹脂材料の少なくとも一つの膜の表面を含む露光装置。 - 前記第1ノズル部材の前記膜は、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、及びシリコン系樹脂材料の少なくとも一つが前記第1ノズル部材の側面に塗布されて形成される請求項3又は4に記載の露光装置。
- 前記膜は、前記第1ノズル部材の側面に貼付されたフッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、及びシリコン系樹脂材料の少なくとも一つからなる薄膜を含む請求項3又は4に記載の露光装置。
- 前記間隙を形成する前記第2ノズル部材の側面は、前記液体に対して撥液性である請求項2〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられ、液体供給口及び第1液体回収口のうち少なくともいずれか一方を有する第1ノズル部材と、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側に設けられ、前記第1液体回収口とは別の第2液体回収口を有する第2ノズル部材とを備え、
前記第1ノズル部材と前記第2ノズル部材との間には間隙が形成され、
前記間隙を形成する前記第2ノズル部材の側面は、前記液体に対して撥液性である露光装置。 - 前記間隙を形成する前記第2ノズル部材の側面は、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、シリコン系樹脂材料の少なくとも一つの膜の表面を含む請求項6又は7に記載の露光装置。
- 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられ、液体供給口及び第1液体回収口のうち少なくともいずれか一方を有する第1ノズル部材と、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側に設けられ、前記第1液体回収口とは別の第2液体回収口を有する第2ノズル部材とを備え、
前記第1ノズル部材と前記第2ノズル部材との間には間隙が形成され、
前記間隙を形成する前記第2ノズル部材の側面は、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、シリコン系樹脂材料の少なくとも一つの膜の表面を含む露光装置。 - 前記第2ノズル部材の前記膜は、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、及びシリコン系樹脂材料の少なくとも一つを前記第2ノズル部材の側面に塗布されて形成される請求項9又は10に記載の露光装置。
- 前記第2ノズル部材の前記膜は、前記第2ノズル部材の側面に貼付されたフッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、及びシリコン系樹脂材料の少なくとも一つからなる薄膜を含む請求項9又は10に記載の露光装置。
- 前記第1ノズル部材は、前記投影光学系の像面側端部の光学素子の周りを囲むように設けられ、
前記光学素子と前記第1ノズル部材との間には間隙が形成され、
前記光学素子との間で前記間隙を形成する第1ノズル部材の内側面は、前記液体に対して撥液性である請求項2〜12のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1ノズル部材との間で前記間隙を形成する前記光学素子の側面は、前記液体に対して撥液性である請求項13に記載の露光装置。
- 前記第1ノズル部材は、前記投影光学系の像面側端部の光学素子の周りを囲むように設けられ、
前記光学素子と前記第1ノズル部材との間には間隙が形成され、
前記第1ノズル部材との間で前記間隙を形成する前記光学素子の側面は、前記液体に対して撥液性である請求項2〜12のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記液体は、水を含む請求項2〜15のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2ノズル部材の下面が、前記第1ノズル部材の下面よりも低い請求項2〜16のいずれか一項に記載の露光装置。
- 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置において、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられ、液体供給口及び第1液体回収口のうち少なくともいずれか一方を有する第1ノズル部材と、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側に設けられ、前記第1液体回収口とは別の第2液体回収口を有する第2ノズル部材とを備え、
前記第1ノズル部材と前記第2ノズル部材との間には間隙が形成され、
前記第2ノズル部材の下面が、前記第1ノズル部材の下面よりも低い露光装置。 - 前記第2ノズル部材が可動である請求項2〜18のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1ノズル部材及び前記第2ノズル部材を保持するノズルホルダを備え、
前記第2ノズル部材は、前記ノズルホルダに対して可動である請求項1又は19に記載の露光装置。 - 前記ノズルホルダに対して前記第2ノズル部材を可動に接続する接続機構を有する請求項20に記載の露光装置。
- 前記接続機構は、弾性体を含む請求項21に記載の露光装置。
- 前記接続機構は、アクチュエータを含む請求項21又は22に記載の露光装置。
- 前記アクチュエータを含む前記接続機構は、前記第2ノズル部材で発生した振動が前記投影光学系に伝達されないようにアクティブ防振する請求項23に記載の露光装置。
- 前記接続機構は、磁力によって前記第2ノズル部材を前記ノズルホルダに接続する請求項21〜24のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ノズルホルダと前記第1ノズル部材とを位置決めする位置決め機構を有する請求項20〜25のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1ノズル部材及び前記第2ノズル部材のそれぞれを分離可能に保持するノズル保持機構を備える請求項1〜19のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ノズル保持機構は、前記第1ノズル部材と前記第2ノズル部材とを離して保持する請求項27に記載の露光装置。
- 前記ノズル保持機構は、前記投影光学系を支持する支持部材に支持されている請求項27又は28に記載の露光装置。
- 前記ノズル保持機構に対して前記第2ノズル部材を可動に接続する接続機構を有する請求項27〜29のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記接続機構は、前記第2ノズル部材を前記ノズル保持機構に対して柔らかく接続する請求項30に記載の露光装置。
- 前記接続機構は、前記第2ノズル部材と前記ノズル保持機構とを振動的に分離する請求項31に記載の露光装置。
- 前記接続機構は、前記第2ノズル部材の振動が前記ノズル保持機構に伝達されないように減衰する請求項32に記載の露光装置。
- 前記接続機構は、弾性体を含む請求項31〜33のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記基板を支持する基板ステージを備え、
前記第2ノズル部材は、前記基板ステージに対して前記第1ノズル部材よりも近くに設けられている請求項1〜34のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記基板又は前記基板ステージが前記第2ノズル部材に衝突した際の衝撃を吸収する緩衝機構を備える請求項35に記載の露光装置。
- 前記緩衝機構は、前記第2ノズル部材と、該第2ノズル部材を保持するノズル保持機構との間に設けられた弾性体を含む請求項36に記載の露光装置。
- 前記第1液体回収口に多孔体が配置されている請求項1〜37のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2液体回収口に多孔体が配置されている請求項1〜38のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1ノズル部材は、前記投影光学系の像面側の気体、及び前記液体中の気泡の少なくとも一方を排出するための排気口を有する請求項1〜39のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記排気口は、前記基板が対向する前記第1ノズル部材の下面に配置される請求項40に記載の露光装置。
- 前記液体供給口は、前記下面に配置される請求項41に記載の露光装置。
- 前記第1ノズル部材は、前記下面に形成された凹部を有し、
前記液体供給口及び前記排気口は、前記凹部の内側に配置される請求項41又は42に記載の露光装置。 - 前記排気口は、前記投影光学系の投影領域に対して前記第1液体回収口よりも近くに設けられる請求項40〜43のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記排気口に接続された排気流路のうち前記排気口の近傍は、前記排気口に向かって漸次拡がる傾斜面である請求項40〜44のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記液体供給口は、前記投影光学系の投影領域と前記第1液体回収口との間に設けられる請求項1〜45のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2ノズル部材は、前記第1ノズル部材の周りを囲むように設けられる請求項1〜46のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1ノズル部材の第1液体回収口を介して液体を回収する第1液体回収機構と、
前記第2ノズル部材の第2液体回収口を介して液体を回収する第2液体回収機構とを備え、
前記第1液体回収機構と前記第2液体回収機構とは別の駆動源でそれぞれ駆動される請求項1〜47のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2液体回収口を介して液体が回収されたか否かを検出する検出器と、
前記検出器の検出結果に基づいて、露光装置の動作を制御する制御装置とを備えた請求項1〜48のいずれか一項に記載の露光装置。 - 液体を供給する液体供給機構を備え、
前記制御装置は、前記検出器の検出結果に基づいて、前記液体供給機構の動作を制御する請求項49に記載の露光装置。 - 請求項1〜請求項50のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
- 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられた第1ノズル部材が有する液体供給口からの液体供給と、前記第1ノズル部材が有する第1液体回収口から液体回収とにより、前記基板上に液体で液浸領域を形成することと、
前記投影光学系と前記液浸領域の液体を介して前記基板を露光することと、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側において前記第1ノズル部材との間に間隙が形成されるように配置され、前記第1ノズル部材に対して可動な第2ノズル部材が有する第2液体回収口から液体回収を行うことと、を含む露光方法。 - 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられた第1ノズル部材が有する液体供給口からの液体供給と、前記第1ノズル部材が有する第1液体回収口から液体回収とにより、前記基板上に液体で液浸領域を形成することと、
前記投影光学系と前記液浸領域の液体を介して前記基板を露光することと、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側において前記第1ノズル部材との間に間隙が形成されるように配置された第2ノズル部材が有する第2液体回収口からの液体回収を行うことと、を含み、
前記第2ノズル部材との間で前記間隙を形成する前記第1ノズル部材の側面は、前記液体に対して撥液性である露光方法。 - 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられた第1ノズル部材が有する液体供給口からの液体供給と、前記第1ノズル部材が有する第1液体回収口からの液体回収とにより、前記基板上に液体で液浸領域を形成することと、
前記投影光学系と前記液浸領域の液体を介して前記基板を露光することと、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側において前記第1ノズル部材との間に間隙が形成されるように配置された第2ノズル部材が有する第2液体回収口からの液体回収を行うことと、を含み、
前記第2ノズル部材との間で前記間隙を形成する前記第1ノズル部材の側面は、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、シリコン系樹脂材料の少なくとも一つの膜の表面を含む露光方法。 - 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられた第1ノズル部材が有する液体供給口からの液体供給と、前記第1ノズル部材が有する第1液体回収口から液体回収とにより、前記基板上に液体で液浸領域を形成することと、
前記投影光学系と前記液浸領域の液体を介して前記基板を露光することと、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側において前記第1ノズル部材との間に間隙が形成されるように配置された第2ノズル部材が有する第2液体回収口からの液体回収を行うことと、を含み、
前記第1ノズル部材との間で前記間隙を形成する前記第2ノズル部材の側面は、前記液体に対して撥液性である露光方法。 - 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられた第1ノズル部材が有する液体供給口からの液体供給と、前記第1ノズル部材が有する第1液体回収口からの液体回収とにより、前記基板上に液体で液浸領域を形成することと、
前記投影光学系と前記液浸領域の液体を介して前記基板を露光することと、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側において前記第1ノズル部材との間に間隙が形成されるように配置された第2ノズル部材が有する第2液体回収口からの液体回収を行うことと、を含み、
前記第1ノズル部材との間で前記間隙を形成する前記第2ノズル部材の側面は、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、シリコン系樹脂材料の少なくとも一つの膜の表面を含む露光方法。 - 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側近傍に設けられた第1ノズル部材が有する液体供給口からの液体供給と、前記第1ノズル部材が有する第1液体回収口からの液体回収とにより、前記基板上に液体で液浸領域を形成することと、
前記投影光学系と前記液浸領域の液体を介して前記基板を露光することと、
前記投影光学系の投影領域に対して前記第1ノズル部材の外側において前記第1ノズル部材との間に間隙が形成されるように配置され、前記第1ノズル部材の下面よりも低い下面を有する第2ノズル部材が有する第2液体回収口からの液体回収を行うことと、を含む露光方法。 - 請求項52〜請求項57のいずれか一項に記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010101420A JP5131312B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010101420A JP5131312B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004172561A Division JP4543767B2 (ja) | 2004-06-10 | 2004-06-10 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012082707A Division JP5516627B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010171462A JP2010171462A (ja) | 2010-08-05 |
JP2010171462A5 true JP2010171462A5 (ja) | 2011-09-01 |
JP5131312B2 JP5131312B2 (ja) | 2013-01-30 |
Family
ID=42703208
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010101420A Expired - Fee Related JP5131312B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5131312B2 (ja) |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4352930B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2009-10-28 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
JP4720106B2 (ja) * | 2003-05-23 | 2011-07-13 | 株式会社ニコン | 露光方法、並びにデバイス製造方法 |
JP4770129B2 (ja) * | 2003-05-23 | 2011-09-14 | 株式会社ニコン | 露光装置、並びにデバイス製造方法 |
JP2004349645A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Sony Corp | 液浸差動排液静圧浮上パッド、原盤露光装置および液侵差動排液による露光方法 |
KR101528089B1 (ko) * | 2003-06-13 | 2015-06-11 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법, 기판 스테이지, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 |
JP3862678B2 (ja) * | 2003-06-27 | 2006-12-27 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2005045082A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Sony Corp | 露光装置 |
JP4378136B2 (ja) * | 2003-09-04 | 2009-12-02 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2005029559A1 (ja) * | 2003-09-19 | 2005-03-31 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
ATE491221T1 (de) * | 2003-12-15 | 2010-12-15 | Nikon Corp | Bühnensystem, belichtungsvorrichtung und belichtungsverfahren |
WO2005059977A1 (ja) * | 2003-12-16 | 2005-06-30 | Nikon Corporation | ステージ装置、露光装置、及び露光方法 |
JP4572896B2 (ja) * | 2004-02-19 | 2010-11-04 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
JP2005259870A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Nikon Corp | 基板保持装置、ステージ装置及び露光装置並びに露光方法 |
KR101440746B1 (ko) * | 2004-06-09 | 2014-09-17 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
-
2010
- 2010-04-26 JP JP2010101420A patent/JP5131312B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010153931A5 (ja) | ||
JP2012164996A5 (ja) | 露光装置、デバイス製造方法、及びクリーニング方法 | |
JP2011023764A5 (ja) | 流路形成部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2011035429A5 (ja) | ||
JP2011109147A5 (ja) | 露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
JP5243101B2 (ja) | 破断装置 | |
JP2012044223A5 (ja) | ノズル部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010251808A5 (ja) | 流路形成部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2012151493A5 (ja) | ||
JP2012129566A5 (ja) | 露光装置、及びデバイス製造方法 | |
JP2012134555A5 (ja) | 液浸部材、液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2013021355A5 (ja) | ||
JP2012169641A5 (ja) | 液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010129845A (ja) | 静電チャック及びその製造方法 | |
JP2010093298A5 (ja) | ||
US20140191441A1 (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method using same | |
JP2012064974A5 (ja) | ||
JP2012134512A5 (ja) | 露光装置、露光装置のメンテナンス方法、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2014197716A5 (ja) | ||
JP2012080137A5 (ja) | ||
JP2012164992A5 (ja) | ||
JP2008288589A5 (ja) | 露光装置、及びデバイス製造方法 | |
JP2009033111A5 (ja) | ||
JP2011223036A5 (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2009239286A5 (ja) |