JP2010152118A - 防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラ - Google Patents

防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラ Download PDF

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Abstract

【課題】大型化を防止し、大きな駆動力が得られる防振アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明は、防振アクチュエータ(10)であって、固定部(12)と、可動部(14)と、可動部支持手段(18)と、第1駆動用磁石及びコイルを備え、駆動力が半径方向に向けられた第1駆動手段と、第2駆動用磁石及びコイルを備え、駆動力が第1駆動手段の駆動力とほぼ直交し、且つ半径方向に向けられた第2駆動手段と、第3駆動用磁石及びコイルを備え、駆動力が円周方向に向けられている第3駆動手段と、各駆動用磁石の位置を検出する、第1〜第3位置検出素子(24)と、可動部を所定の位置に移動させる制御部(36)と、を有し、第1、2位置検出素子は、第1、2駆動手段の駆動力の作用線によって区画される4つの領域のうち、第3駆動手段が配置された領域に対して対角の位置の領域内に配置されていることを特徴としている。
【選択図】図3

Description

本発明は防振アクチュエータに関し、特に、像振れ防止用レンズを、その光軸に直交する平面内で移動させる防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラに関する。
特開2006−106177号公報(特許文献1)には、アクチュエータが記載されている。このアクチュエータの概略構成を図11に示す。図11に示すように、アクチュエータ110は、固定部112と可動部114を備え、可動部114は、3つのスチールボール118により、固定部112に対して並進移動及び回転移動可能に支持されている。また、可動部114は、3組の駆動用コイル120及び駆動用磁石122からなる3つのリニアモータにより駆動される。
これら3つのリニアモータが発生する駆動力の作用線は、夫々、像振れ防止用レンズの光軸Aを中心とする円の円周方向に向けられている。また、各駆動用コイル120の内側には、対向して配置された各駆動用磁石122の位置を検出するためのホール素子124が夫々配置されている。これらのホール素子124のうち2つは、それらの検出部が光軸Aを通る水平軸線であるX軸上、及び光軸Aを通る鉛直軸線であるY軸上に夫々配置されている。さらに、残りの1つのホール素子は、光軸Aを挟んで、他の2つのホール素子の反対側に配置されている。
アクチュエータ110においては、可動部114の回転はガイド手段等により規制されていないが、3つのリニアモータを協調して駆動することにより可動部114の並進移動を実現している。さらに、3つのリニアモータの制御により、可動部の回転移動をも可能にしている。
このように、可動部の回転を規制するガイド手段を備えていないアクチュエータは、可動部の支持機構が簡単であると同時に、可動部を回転移動させることもできるため有利である。
また、特開2008−122531号公報(特許文献2)には、像ぶれ補正装置が記載されている。この像ぶれ補正装置は、3つのリニアモータを備え、これら3つのリニアモータが発生する駆動力の作用線は、夫々、像振れ防止用レンズの光軸Aを中心とする円の半径方向に向けられている。
特開2006−106177号公報 特開2008−122531号公報
しかしながら、特開2006−106177号公報に記載されたアクチュエータにおいては、リニアモータが発生する駆動力を大きくするためには、アクチュエータの外径を大きくする必要があるという問題がある。即ち、各リニアモータが発生する駆動力は、各駆動用磁石122が発生する磁束と、各駆動用コイル120の、図9において斜線を施した部分を流れる電流の相互作用により発生するものである。従って、各リニアモータが発生する駆動力を大きくするためには、各駆動用コイル120の斜線部を大きくすることが必要になる。各駆動用コイル120の斜線部を延長するには、各駆動用コイルを、光軸を中心とする円の半径方向に延長する必要があり、これによりアクチュエータ全体の外径が大型化するという問題がある。
一方、特開2008−122531号公報に記載されたアクチュエータにおいては、各リニアモータが発生する駆動力の作用線が円の半径方向に向けられているため、各駆動用コイルを円周方向に拡大することにより、駆動力を増大させることができる。従って、このタイプのアクチュエータでは、駆動力の増大が直接的にアクチュエータの大型化に繋がることはない。
しかしながら、特開2008−122531号公報記載のアクチュエータでは、各リニアモータの駆動力が半径方向に向けられているため、像振れ防止用レンズの回転移動を直接的に制御することができないという問題がある。このため、像振れ防止用レンズの並進移動に伴って、像振れ防止用レンズの不要な回転移動が発生し、像振れ補正精度が低下する。
従って、本発明は、大型化を防止しつつ、大きな駆動力を得ることができる防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラを提供することを目的としている。
また、本発明は、像振れ防止用レンズの不要な回転移動を効果的に抑制することができる防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラを提供することを目的としている。
上述した課題を解決するために、本発明は、像振れ防止用レンズを、その光軸に直交する平面内で移動させる防振アクチュエータであって、固定部と、像振れ防止用レンズが取り付けられた可動部と、この可動部を、固定部に対して平行な平面内で並進移動及び回転移動を許容するように支持する可動部支持手段と、第1駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第1駆動用コイルを備え、可動部を固定部に対して駆動する駆動力の作用線が像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた第1駆動手段と、第2駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第2駆動用コイルを備え、可動部を固定部に対して駆動する駆動力の作用線が、第1駆動手段の駆動力の作用線とほぼ直交すると共に、像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた第2駆動手段と、第3駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第3駆動用コイルを備え、可動部を固定部に対して駆動する駆動力の作用線が、像振れ防止用レンズの概ね円周方向に向けられている第3駆動手段と、第1、第2、第3駆動手段の各駆動力の作用線に平行な方向の、固定部に対する可動部の位置を夫々検出する、第1位置検出素子、第2位置検出素子、及び第3位置検出素子と、第1、第2、第3位置検出素子によって検出された位置に基づいて第1、第2、第3駆動用コイルに流す電流を制御し、可動部を所定の位置に移動させる制御部と、を有し、第1位置検出素子は、その検出部全体が、可動部の重心を通り、第1駆動手段の駆動力の作用線と平行な直線によって区画される2つの領域のうち、第3駆動手段が配置されていない方の領域に配置されており、第2位置検出素子は、その検出部全体が、可動部の重心を通り、第2駆動手段の駆動力の作用線と平行な直線によって区画される2つの領域のうち、第3駆動手段が配置されていない方の領域に配置されていることを特徴としている。
このように構成された本発明においては、可動部支持手段が、可動部を固定部に対して並進移動及び回転移動を許容するように支持する。第1駆動手段及び第2駆動手段は夫々、像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた駆動力を発生して、可動部を駆動する。第3駆動手段は、像振れ防止用レンズの概ね円周方向に向けられた駆動力を発生して、可動部を駆動する。第1、第2、第3位置検出素子は、第1、第2、第3駆動手段の各駆動力の作用線に平行な方向の、固定部に対する可動部の位置を夫々検出する。制御部は、各位置検出素子によって検出された位置に基づいて各駆動手段の各駆動用コイルに流す電流を制御する。
このように構成された本発明によれば、第1駆動手段及び第2駆動手段が概ね半径方向の駆動力を発生するので、防振アクチュエータを大型化させることなく、大きな駆動力を得ることができる。
また、このように構成された本発明によれば、第3駆動手段が概ね円周方向の駆動力を発生するので、可動部支持手段が可動部を並進移動及び回転移動を許容するように支持しながら、可動部の不要な回転移動を抑制することができる。
また、本発明は、像振れ防止用レンズを、その光軸に直交する平面内で移動させる防振アクチュエータであって、固定部と、像振れ防止用レンズが取り付けられた可動部と、この可動部を、固定部に対して平行な平面内で並進移動及び回転移動を許容するように支持する可動部支持手段と、第1駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第1駆動用コイルを備え、可動部を固定部に対して駆動する駆動力の作用線が像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた第1駆動手段と、第2駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第2駆動用コイルを備え、可動部を固定部に対して駆動する駆動力の作用線が、第1駆動手段の駆動力の作用線とほぼ直交すると共に、像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた第2駆動手段と、第3駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第3駆動用コイルを備え、可動部を上記固定部に対して駆動する駆動力の作用線が、像振れ防止用レンズの概ね円周方向に向けられている第3駆動手段と、第1、第2、第3駆動手段の各駆動力の作用線に平行な方向の、固定部に対する可動部の位置を夫々検出する、第1位置検出素子、第2位置検出素子、及び第3位置検出素子と、第1、第2、第3位置検出素子によって検出された位置に基づいて第1、第2、第3駆動用コイルに流す電流を制御し、可動部を所定の位置に移動させる制御部と、を有し、第1及び第2位置検出素子は、それらの検出部全体が、第1駆動手段の駆動力の作用線と、第2駆動手段の駆動力の作用線によって区画される4つの領域のうち、第3駆動手段が配置された領域に対して対角の位置にある領域内に配置されていることを特徴としている。
本発明において、好ましくは、第1、第2、第3位置検出素子は、第1、第2、第3駆動用磁石に対向して配置され、各駆動用磁石の位置を夫々検出する。
このように構成された本発明によれば、可動部又は固定部の一方に位置検出素子を配置するだけで、容易に固定部に対する可動部の位置を検出することができる。
本発明において、好ましくは、第3駆動手段が発生可能な駆動力は、第1、第2駆動手段が発生可能な駆動力よりも小さい。
このように構成された本発明によれば、概ね円周方向の駆動力を発生する第3駆動手段の発生する駆動力が小さいので、第3駆動手段の駆動用コイルの半径方向の寸法を縮小することができ、防振アクチュエータをより小型化することができる。
本発明において、好ましくは、第1、第2、及び第3位置検出素子がホール素子である。
このように構成された本発明によれば、簡単な構成で、各駆動用磁石の位置を検出することができる。
本発明において、好ましくは、第1、第2、及び第3位置検出素子が、第1、第2、第3駆動用コイルの内側に配置されている。
このように構成された本発明によれば、各駆動手段の駆動力が発生する点の近傍で位置を検出することができるので、精度良く防振アクチュエータを制御することができる。
また、本発明のレンズユニットは、レンズ鏡筒と、このレンズ鏡筒の中に配置された撮像用レンズと、レンズ鏡筒に取り付けられた本発明の防振アクチュエータと、を有することを特徴としている。
さらに、本発明のカメラは、本発明のレンズユニットと、このレンズユニットが取り付けられたカメラボディと、を有することを特徴としている。
本発明の防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラによれば、大型化を防止しつつ、大きな駆動力を得ることができる。
また、本発明の防振アクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット、カメラによれば、像振れ防止用レンズの不要な回転移動を効果的に抑制することができる。
次に、添付図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
まず、図1乃至図8を参照して、本発明の実施形態によるカメラを説明する。図1は本発明の実施形態によるカメラの断面図である。
図1に示すように、本発明の実施形態のカメラ1は、レンズユニット2と、カメラ本体4と、を有する。レンズユニット2は、レンズ鏡筒6と、このレンズ鏡筒の中に配置された複数の撮像用レンズ8と、像振れ防止用レンズ16を所定の平面内で移動させる防振アクチュエータ10と、レンズ鏡筒6の振動を検出する振動検出手段であるジャイロ34a、34b(図1には34aのみ図示)と、を有する。
本発明の実施形態のカメラ1は、ジャイロ34a、34bによって振動を検出し、検出された振動に基づいて防振アクチュエータ10を作動させて像振れ防止用レンズ16を移動させ、カメラ本体4内のフィルム面Fに合焦される画像を安定化させている。本実施形態においては、ジャイロ34a、34bとして、圧電振動ジャイロを使用している。なお、本実施形態においては、像振れ防止用レンズ16は、1枚のレンズによって構成されているが、画像を安定させるためのレンズは、複数枚のレンズ群であっても良い。本明細書において、像振れ防止用レンズとは、画像を安定させるための1枚のレンズ及びレンズ群を含むものとする。
レンズユニット2は、カメラ本体4に取り付けられ、入射した光をフィルム面Fに結像させるように構成されている。
概ね円筒形のレンズ鏡筒6は、内部に複数の撮像用レンズ8を保持しており、一部の撮像用レンズ8を移動させることによりピント調整を可能としている。
次に、図2乃至図4を参照して、防振アクチュエータ10を説明する。図2は防振アクチュエータ10の側面断面図である。図3は防振アクチュエータ10の可動部を取り外した状態を示す正面図であり、図4は防振アクチュエータ10の可動部の正面図である。なお、図2は、防振アクチュエータ10を図3のII−II線に沿って破断した状態を示す断面図である。
図2乃至図4に示すように、防振アクチュエータ10は、レンズ鏡筒6内に固定された固定部である固定板12と、この固定板12に対して並進移動及び回転移動可能に支持された可動部である移動枠14と、この移動枠14を支持する可動部支持手段である3つのスチールボール18と、を有する。さらに、防振アクチュエータ10は、固定板12に取り付けられた第1駆動用コイル20a、第2駆動用コイル20b、及び第3駆動用コイル20cと、移動枠14の、各駆動用コイル20a、20b、20cに夫々対応する位置に取り付けられた第1駆動用磁石22a、第2駆動用磁石22b、及び第3駆動用磁石22cと、各駆動用コイル20a、20b、20cの内側に夫々配置された第1、第2、第3位置検出素子である第1磁気センサ24a、第2磁気センサ24b、第3磁気センサ24cと、を有する。
また、防振アクチュエータ10は、各駆動用磁石の磁力によって移動枠14を固定板12に吸着させるために、固定板12の裏側に取り付けられた3つの吸着用ヨーク26と、各駆動用磁石の磁力を固定板12の方に効果的に差し向けるように、各駆動用磁石の反対側の面に取り付けられたバックヨーク28と、を有する。なお、第1駆動用コイル20a、第2駆動用コイル20b、第3駆動用コイル20c、及びこれらに対応する位置に夫々取り付けられた第1駆動用磁石22a、第2駆動用磁石22b、第3駆動用磁石22cは、移動枠14を固定板12に対して駆動する第1、第2、第3駆動手段を夫々構成する。
さらに、図1に示すように、防振アクチュエータ10は、ジャイロ34a、34bによって検出された振動と、第1、第2、第3磁気センサ24a、24b、24cによって検出された移動枠14の位置情報に基づいて、第1、第2、第3駆動用コイル20a、20b、20cに流す電流を制御する制御部であるコントローラ36を有する。
防振アクチュエータ10は、移動枠14を、レンズ鏡筒6に固定された固定板12に対してフィルム面Fに平行な平面内で並進移動させ、これにより移動枠14に取り付けられた像振れ防止用レンズ16を移動させてレンズ鏡筒6が振動してもフィルム面Fに結像される像が乱れることがないように駆動される。
固定板12は概ねドーナツ板状の形状を有し、その上に第1、第2、第3駆動用コイル20a、20b、20cが配置されている。図3に示すように、これら3つの駆動用コイルは、その中心が、レンズユニット2の光軸を中心とする円周上にそれぞれ配置されている。本実施形態においては、第1駆動用コイル20aは光軸の鉛直上方に配置され、第2駆動用コイル20bは光軸に対して水平方向に配置され、駆動用コイル20cは、第1駆動用コイル20a及び第2駆動用コイル20bから夫々中心角135゜隔てた位置に配置されている。従って、第1駆動用コイル20aと第2駆動用コイル20bの間は中心角90゜、第2駆動用コイル20bと第3駆動用コイル20cの間は中心角135゜、駆動用コイル20cと20aの間は中心角135゜隔てられていることになる。
第1、第2、第3駆動用コイル20a、20b、20cは、夫々、その巻線が角の丸い矩形状に巻かれている。第1、第2駆動用コイル20a、20bは、概ね長方形状であり、その長辺を横切る中心線が、Y軸、X軸と夫々一致するように配置されている。即ち、第1、第2駆動用コイル20a、20bは、その長辺が、光軸Aを中心とする円の円周方向に向くように配置されている。また、第3駆動用コイル20cは、第1、第2駆動用コイルよりも小型の概ね長方形状であり、その短辺を横切る中心線が、光軸Aを中心とする円の半径方向に向くように配置されている。
移動枠14は、概ねドーナツ板状の形状を有し、固定板12と平行に、固定板12と重なるように配置されている。移動枠14の中央の開口には、像振れ防止用レンズ16が取り付けられている。移動枠14上の円周の、第1、第2、第3駆動用コイル20a、20b、20cに対応する位置には、第1、第2、第3駆動用磁石22a、22b、22cが夫々配置されている。第1、第2駆動用磁石22a、22bは、概ね長方形状であり、その短辺を横切る中心線が、Y軸、X軸と夫々一致するように配置されている。また、第1、第2駆動用磁石22a、22bは、その長辺を横切る中心線が着磁境界線となるように着磁されている。第3駆動用コイル20cは、第1、第2駆動用磁石よりも小型の概ね長方形状であり、その長辺を横切る中心線が、円周の半径方向と一致するように配置されている。また、第3駆動用磁石22cは、その長辺を横切る中心線が着磁境界線となるように着磁されている。即ち、第1、第2駆動用磁石22a、22bは着磁境界線が光軸Aを中心とする円の円周方向に向くように、第3駆動用磁石22cは着磁境界線が円の半径方向に向くように夫々配置されている。
なお、本実施形態においては、移動枠14、像振れ防止用レンズ16、及び第1、第2、第3駆動用磁石22a、22b、22cを含む可動部分の重心は、図3における点Gに位置する。
図2及び図3に示すように、3つのスチールボール18は、固定枠12と移動枠14の間に挟持され、光軸Aを中心とする円の円周上に夫々、中心角120゜の間隔を隔てて配置されている。各スチールボール18は、固定枠12の、各スチールボール18に対応する位置に形成された凹部30の中に配置され、脱落が防止される。また、後述するように、移動枠14は駆動用磁石により固定板12に吸着されるので、各スチールボール18は固定板12と移動枠14の間に挟持される。これにより、移動枠14は固定板12に平行な平面上に支持され、各スチールボール18が挟持されながら転がることによって、移動枠14の固定板12に対する任意の方向の並進運動及び回転運動が許容される。
また、本実施形態においては、スチールボール18として鋼製の球体を使用しているが、スチールボール18は必ずしも球体でなくても良い。即ち、防振アクチュエータ10の作動中において固定板12及び移動枠14と接触する部分が概ね球面の形状を有する形態であればスチールボール18として使用することができる。なお、本明細書において、このような形態を球状体という。
バックヨーク28は概ね長方形状であり、移動枠14の駆動用磁石が取り付けられていない側の面の、各駆動用磁石に対応する位置に夫々取り付けられている。これらのバックヨーク28により、各駆動用磁石の磁束が、固定板12の方に効率良く差し向けられる。
吸着用ヨーク26は概ね長方形状であり、固定板12の駆動用コイルが取り付けられていない側の面の、各駆動用コイルに対応する位置に夫々取り付けられている。各駆動用磁石がこれらの吸着用ヨーク26に及ぼす磁力により、移動枠14は固定板12に吸着される。
図2に示すように、第1駆動用磁石22aの着磁境界線Cは、長方形の第1駆動用磁石22aの各長辺の中点を通るように位置すると共に、第1駆動用磁石22aの厚さ方向にも極性が変化している。本実施形態においては、図2における左下の角がS極、右下がN極、左上がN極、右上がS極になっている。また、第2駆動用磁石22bも同様に着磁されており、移動枠14への取り付け方向が90゜回転されている(図4)。なお、本明細書において、着磁境界線Cとは、駆動用磁石の両端を夫々S極、N極としたとき、その中間のS極からN極に極性が変化する点を連ねた線を言うものとする。
このように着磁されていることにより、第1、第2駆動用磁石22a、22bは、長方形の第1、第2駆動用コイル20a、20bの長辺の部分に磁気を及ぼす。これにより、第1駆動用コイル20aに電流が流れると、第1駆動用磁石22aとの間にY軸に沿った鉛直方向の駆動力が発生し、第2駆動用コイル20bに電流が流れると、第2駆動用磁石22bとの間にX軸に沿った水平方向の駆動力が発生する。
即ち、第1駆動用コイル20a及び第1駆動用磁石22aにより構成される第1駆動手段による駆動力の作用線は、像振れ防止用レンズ16の概ね半径方向に向けられ、第2駆動用コイル20b及び第2駆動用磁石22bにより構成される第2駆動手段による駆動力の作用線は、第1駆動手段による駆動力の作用線とほぼ直交すると共に、像振れ防止用レンズ16の概ね半径方向に向けられる。
一方、図4に示すように、第3駆動用磁石22cは、着磁境界線Cが光軸Aを中心とする円の半径方向に向くように配置されており、長方形の第3駆動用コイル20cの、半径方向に向けられた長辺の部分に磁気を及ぼす。これにより、第3駆動用コイル20cに電流が流れると、第3駆動用磁石22cとの間に光軸Aを中心とする円の円周方向の駆動力が発生する。また、第3駆動手段を構成する第3駆動用コイル20c及び第3駆動用磁石22cは、第1、第2駆動用コイル及び第1、第2駆動用磁石よりも小型に構成されているため、駆動用コイルに同一の電流が流れた場合に第3駆動手段が発生する駆動力は、第1、第2駆動手段が発生する駆動力よりも小さくなる。
また、本実施形態においては、防振アクチュエータ10の可動部分(移動枠14、像振れ防止用レンズ16、及び各駆動用磁石)の重心はほぼ光軸A上に位置するため、光軸Aを中心とする円の半径方向に向けられた第1駆動手段の駆動力により、移動枠14は鉛直方向にほぼ正確に並進移動される。同様に、第2駆動手段の駆動力により、移動枠14は水平方向にほぼ正確に並進移動される。第3駆動手段は、移動枠14の並進移動に伴って生じる僅かな回転移動を抑制するように設けられているため、第3駆動手段が発生する必要のある駆動力は、第1、第2駆動手段よりも小さなものである。
図2及び図3に示すように、各駆動用コイルの内側には、夫々第1磁気センサ24a、第2磁気センサ24b、第3磁気センサ24cが夫々配置されている。第1、第2、第3磁気センサ24a、24b、24cは、第1、第2、第3駆動手段が発生する駆動力の作用線に平行な方向の、固定板12に対する移動枠14の位置を測定するように構成されている。また、各磁気センサは、移動枠14が中立位置にあるとき、その感度中心点Sが、各駆動用磁石22の磁気的中立軸線C上に位置するように配置されている。本実施形態においては、磁気センサとしてホール素子を使用している。
磁気センサからの出力信号は、磁気センサの感度中心点Sが駆動用磁石の着磁境界線C上に位置する場合には0であり、駆動用磁石が移動し、磁気センサ感度中心点Sが駆動用磁石の着磁境界線C上から外れると、磁気センサの出力信号が変化する。駆動用磁石の移動量が微小である、防振アクチュエータ10の通常の作動中においては、駆動用磁石の着磁境界線Cに直交する方向の移動距離にほぼ比例した信号が出力される。
このため、第1磁気センサ24aは移動枠14のY軸方向の並進移動量にほぼ比例した信号を出力し、第2磁気センサ24bは移動枠14のX軸方向の並進移動量にほぼ比例した信号を出力する。また、第3磁気センサ24cは移動枠14の移動の、回転移動成分を多く含む信号を出力する。これら第1、第2、第3磁気センサ24a、24b、24cによって検出された信号に基づいて、移動枠14が固定枠12に対して並進移動及び回転移動した位置を特定することができる。
また、第1、第2磁気センサ24a、24bは、それらの検出部全体が、第1、第2駆動手段が発生する駆動力の作用線(本実施形態においてはX軸、Y軸と一致している)によって区画される4つの領域(本実施形態においては光軸Aを原点とするX軸、Y軸によって形成される第1乃至第4象限に対応する)のうち、第3駆動手段が配置された領域(第3象限に対応)に対して対角の位置にある領域(第1象限に対応)内に位置するように配置されている。後述するように、この第1、第2磁気センサ24a、24bの配置により、移動枠14を精度良く位置制御することが可能になる。
換言すれば、本実施形態において、第1磁気センサ24aは、防振アクチュエータ10の可動部分の重心Gを通り、第1駆動手段が発生する駆動力の作用線に平行な直線(図3における二点鎖線GY)によって区画される2つの領域のうち、第3駆動手段が配置されていない方の領域(図3における二点鎖線GYの右側の領域)に配置されており、第2磁気センサ24bは、防振アクチュエータ10の可動部分の重心Gを通り、第2駆動手段が発生する駆動力の作用線に平行な直線(図3における二点鎖線GX)によって区画される2つの領域のうち、第3駆動手段が配置されていない方の領域(図3における二点鎖線GXの上側の領域)に配置されているため、後述するように、移動枠14を精度良く位置制御することが可能になる。
なお、第1磁気センサ24aは、二点鎖線GYから、第1駆動手段が発生する駆動力の作用線に直交する方向に大きく離れるほど(図3において二点鎖線GYから右側に離れるほど)精度が向上し、第2磁気センサ24bは、二点鎖線GXから、第2駆動手段が発生する駆動力の作用線に直交する方向に大きく離れるほど(図3において二点鎖線GXから上側に離れるほど)精度が向上する。
次に、図5を参照して、防振アクチュエータ10の制御を説明する。図5は、コントローラ36における信号処理を示すブロック図である。図5に示すように、レンズユニット2の振動は、2つのジャイロ34a、34bによって時々刻々検出され、コントローラ36に内蔵された演算回路38a、38bに入力される。本実施形態においては、ジャイロ34aはレンズユニット2のピッチング運動の角加速度を、ジャイロ34bはヨーイング運動の角加速度を夫々検出するように構成され、配置されている。
演算回路38a、38bは、ジャイロ34a、34bから時々刻々入力される角速度に基づいて、像振れ防止用レンズ16を移動させるべき位置を時系列で指令するレンズ位置指令信号を生成する。すなわち、演算回路38aは、ジャイロ34aによって検出されるピッチング運動の角速度を時間積分し、所定の修正信号を加算することによってレンズ位置指令信号の鉛直方向成分を生成し、同様に、演算回路38bは、ジャイロ34bによって検出されるヨーイング運動の角速度に基づいてレンズ位置指令信号の水平方向成分を生成するように構成されている。このようにして得られたレンズ位置指令信号に従って、像振れ防止用レンズ16を時々刻々移動させることにより、写真撮影の露光中にレンズユニット2が振動した場合にも、カメラ本体4内のフィルム面Fに合焦される像は乱れることなく安定化される。
コントローラ36は、演算回路38a、38bによって生成されたレンズ位置指令信号によって指示された位置に、像振れ防止用レンズ16が移動されるように、第1、第2、第3駆動用コイル20a、20b、20cに流す電流を制御する。
一方、第1磁気センサ24aによって測定された、第1駆動用コイル20aに対する第1駆動用磁石22aの鉛直方向の移動量は、磁気センサアンプ42aによって所定の倍率に増幅される。差動回路44aは、演算回路38aから出力されたレンズ位置指令信号の鉛直成分と、磁気センサアンプ42aから出力された第1駆動用コイル20aに対する第1駆動用磁石22aの鉛直方向の移動量との差に比例した電流を第1駆動用コイル20aに流す。従って、レンズ位置指令信号によって指令されたレンズ位置の鉛直方向成分と磁気センサアンプ42aからの出力に差がなくなると、第1駆動用コイル20aには電流が流れなくなり、第1駆動用磁石22aに作用する駆動力が0になる。
同様に、第2磁気センサ24bによって測定された、第2駆動用コイル20bに対する第2駆動用磁石22の水平方向の移動量は、磁気センサアンプ42bによって所定の倍率に増幅される。差動回路44bは、演算回路38bから出力されたレンズ位置指令信号の水平成分と、磁気センサアンプ42bから出力された第2駆動用コイル20bに対する第2駆動用磁石22bの水平方向の移動量との差に比例した電流を第2駆動用コイル20bに流す。従って、レンズ位置指令信号によって指令されたレンズ位置の水平方向成分と磁気センサアンプ42bからの出力に差がなくなると、第2駆動用コイル20bには電流が流れなくなり、駆動用磁石22bに作用する駆動力が0になる。
また、第3磁気センサ24cによって測定された、第3駆動用コイル20cに対する第3駆動用磁石22cの移動量は、磁気センサアンプ42cによって所定の倍率に増幅される。一方、演算回路40は、演算回路38aから出力されたレンズ位置指令信号の鉛直成分と、演算回路38bから出力されたレンズ位置指令信号の水平成分に基づいて所定の信号を発生する。この信号は、移動枠14がレンズ位置指令信号によって指定された位置に並進移動された場合において、第3駆動用磁石22cが第3駆動用コイル20cに対して移動すべき位置を指示するものであり、各磁気センサの配置に基づいて幾何学的に求めることができる。
第2駆動用磁石22bがレンズ位置指令信号によって指令された水平位置に移動され、第1駆動用磁石22aがレンズ位置指令信号によって指令された鉛直位置に移動され、移動枠14が正確に並進移動されている場合には、磁気センサアンプ42cの出力信号と演算回路40の出力信号は一致するので、第3駆動用コイル20cには電流が流れなくなり、第3駆動用磁石22cに作用する駆動力は0になる。
また、第1、第2駆動用磁石22a、22bが夫々レンズ位置指令信号によって指令された位置に移動されていても、移動枠14が並進移動と共に回転移動されている場合には、磁気センサアンプ42cの出力信号と演算回路40の出力信号は一致せず、第3駆動用コイル20cに電流が流れる。この第3駆動用コイル20cに流れる電流により、第3駆動用磁石22cには移動枠14を回転させる駆動力が作用する。これにより、移動枠14の回転移動は打ち消され、移動枠14は正確に並進移動される。本実施形態による防振アクチュエータ10においては、移動枠14が、3つのスチールボール18によって固定板12に対して並進移動及び回転移動可能に支持されているにも関わらず、第1、第2、第3駆動手段が協働して駆動力を発生させることにより、移動枠14の回転移動が抑制され、移動枠14は正確に並進移動される。
次に、図6乃至図8を参照して、移動枠14の固定板12に対する移動と、各磁気センサからの出力信号の関係を説明する。図6は移動枠14が固定板12に対して、斜め上方向に並進移動された場合における各駆動用コイルと各駆動用磁石の位置関係を表す図である。また、図7は移動枠14が固定板12に対して、光軸Aを中心に回転移動された場合における各駆動用コイルと各駆動用磁石の位置関係を表す図である。さらに、図8は移動枠14が固定板12に対して、第3磁気センサ24cを中心に回転移動された場合における各駆動用コイルと各駆動用磁石の位置関係を表す図である。
まず、図6に示すように、移動枠14が固定板12に対して、斜め上45゜の方向に並進移動された場合には、第1、第2、第3駆動用磁石22a、22b、22cは、破線で示す初期位置(像振れ防止用レンズ16の光軸と他の撮像用レンズ8の光軸Aが一致し、第1、第2駆動用磁石の着磁境界線Cが、夫々水平、鉛直方向に向けられている位置)から、夫々二点鎖線で示す位置に移動される。この位置においては、第1磁気センサ24aは第1駆動用磁石22aの着磁境界線Cと第1磁気センサ24aの鉛直方向距離y1に比例した信号を発生し、第2磁気センサ24bは第2駆動用磁石22bの着磁境界線Cと第2磁気センサ24bの水平方向距離x1に比例した信号を発生する。一方、第3駆動用磁石22cの着磁境界線Cは、依然として第3磁気センサ24c上に位置するため、第3磁気センサ24cが発生する信号は、ほぼ0となる。このように、第1磁気センサ24aは主に移動枠14の鉛直方向の並進移動を検出し、第2磁気センサ24bは主に移動枠14の水平方向の並進移動を検出する。
次に、図7に示すように、移動枠14が固定板12に対して、光軸Aを中心に回転移動された場合には、第1、第2、第3駆動用磁石22a、22b、22cは、破線で示す初期位置から、夫々二点鎖線で示す位置に移動される。この位置においては、第1磁気センサ24aは第1駆動用磁石22aの着磁境界線Cと第1磁気センサ24aの間の距離y2に比例した信号を発生し、第2磁気センサ24bは第2駆動用磁石22bの着磁境界線Cと第2磁気センサ24bの間の距離x2に比例した信号を発生し、第3磁気センサ24cは第3駆動用磁石22cの着磁境界線Cと第3磁気センサ24cの間の距離v2に比例した信号を発生する。ここで、第3磁気センサ24cが検出する距離v2は、距離x2、y2よりも大きく、第3磁気センサ24cは主に移動枠14の回転移動を検出する。
さらに、図8に示すように、移動枠14が固定板12に対して、第3磁気センサ24cを中心に回転移動された場合には、第1、第2、第3駆動用磁石22a、22b、22cは、破線で示す初期位置から、夫々二点鎖線で示す位置に移動される。この位置においては、第1磁気センサ24aは第1駆動用磁石22aの着磁境界線Cと第1磁気センサ24aの間の距離y3に比例した信号を発生し、第2磁気センサ24bは第2駆動用磁石22bの着磁境界線Cと第2磁気センサ24bの間の距離x3に比例した信号を発生する。また、第3駆動用磁石22cの着磁境界線Cは、第3磁気センサ24c上に位置するため、第3磁気センサ24cが発生する信号は、ほぼ0となる。
このように、移動枠14の第3磁気センサ24cを中心とした回転移動に関しては、第3磁気センサ24cによっては検出されず、第1、第2磁気センサ24a、24bによって検出されることになる。しかしながら、第1、第2磁気センサ24a、24bが、図8に破線で示すように、Y軸、X軸上に夫々配置されている場合には、第1磁気センサ24aと第1駆動用磁石22aの着磁境界線Cとの間の距離、第2磁気センサ24bと第2駆動用磁石22bの着磁境界線Cとの間の距離は、極めて短くなる。従って、この場合には、移動枠14の第3磁気センサ24cを中心とした回転移動を各磁気センサによって検出することが困難となり、このような移動枠14の回転移動を抑制するのが困難になる。
本実施形態の防振アクチュエータ10においては、第1、第2磁気センサ24a、24bの検出部全体を、第1、第2駆動手段が発生する駆動力の作用線によって区画される4つの領域のうち、第3駆動手段が配置された領域に対して対角の位置にある領域内に配置することにより、移動枠14の様々な点を中心とする回転移動が正確に検出される。或いは、本実施形態の防振アクチュエータ10においては、第1磁気センサ24aを、防振アクチュエータ10の可動部分の重心Gを通り、第1駆動手段が発生する駆動力の作用線に平行な直線によって区画される2つの領域のうち、第3駆動手段が配置されていない方の領域に配置し、第2磁気センサ24bを、重心Gを通り、第2駆動手段が発生する駆動力の作用線に平行な直線によって区画される2つの領域のうち、第3駆動手段が配置されていない方の領域に配置することにより、移動枠14の様々な点を中心とする回転移動が正確に検出される。このため、移動枠14を並進移動及び回転移動可能に支持しながら、各駆動手段の駆動力により移動枠14の回転移動が抑制され、移動枠14は正確に並進移動される。
次に、図1及び5を参照して、本発明の実施形態によるカメラ1の作用を説明する。まず、カメラ1の手ブレ防止機能の起動スイッチ(図示せず)をONにすることにより、レンズユニット2に備えられた防振アクチュエータ10が作動される。レンズユニット2に取り付けられたジャイロ34a、34bは、所定周波数帯域の振動を時々刻々検出し、コントローラ36に内蔵された演算回路38a、38bに出力する。ジャイロ34aはレンズユニット2のピッチング方向の角速度の信号を演算回路38aに出力し、ジャイロ34bはヨーイング方向の角速度の信号を演算回路38bに出力する。演算回路38aは、入力された角速度信号を時間で積分して、ピッチング角度を算出し、これに所定の修正信号を加えて鉛直方向のレンズ位置指令信号を生成する。同様に、演算回路38bは、入力された角速度信号を時間で積分して、ヨーイング角度を算出し、これに所定の修正信号を加えて水平方向のレンズ位置指令信号を生成する。演算回路38a、38bによって時系列で出力されるレンズ位置指令信号によって指令される位置に、像振れ防止用レンズ16を時々刻々移動させることによって、カメラ本体4のフィルム面Fに合焦される像が安定化される。
演算回路38aによって出力された鉛直方向のレンズ位置指令信号は作動回路44aに入力され、演算回路38bによって出力された水平方向のレンズ位置指令信号は作動回路44bに入力される。また、演算回路38a、38bの出力は演算回路40に入力され、演算回路40は所定の関係式に従って演算された信号を、作動回路44cに出力する。
一方、第1駆動用コイル20aの内側に配置された第1磁気センサ24aは磁気センサアンプ42aに、第2駆動用コイル20bの内側の第2磁気センサ24bは磁気センサアンプ42bに、第3駆動用コイル20cの内側の第3磁気センサ24cは磁気センサアンプ42cに検出信号を出力する。磁気センサアンプ42a、42b、42cで夫々増幅された各磁気センサの検出信号は、作動回路44a、44b、44cに夫々入力される。
作動回路44a、44b、44cは、入力された各磁気センサの検出信号と、各演算回路38a、38b、40から入力された信号の差に応じた電圧を夫々発生し、この電圧に比例した電流を各駆動用コイルに流す。各駆動用コイルに電流が流れると電流に比例した磁界が発生する。この磁界により第1、第2、第3駆動用コイル20a、20b、20cに対応して配置された第1、第2、第3駆動用磁石22a、22b、22cは夫々駆動力を受け、移動枠14が移動される。移動枠14が駆動力によって移動され、各駆動用磁石がレンズ位置指令信号により指定された位置に到達すると、各作動回路の出力は0となり、駆動力も0になる。また、外乱、又は、レンズ位置指令信号の変化等により、移動枠14がレンズ位置指令信号により指定された位置から外れると、再び各駆動用コイルに電流が流され、移動枠14きレンズ位置指令信号により指定された位置に戻される。
以上の作用が時々刻々繰り返されることにより、移動枠14に取り付けられた像振れ防止用レンズ16が、レンズ位置指令信号に追従するように移動される。これにより、カメラ本体4のフィルム面Fに合焦される像が安定化される。
本発明の実施形態の防振アクチュエータによれば、第1、第2駆動手段が概ね半径方向の駆動力を発生するように構成されているので、これらの駆動手段の駆動用コイルを円周方向に拡大することにより駆動力を拡大することができ、防振アクチュエータの外径を大型化することなく、大きな駆動力を得ることができる。
また、本実施形態の防振アクチュエータによれば、第1、第2駆動手段による移動枠の並進運動に伴って発生する回転移動を、概ね円周方向の駆動力を発生する第3駆動手段により抑制しているので、移動枠の不要な回転移動を抑制することができる。
さらに、本実施形態の防振アクチュエータによれば、第1及び第2磁気センサは、それらの検出部全体が、第1駆動手段の駆動力の作用線と、第2駆動手段の駆動力の作用線によって区画される4つの領域のうち、第3駆動手段が配置された領域に対して対角の位置にある領域内に配置されているので、移動枠の任意の点を中心とする回転移動を、各磁気センサによって精度良く検出することができ、移動枠の不要な回転移動を効果的に抑制することができる。
或いは、本実施形態の防振アクチュエータによれば、第1磁気センサは、その検出部全体が、可動部の重心を通り、第1駆動手段の駆動力の作用線と平行な直線によって区画される2つの領域のうち、第3駆動手段が配置されていない方の領域に配置されており、第2磁気センサは、その検出部全体が、可動部の重心を通り、第2駆動手段の駆動力の作用線と平行な直線によって区画される2つの領域のうち、第3駆動手段が配置されていない方の領域に配置されているので、移動枠の任意の点を中心とする回転移動を、各磁気センサによって精度良く検出することができ、移動枠の不要な回転移動を効果的に抑制することができる。
また、本実施形態の防振アクチュエータによれば、第3駆動手段は、移動枠の不要な回転移動を抑制するために設けられているので、大きな駆動力は不要であり、第3駆動手段を構成する駆動用コイル、駆動用磁石を小型化することができる。これにより、防振アクチュエータをより小型化することができる。
さらに、本実施形態の防振アクチュエータによれば、第1、第2、及び第3磁気センサが、第1、第2、第3駆動用コイルの内側に配置されているので、各駆動手段の駆動力が発生する点の近傍で位置を検出することができ、移動枠の位置を正確に検出することができる。これにより、防振アクチュエータを精度良く制御することができる。
なお、上述した本発明の実施形態においては、移動枠14の位置を磁気センサにより検出していたが、変形例として、磁気センサ以外の位置検出素子により位置を検出することもできる。
図9及び図10は、本発明の実施形態の変形例を示す図である。本変形例においては、移動枠14の位置を、位置検出素子である反射パターン及び反射センサにより検出している。図9は移動枠に取り付けられた反射パターンを示す図であり、図10は反射センサによる光の照射及び検出を示す図である。
図9に示すように、反射板である反射パターン224aは、長方形状であり、その短辺を横切る中心線が、駆動用磁石22aの着磁境界線Cと重なるように配置されている。また、反射パターン224aには、鋸歯状のパターンが描かれており、その白く図示されている反射部が光を反射し、黒く図示されている非反射部は光を反射しないように構成されている。一方、反射センサ225aは、図10に示すように、反射パターン224aに対向して、固定板の反対側に配置されており、反射パターン224aに光を照射し、反射パターン224aから反射された光を受光するように構成されている。反射センサ225aは、受光した光の強さに応じた出力信号をコントローラ36に送るように構成されている。
ここで、反射パターン224aが、反射センサ225aに対して図9における上方向に移動されると、反射センサ225aから照射された光の多くは、反射パターン224aの非反射部に当たるようになり、反射パターン224aから反射される光が弱くなる。逆に、反射パターン224aが下方向に移動されると、照射された光のうちの、反射パターン224aの反射部に当たる割合が増加し、反射パターン124aから反射される光が強くなる。このように、反射センサ225aが受光する光の強弱により、反射センサ225aに対する反射パターン224aの位置を検出することができる。
一方、反射パターン224aが、反射センサ225aに対して図9における左右方向に移動された場合には、反射センサ225aから照射された光が当たる領域内の、反射部と非反射部の割合が殆ど変化しないため、反射パターン224aから反射される光の強さは変化しない。即ち、反射パターン224aが、その検出軸線Bの方向であるY軸方向に移動された場合には反射センサ225aの検出信号は変化するが、検出軸線Bに直交するX軸方向に移動された場合には反射センサ225aの検出信号は変化しないように構成されている。
また、第2、第3駆動用磁石についても、反射パターン及び反射センサ(図示せず)が対応して設けられている。第2駆動用磁石に対応して設けられた反射センサは、移動枠14のX軸方向の移動を検出し、第3駆動用磁石に対応して設けられた反射センサは、移動枠14の光軸を中心とする円周方向の移動を検出するように構成されている。
なお、本変形例においては、各駆動用磁石に対応する位置に反射パターン及び反射センサが配置されていたが、反射パターン及び反射センサを他の位置に配置することもできる。
本変形例によれば、各駆動用磁石の位置とは無関係に、各位置検出素子を配置することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、上述した実施形態に種々の変更を加えることができる。特に、上述した実施形態においては、本発明をフィルムカメラに適用していたが、本発明をデジタルスチルカメラ、ビデオカメラ等に適用することもできる。また、上述した実施形態においては、駆動用コイルが固定部に、駆動用磁石が可動部に取り付けられていたが、駆動用コイルを可動部に、駆動用磁石を固定部に取り付けることもできる。
本発明の実施形態によるカメラの断面図である。 本発明の実施形態によるカメラに備えられている防振アクチュエータの側面断面図である。 防振アクチュエータの可動部を取り外した状態を示す正面図である。 防振アクチュエータの可動部の正面図である。 コントローラにおける信号処理を示すブロック図である。 移動枠が固定板に対して、斜め上方向に並進移動された場合における各駆動用コイルと各駆動用磁石の位置関係を表す図である。 移動枠が固定板に対して、光軸を中心に回転移動された場合における各駆動用コイルと各駆動用磁石の位置関係を表す図である。 移動枠が固定板に対して、第3磁気センサを中心に回転移動された場合における各駆動用コイルと各駆動用磁石の位置関係を表す図である。 本発明の実施形態の変形例において、移動枠に取り付けられた反射パターンを示す図である。 本発明の実施形態の変形例において、反射センサによる光の照射及び検出を示す図である。 従来のアクチュエータの正面図である。
符号の説明
1 本発明の実施形態のカメラ
2 レンズユニット
4 カメラ本体
6 レンズ鏡筒
8 撮像用レンズ
10 防振アクチュエータ
12 固定板(固定部)
14 移動枠(可動部)
16 像振れ防止用レンズ
18 スチールボール(可動部支持手段)
20a 第1駆動用コイル
20b 第2駆動用コイル
20c 第3駆動用コイル
22a 第1駆動用磁石
22b 第2駆動用磁石
22c 第3駆動用磁石
24a 第1磁気センサ(第1位置検出素子)
24b 第2磁気センサ(第2位置検出素子)
24c 第3磁気センサ(第3位置検出素子)
26 吸着用ヨーク
28 バックヨーク
30 凹部
34a、34b ジャイロ
36 コントローラ(制御部)
38a、38b 演算回路
40 演算回路
42a、42b、42c 磁気センサアンプ
44a、44b、44c 作動回路
110 アクチュエータ
112 固定部
114 可動部
118 スチールボール
120 駆動用コイル
122 駆動用磁石
124 ホール素子
224a 反射パターン
225a 反射センサ

Claims (8)

  1. 像振れ防止用レンズを、その光軸に直交する平面内で移動させる防振アクチュエータであって、
    固定部と、
    上記像振れ防止用レンズが取り付けられた可動部と、
    この可動部を、上記固定部に対して平行な平面内で並進移動及び回転移動を許容するように支持する可動部支持手段と、
    第1駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第1駆動用コイルを備え、上記可動部を上記固定部に対して駆動する駆動力の作用線が上記像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた第1駆動手段と、
    第2駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第2駆動用コイルを備え、上記可動部を上記固定部に対して駆動する駆動力の作用線が、上記第1駆動手段の駆動力の作用線とほぼ直交すると共に、上記像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた第2駆動手段と、
    第3駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第3駆動用コイルを備え、上記可動部を上記固定部に対して駆動する駆動力の作用線が、上記像振れ防止用レンズの概ね円周方向に向けられている第3駆動手段と、
    上記第1、第2、第3駆動手段の各駆動力の作用線に平行な方向の、上記固定部に対する上記可動部の位置を夫々検出する、第1位置検出素子、第2位置検出素子、及び第3位置検出素子と、
    上記第1、第2、第3位置検出素子によって検出された位置に基づいて上記第1、第2、第3駆動用コイルに流す電流を制御し、上記可動部を所定の位置に移動させる制御部と、を有し、
    上記第1位置検出素子は、その検出部全体が、上記可動部の重心を通り、上記第1駆動手段の駆動力の作用線と平行な直線によって区画される2つの領域のうち、上記第3駆動手段が配置されていない方の領域に配置されており、上記第2位置検出素子は、その検出部全体が、上記可動部の重心を通り、上記第2駆動手段の駆動力の作用線と平行な直線によって区画される2つの領域のうち、上記第3駆動手段が配置されていない方の領域に配置されていることを特徴とする防振アクチュエータ。
  2. 像振れ防止用レンズを、その光軸に直交する平面内で移動させる防振アクチュエータであって、
    固定部と、
    上記像振れ防止用レンズが取り付けられた可動部と、
    この可動部を、上記固定部に対して平行な平面内で並進移動及び回転移動を許容するように支持する可動部支持手段と、
    第1駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第1駆動用コイルを備え、上記可動部を上記固定部に対して駆動する駆動力の作用線が上記像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた第1駆動手段と、
    第2駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第2駆動用コイルを備え、上記可動部を上記固定部に対して駆動する駆動力の作用線が、上記第1駆動手段の駆動力の作用線とほぼ直交すると共に、上記像振れ防止用レンズの概ね半径方向に向けられた第2駆動手段と、
    第3駆動用磁石及びこれに対向するように配置された第3駆動用コイルを備え、上記可動部を上記固定部に対して駆動する駆動力の作用線が、上記像振れ防止用レンズの概ね円周方向に向けられている第3駆動手段と、
    上記第1、第2、第3駆動手段の各駆動力の作用線に平行な方向の、上記固定部に対する上記可動部の位置を夫々検出する、第1位置検出素子、第2位置検出素子、及び第3位置検出素子と、
    上記第1、第2、第3位置検出素子によって検出された位置に基づいて上記第1、第2、第3駆動用コイルに流す電流を制御し、上記可動部を所定の位置に移動させる制御部と、を有し、
    上記第1及び第2位置検出素子は、それらの検出部全体が、上記第1駆動手段の駆動力の作用線と、上記第2駆動手段の駆動力の作用線によって区画される4つの領域のうち、上記第3駆動手段が配置された領域に対して対角の位置にある領域内に配置されていることを特徴とする防振アクチュエータ。
  3. 上記第1、第2、第3位置検出素子は、上記第1、第2、第3駆動用磁石に対向して配置され、上記各駆動用磁石の位置を夫々検出する請求項1又は2記載の防振アクチュエータ。
  4. 上記第3駆動手段が発生可能な駆動力は、上記第1、第2駆動手段が発生可能な駆動力よりも小さいことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の防振アクチュエータ。
  5. 上記第1、第2、及び第3位置検出素子がホール素子である請求項1乃至4の何れか1項に記載の防振アクチュエータ。
  6. 上記第1、第2、及び第3位置検出素子が、上記第1、第2、第3駆動用コイルの内側に配置されている請求項1乃至5の何れか1項に記載の防振アクチュエータ。
  7. レンズ鏡筒と、
    このレンズ鏡筒の中に配置された撮像用レンズと、
    上記レンズ鏡筒に取り付けられた請求項1乃至6の何れか1項に記載の防振アクチュエータと、
    を有することを特徴とするレンズユニット。
  8. 請求項7記載のレンズユニットと、
    このレンズユニットが取り付けられたカメラボディと、
    を有することを特徴とするカメラ。
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