JP2010150133A - 均一ドーピングされたSiCバルク単結晶の製造方法および均一ドーピングされたSiC基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成長坩堝3の結晶成長領域5の内部でSiC成長気相7が発生され、SiCバルク単結晶2がSiC成長気相からの分離により成長する。SiC成長気相が、成長坩堝の内部のSiC貯蔵領域4内にあるSiC原料6から供給される。結晶成長領域に、SiCバンドエッジに対し少なくとも500meVの間隔の深いところにあるドーパント準位を持つドーパントが、成長坩堝の外部に配置されたドーパント貯蔵部からガス状にて供給され、ドーパントが、成長方向8に対して垂直に向けられた成長坩堝の横断面に関して多数の隣り合う個所32において成長坩堝の中に導入されることによって、成長坩堝の内部において分配される。
【選択図】図7
Description
いところにあるドーパント準位を持つアクセプタとしてのドーパント原子の組み込みが行なわれる。第1又は第2のドーパントとしてのアルミニウムとバナジウムを用いた同時ドーピングが予定されている場合には、SiCバンドエッジに対して約250meVの間隔
のドーパント準位を有する浅いアクセプタとしてのアルミニウム原子の組み込みと、SiCバンドエッジに対して約1400meVの間隔のドーパント準位を有する深いところに
あるドナーとしてのバナジウム原子の組み込みとが行なわれる。
Claims (13)
- 少なくとも1011Ωcmの比抵抗および少なくとも7.62cmの直径を有するSiCバルク単結晶の製造のための方法であって、
a)成長坩堝(3)の結晶成長領域(5)の内部においてSiC成長気相(7)が発生させられ、SiCバルク単結晶(2)がSiC成長気相(7)からの分離により成長し、
b)SiC成長気相(7)が、成長坩堝(3)の内部のSiC貯蔵領域(4)内にあるSiC原料(6)から供給され、
c)SiCバンドエッジに対して少なくとも500meVの間隔の深いところにあるドーパント準位を持つドーパント(13、19)が、成長坩堝(3)の外部に配置されたドーパント貯蔵部(12、17)からガス状にて結晶成長領域(5)に供給され、ドーパント(13、19)が、成長方向(8)に対して垂直に向けられた成長坩堝(3)の横断面に関して多数の隣り合う個所(32)において成長坩堝(3)の中に導入されることによって、成長坩堝(3)の内部において分配される方法。 - ドーパント(13、19)が結晶成長領域(5)に次のように供給されること、即ち、成長方向(8)に対して垂直に向けられた成長坩堝(3)の横断面の内部におけるドーパント濃度が濃度平均値を中心に高々5%変動するように供給されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- ドーパント貯蔵部(12、17)の温度がSiC原料(6)の温度に依存せずに調整されることを特徴とする請求項1および2の1つに記載の方法。
- ドーパント貯蔵部(17)が成長坩堝(3)の加熱とは別個に加熱されることを特徴とする請求項1乃至3の1つに記載の方法。
- ドーパント貯蔵部(17)が、成長坩堝(3)を取り囲む熱絶縁層(9)の内部に設けられている空洞内に配置されることを特徴とする請求項1乃至4の1つに記載の方法。
- ドーパント貯蔵部(17)の位置が成長坩堝(3)に対して相対的に変化されることを特徴とする請求項1乃至5の1つに記載の方法。
- ドーパント貯蔵部(17)に不活性ガスが通流させられることを特徴とする請求項1乃至6の1つに記載の方法。
- ドーパント(13、19)がSiC貯蔵領域(4)に又は直接的に結晶成長領域(5)に導入されることを特徴とする請求項1乃至7の1つに記載の方法。
- 基板主表面を有する単結晶SiC基板であって、
a)基板主表面が少なくとも7.62cmの直径を持ち、
b)ドーパント(13、19)によるドーピングが設けられていて、ドーパント(13、19)がSiCバンドエッジに対して少なくとも500meVの間隔の深いところにドーパント準位を持ち、
c)任意の部分ボリュームについて求められるドーパント(13、19)の局所的濃度がドーパント(13、19)の全体的濃度から5%よりも少なくはずれ、部分ボリュームが基板主表面の任意の4mm2の大きさの部分表面と、それに対し垂直の基板厚みとによって定義されているSiC基板。 - ドーパント(13、19)がアクセプタであり、ドナーの作用をする不純物と少なくとも等しくされていることを特徴とする請求項9記載のSiC基板。
- ドーパント(13、19)がバナジウム又はスカンジウムであることを特徴とする請求項9乃至10の1つに記載のSiC基板。
- ドーパント(13、19)がバナジウムであって、1・1016cm-3から5・1017cm-3迄の間の濃度を持つことを特徴とする請求項9乃至11の1つに記載のSiC基板。
- 基板主表面の任意の4mm2の大きさの部分面について求められる比抵抗が少なくとも1011Ωcmにあることを特徴とする請求項9乃至12の1つに記載のSiC基板。
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