JP2010150004A - 搬送台車 - Google Patents

Abstract

【課題】被搬送物の大型化に伴うカセットの重量の増加に対して、カセットを被移載部に対して適切に搬送することが可能な搬送台車を提供する。
【解決手段】搬送台車６は、軌道５の延在方向に距離をおいて配置された一対のフレーム８と、各フレーム８に対応して配置された一対の昇降機構９と、各昇降機構９に昇降可能に支持された架台１０と、架台１０に支持され、複数のアームの伸縮により被移載部との間でカセット１３の移載を行うカセット移載機１１とを含む。昇降機構９は、フレーム８に沿って延びる案内部９１と、案内部９１に沿って移動可能に構成され、案内部９１の延在方向に間隔をおいて配置された一対の移動部９０とを含む。各移動部９０は、案内部９１に沿って移動可能に支持された可動ブロック９２と、可動ブロック９２に支持され、可動ブロック側とは逆側に突出する軸部材９３と、軸部材９３に対して回転可能に取り付けられた回転部材９５とを含む。
【選択図】図３

Description

本発明は、被搬送物を収容するカセットの搬送を行う搬送台車に関する。

従来より、半導体製造工場や液晶表示パネル製造工場等において、複数の被搬送物を収容するカセットを保管庫や製造装置等に搬入したり、或いはそのカセットを保管庫や製造装置等から搬出したりする搬送台車（「スタッカークレーン」とも称される）が知られている（例えば、特許文献１を参照）。

例えば、液晶表示パネル製造工場では、製造過程にある液晶ガラス基板は、カセットに収容された状態で、保管庫や製造装置に対して搬送される。このようなカセットに収容される液晶ガラス基板のサイズは、近年のテレビの大型化や生産性の向上を背景に大型化が著しい。そのため、かかる液晶ガラス基板を収容するカセットの重量は益々増加する傾向にある。こうした背景の下、搬送台車に対しては、重量増加傾向にあるカセットを被移載部に対して、適切に搬送するための対応が迫られている。

特開２００８−１００７７４号公報

本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、被搬送物の大型化に伴うカセットの重量の増加に対して、カセットを被移載部に対して適切に搬送することが可能な搬送台車を提供することを課題とする。

本発明の１つの観点では、軌道に沿って走行し、被搬送物を収容するカセットを搬送する搬送台車は、前記軌道の延在方向に距離をおいて配置された柱状の一対のフレームと、前記一対のフレームの各々に対応して設けられた一対の昇降機構と、前記一対の昇降機構に昇降可能に支持された架台と、前記架台に支持されると共に水平方向に伸縮可能に構成された複数のアームを有し、且つ前記複数のアームの伸縮により被移載部との間で前記カセットの移載を行うカセット移載機と、を備え、前記昇降機構は、前記フレームに沿って延びる案内部と、前記案内部に沿って移動可能に構成され、前記案内部の延在方向に間隔をおいて配置された一対の移動部と、を有し、前記移動部は、前記案内部に沿って移動可能に取り付けられた可動ブロックと、前記可動ブロックに取り付けられ、前記可動ブロック側とは逆側に突出する軸部材と、前記軸部材に対して回転可能に取り付けられた回転部材と、を有し、前記一対の移動部において、前記回転部材の各々は、連結部材を介して前記架台に取り付けられている。

上記の搬送台車によれば、カセットを被移載部へ移載するために、一対の移動部を案内部に沿って移動（昇降）させ、その後、複数のアームを伸張させた場合、複数のアームは、その伸張方向に湾曲し又は撓む。これにより、一対のフレームも複数のアームの伸張方向に湾曲し又は撓み、これに伴って一対の案内部も複数のアームの伸張方向に湾曲し又は撓む。

このとき、一対の移動部の各々において、連結部材を介して架台に取り付けられた一対の回転部材は、案内部の湾曲度合い又は撓み度合いに合わせて、軸部材を基点に回転又は旋回する。このため、可動ブロックには、案内部に対して回転させるような力、即ち曲げモーメントが発生し難くなる。よって、例えば可動ブロックに設けられる転動部材（ボールやローラなど）に対して、局部的な負荷（偏荷重）がかかるのを低減することができる。これにより、かかる転動部材の損傷を低減でき、その結果、一対の昇降機構の寿命が低下することを低減できる。

上記の搬送台車の一つの態様では、前記軸部材と前記回転部材との間には、環状又は筒状の形状を有するすべり軸受け部材が配置されている。この態様によれば、回転部材が軸部材を基点に回転する際に、軸部材と回転部材との間における摩擦を低減することができる。その結果、軸部材に対して回転部材を円滑に回転させることができる。

上記の搬送台車の他の態様では、前記回転部材と前記可動ブロックとの間には環状の形状を有するすべり部材が配置されている。この態様によれば、回転部材が軸部材を基点に回転する際に、可動ブロックと回転部材との間における摩擦を低減することができる。その結果、軸部材に対して回転部材を円滑に回転させることができる。

上記の搬送台車の他の態様では、前記回転部材の前記可動ブロック側とは逆側には、前記可動ブロックに取り付けられ、且つ前記可動ブロックからの前記回転部材の離脱を防止する蓋部材が配置されている。この態様によれば、回転部材が軸部材を基点に回転する場合などにおいて、回転部材が可動ブロックから離脱することを防止できる。

上記の搬送台車の他の態様では、前記回転部材と前記蓋部材との間には、環状の形状を有するすべり部材が配置されている。この態様によれば、回転部材が軸部材を基点に回転する際に、蓋部材と回転部材との間における摩擦を低減することができる。その結果、軸部材に対して回転部材を円滑に回転させることができる。

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。

[搬送システムの構成]
まず、図１乃至図３を参照して、本発明の実施形態に係る搬送台車を備える搬送システムの構成について説明する。

図１は、本実施形態の搬送台車６を備える搬送システム１００の平面構成を模式的に示す。なお、搬送システム１００において、搬送台車６は通常１つ設けられるが、図１では、搬送台車６の動作例を理解し易くするため、搬送台車６を複数図示することにしている。図２は、搬送台車６の外観構成を示す斜視図である。図３は、搬送台車６の一側面図を示す。

搬送システム１００は、半導体製造工場や液晶表示パネル製造工場等に設置され、搬送台車６を通じて、少なくとも１つの被搬送物１２を収容するカセット（収容体）１３を被移載部に搬入し、或いはその逆に、カセット１３を被移載部から搬出するシステムである。具体的に、搬送システム１００は、保管庫１と、製造装置３と、入出庫ポート４と、一対の軌道５と、搬送台車６と、を備える。ここで、保管庫１、製造装置３及び入手庫ポート４等は、上記の被移載部として機能する。

保管庫１は、カセット１３を一時的に保管又は収容するための棚２を備える。棚２は、保管庫１の高さ方向及び水平方向に複数並べられて配置されている。また、本例では、保管庫１は、軌道５の両側に夫々設けられている。

製造装置３は、カセット１３に収容された被搬送物１２に対し各種処理（洗浄、成膜、レジスト等の処理）を施し、或いは各種処理の施された被搬送物１２を用いて半導体や液晶表示パネル等の製造を行う。なお、本例では、製造装置３は、軌道５の両側に設けられた保管庫１に対応して夫々設けられている。

入出庫ポート４は、搬送台車６と製造装置３との間でカセット１３の受け渡しを行うための載置台であり、各製造装置３に対して複数設けられている。

一対の軌道５は、搬送台車６が走行するためのレールであり、相対向する保管庫１の間に位置する床の上に敷設されている。

搬送台車６は、一対の軌道５に沿って走行し、少なくとも１つの被搬送物１２を収容するカセット１３を保管庫１や製造装置３等に対して搬送する。具体的に、搬送台車６は、台車７と、一対のフレーム８と、一対の昇降機構９と、架台１０と、カセット移載機１１と、を備える。

台車７は、一対の軌道５に沿って走行可能に構成されている。例えば、台車７は、一対の軌道５上をその延在方向（矢印Ｙ１方向）に沿って走行する複数の車輪７ａと、各車輪７ａの走行を制御する走行制御部（図示略）と、を備える。

一対のフレーム８は、台車７から上方に向かって起立する柱状の筐体（コラム）であり、相互に軌道５の延在方向に距離又は間隔をおいて配置されている。なお、一対のフレーム８の下端部は、台車７上に固定されている。

一対の昇降機構９は、架台１０を各フレーム８の延在方向（矢印Ｙ２方向）に沿って昇降可能に構成され、一対のフレーム８の各々に対応して設けられている。なお、昇降機構９の構成については後述する。

架台１０は、一対のフレーム８及び一対の昇降機構９の間に設けられた載置台であり、連結部材（スライダー）１４を介して一対の昇降機構９に昇降可能に支持されている。

カセット移載機１１は、架台１０上に配置されており、水平方向（一対の軌道５の延在方向と交差する矢印Ｙ３方向）に対して伸縮可能に構成された複数のアーム１１ａと、複数のアーム１１ａのうち架台１０側とは逆側に配置されたアーム１１ａの先端部に支持され、カセット１３を載置するカセット載置部１１ｂと、を有する。カセット移載機１１は、複数のアーム１１ａの伸縮により保管庫１や製造装置３との間でカセット１３の移載を行う。

以上の構成を有する搬送システム１００では、搬送台車６は、図示しない製造プロセスに従って、一対の軌道５上を走行し、保管庫１や製造装置３等との間でカセット１３の受け渡しを行う。

（昇降機構の構成）
次に、図３、図４及び図５を参照して、搬送台車６の構成要素である一対の昇降機構９の構成について詳述する。

図４（ａ）は、図３の破線領域Ａ１に対応する、昇降機構９の構成を示す要部斜視図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）に対応する、昇降機構９の構成を示す要部分解斜視図である。図５は、昇降機構９の中心を通る中心軸Ｌ１に沿った断面図を示す。

一対の昇降機構９の各々は、案内部９１と、案内部９１の延在方向に距離又は間隔をおいて配置された一対の移動部９０と、を備える。

案内部９１は、一対のフレーム８の各々に沿って延びるレールである。

一対の移動部９０は、一定の距離又は間隔を保持した状態で案内部９１に沿って移動可能に構成されている。一対の移動部９０の各々は、可動ブロック９２と、軸部材９３と、すべり部材９４と、回転部材９５と、すべり軸受け部材９６と、すべり部材９７と、蓋部材９８と、を有する。

可動ブロック９２は、案内部９１に沿って移動可能に取り付けられており、図示しない駆動部（例えばサーボモータなど）により案内部９１を移動可能に構成される。例えば、可動ブロック９２には、図示を省略するが、案内部９１の溝に沿って転がる転動部材（ボールやローラなど）が設けられており、かかる転動部材の回転により可動ブロック９２が案内部９１に沿って移動することが可能となっている。このような装置としては、例えば、リニアガイド、ボールスプライン、リニアボールベアリング、ボールねじ等といった周知の直動装置が挙げられる。

軸部材９３は、板状の形状を有する本体９３ａと、円筒状の外周面を有すると共にコの字状の断面形状を有する突出部（軸部）９３ｂと、を有する。軸部材９３は、例えば可動ブロック９２に対して、図示しないねじ等を用いて取り付けられる。軸部９３ｂは、本体９３ａと一体に形成され、本体９３ａの中央部から可動ブロック９２側とは逆側に突出している。また、軸部９３ｂの内部には、ねじ３０と係合するねじ溝９３ｂａが設けられている。なお、本発明では、軸部９３ｂは、円筒状の形状に限らず、環状又は筒状の形状であってもよい。

すべり部材９４は、環状の形状を有し、すべり軸受け部材９６を介して軸部材９３の軸部９３ｂに嵌め込まれている。そして、すべり部材９４は、可動ブロック９２と回転部材９５との間に配置されている。すべり部材９４は、回転部材９５が軸部材９３の軸部９３ｂを基点として回転する際に、可動ブロック９２と回転部材９５との間における摩擦を低減する役割を有する。このため、すべり部材９４は、磨耗し難く、且つ摩擦係数の小さい素材にて形成されていることが好ましい。

回転部材９５は、板状の形状を有する本体９５ａと、環状の形状を有する環状部９５ｂと、を有する。本体９５ａは、すべり軸受け部材９６の外径より大きな内径を有する開口と、ねじ溝９５ａａと、を有する。本例では、ねじ溝９５ａａは、本体９５ａの四隅の各々に対応する位置に設けられている。例えば複数のねじ３０が、架台１０に取り付けられた連結部材１４（図３を参照）を介してねじ溝９５ａａに係合することにより、回転部材９５が連結部材１４に連結され又は取り付けられる。環状部９５ｂは、本体９５ａと一体に形成され、すべり軸受け部材９６の外径より大きな内径を有する。

すべり軸受け部材９６は、円筒状（或いは筒状又は環状）の形状を有し、回転部材９５の内周面と、軸部材９３の軸部９３ｂの外周面との間に配置されている。すべり軸受け部材９６は、回転部材９５が軸部材９３の軸部９３ｂを基点に回転する際に、回転部材９５と軸部材９３の軸部９３ｂとの間における摩擦を低減する役割を有する。このため、すべり軸受け部材９６は、磨耗し難く、且つ摩擦係数の小さい素材にて形成されていることが好ましい。

すべり部材９７は、環状の形状を有し、すべり軸受け部材９６を介して軸部材９３の軸部９３ｂに嵌め込まれている。そして、すべり部材９７は、蓋部材９８と回転部材９５との間に配置されている。すべり部材９７は、回転部材９５が軸部材９３の軸部９３ｂを基点に回転する際に、蓋部材９８と回転部材９５との間における摩擦を低減する役割を有する。このため、すべり部材９７は、すべり軸受け部材９６と同様の素材にて形成されていることが好ましい。

蓋部材９８は、板状又は円板状の形状を有すると共に、複数のねじ３０と係合する複数のねじ溝９８ａを有する。蓋部材９８は、回転部材９５の可動ブロック９２側とは逆側に配置されている。そして、蓋部材９８は、すべり部材９７、すべり軸受け部材９６、回転部材９５、すべり部材９４を介して、さらに複数のねじ３０により軸部材９３のねじ溝９３ｂａと係合された状態で、軸部材９３に取り付けられている。このため、蓋部材９８は、軸部材９３及び可動ブロック９２に固定されている。これにより、蓋部材９８は、軸部材９３及び可動ブロック９２から、すべり部材９７、すべり軸受け部材９６、回転部材９５、すべり部材９４が離脱するのを防止する役割を果たす。

こうした構成を有する一対の移動部９０では、図４（ａ）及び図５の矢印Ｙ４方向に示すように、回転部材９５が、すべり軸受け部材９６、すべり部材９７、９４を介して、軸部材９３の軸部９３ｂを基点に、且つ各移動部９０の中心軸Ｌ１を中心に回転可能に構成されている。

次に、比較例に係る搬送台車と比較した、本実施形態に係る搬送台車６の有利な点について説明する。

まず、図６を参照して、比較例に係る搬送台車６ｘの構成について説明する。

図６（ａ）は、図３の矢印Ｙ５方向から見た搬送台車６ｘの要部側面図であり、特に昇降機構９ｘの構成を示す。図６（ｂ）は、図６（ａ）に対応する昇降機構９ｘの構成図であり、特にカセット１３を被移載部へ移載する際の昇降機構９ｘの動作例を示す。なお、図６（ａ）及び（ｂ）において、一点鎖線にて示す直線Ｌ２は、フレーム８及び案内部９１の幅方向の中心を通る中心線を示している。

比較例に係る搬送台車６ｘは、本実施形態に係る搬送台車６と比較すると、一対の昇降機構における一対の移動部の構成が異なり、それ以外は同様である。よって、以下では、本実施形態と同一の要素については同一の符号を付し、その説明は適宜省略する。

比較例に係る搬送台車６ｘでは、一対の昇降機構９ｘの各々は、案内部９１と、案内部９１の延在方向に一定の距離を置いて配置された一対の可動ブロック９２と、を備えて構成される。一対の昇降機構９ｘの各々において、各可動ブロック９２は、相互に一定の距離を保持した状態で架台１０に取り付けられた連結部材１４に固定されている。ここで、各可動ブロック９２は、連結部材１４に対して回転不能に取り付けられている。

以上の構成を有する比較例に係る搬送台車６ｘでは、カセット１３を図示しない被移載部へ移載するために、一対の昇降機構９を次のように動作させる。

まず、図６（ａ）の矢印Ｙ２１方向に示すように各アーム１１ａを縮めた状態で一対の可動ブロック９２等を案内部９１に沿って上昇させる。次に、図６（ｂ）の矢印Ｙ３１方向に示すように、カセット１３を被移載部へ移載するために複数のアーム１１ａを伸張させる。これにより、カセット移載機１１には、架台１０と各フレーム８との接続部分を基点にして、時計回りに回転させるような力が作用する。言い換えれば、カセット移載機１１には、同図の斜め矢印Ｙ２２方向に示すように、工場の床面に対して斜め方向に向かう力が作用する。これは、複数のアーム１１ａの先端側に対して、複数のアーム１１ａの自重及びカセット１３の重さに夫々相当する分の荷重がかかっている為である。これにより、同図の一点鎖線の位置にある一対のフレーム８は、同図の実線の位置に示すように、複数のアーム１１ａの伸張方向である矢印Ｙ３１方向に湾曲し又は撓む。また、各案内部９１は、各フレーム８と一体となるように固定されているので、各案内部９１も各フレーム８の湾曲形状に合わせて湾曲し又は撓む。

ここで、カセット１３に収容される被搬送物の一例としての液晶ガラス基板などのサイズは、近年のテレビ等の大型化や生産性の向上を背景に大型化が著しい。そのため、被搬送物と、それを収容するカセットの総重量も大きくなる傾向にある。また、搬送台車６ｘの走行中に、一対のフレーム８の幅（アーム１１ａの伸縮方向に対応する長さ）が大きいとその周囲の空気を掻き乱して粉塵等を飛散させ、これによって工場内のクリーン度を低下させてしまう。このため、一対のフレーム８の幅は、できる限り小さくなるように設計される。このため、一対の案内部９１の強度は低くなる傾向にある。

こういった様々な事情を背景に、一対の案内部９１は、カセット１３を被移載部へ移載する場合に、より撓み易くなる。

そして、このとき、一対の可動ブロック９２には、複数のアーム１１ａからの荷重Ｐｔｒと、それに対向する案内部９２からの反力Ｐｔａとが作用する。つまり、一対の可動ブロック９２に対しては、それを回転させようとする曲げモーメントＭ_Ｂが作用する。これによって、一対の可動ブロック９２も、一対の案内部９１及び一対のフレーム８の湾曲形状に沿うように曲がる。このため、比較例では、一対の可動ブロック９２の転動部材に対して局部的な負荷（偏荷重）がかかり、一対の昇降機構９ｘの寿命が著しく低下してしまうといった課題がある。

この点、本実施形態に係る搬送台車６では、一対の昇降機構９の各々は、フレーム８に沿って延びる案内部９１と、案内部９１に沿って移動可能（昇降可能）に構成され、案内部９１の延在方向に間隔をおいて配置された一対の移動部９０と、を有し、一対の移動部９０の各々は、案内部９１に沿って移動可能（昇降可能）に取り付けられた可動ブロック９２と、可動ブロック９２に取り付けられ、可動ブロック９２側とは逆側に突出する軸部９３ｂを有する軸部材９３と、軸部９３ｂを基点に回転可能に取り付けられた回転部材９５と、を有し、一対の移動部９５において、各回転部材９５は、連結部材１４を介して架台１０に取り付けられている。

このような構成により、本実施形態に係る搬送台車６では、カセット１３を被移載部へ移載する際に、一対の昇降機構９を次のように動作させることができ、比較例に係る搬送台車６ｘと比較して、次のような有利な作用効果が得られる。

この点について、以下、図７及び図８を参照して説明する。図７（ａ）は、図３の矢印Ｙ５方向から見た搬送台車６の要部側面図であり、特に昇降機構９の構成を示す。図７（ｂ）は、図７（ａ）に対応する昇降機構９の構成図であり、特にカセット１３を被移載部へ移載する際の昇降機構９の動作例を示す。なお、図７（ａ）及び（ｂ）において、一点鎖線にて示す直線Ｌ２は、フレーム８及び案内部９１の幅方向の中心を通る中心線を示している。図８は、図７（ｂ）の昇降機構９を拡大した概略構成図を示す。なお、図８では、説明に必要な最小限の要素のみ図示している。

本実施形態では、まず、図７（ａ）の矢印Ｙ２１方向に示すように、各アーム１１ａを縮めた状態で一対の可動ブロック９２等を案内部９１に沿って上昇させる。このとき、各フレーム８に対する各アーム１１ａの配置位置は、カセット移載機１１の重心（図示略）が各フレーム８の中心線Ｌ２に沿って移動可能な位置とされる。

次に、図７（ｂ）の矢印Ｙ３１方向に示すように、カセット１３を被移載部へ移載するために複数のアーム１１ａを伸張させる。これにより、カセット移載機１１には、同図の斜め矢印Ｙ２２方向に示すように、工場の床面に対して斜め方向に向かう力が作用する。
また、これにより、一対の昇降機構９の各々において、一方の可動ブロック９２及び他方の可動ブロック９２には、図７（ｂ）のハッチング矢印に示すように、中心線Ｌ２と略直交する方向であって、且つ相反する方向に力（以下、「横荷重」と称す）が作用する。このため、一対のフレーム８は、その横荷重を受けて複数のアーム１１ａの伸張方向である矢印Ｙ３１方向に湾曲し又は撓み、これに伴って一対の案内部９１も矢印Ｙ３１方向に湾曲し又は撓む。

そのため、直線Ｌ３と直線Ｌ４との間における、一対の案内部９１の長さｄ２は、図７及び図８に示すように、一対の可動ブロック９２の間の長さｄ１より大きくなる。ここで、長さｄ１は、一方の可動ブロック９２の中心Ｏと、他方の可動ブロック９２の中心Ｏ’とを結ぶ長さである。

このとき、一対の移動部９０の各々における一対の回転部材９５は、それぞれ、図８の矢印Ｙ１０、矢印Ｙ１１に示すように、案内部９１の湾曲度合い又は撓み度合いに合わせて、電車のボギー機構のように軸部材９３の軸部９３ｂを基点に回転又は旋回する。これにより、一方の回転部材９５は直線Ｌ３に対して角度αだけ傾くと共に、他方の回転部材９５は直線Ｌ４に対して角度βだけ傾く。ここで、直線Ｌ３は、一方の可動ブロック９２の中心Ｏを通り、案内部９１に直交する直線であり、直線Ｌ４は、他方の可動ブロック９２の中心Ｏ’を通り、直線Ｌ３に平行な直線である。

こうした一対の回転部材９５の回転動作により、各可動ブロック９２には、案内部９１に対して回転させるような力、即ち曲げモーメントが発生し難くなる。よって、各可動ブロック９２の転動部材に対して、局部的な負荷（偏荷重）がかかるのを抑制することができる。これにより、転動部材の損傷を抑制でき、その結果、一対の昇降機構９の寿命が低下することを低減できる。

また、本実施形態に係る搬送台車６では、回転部材９５の内周部と、軸部材９３の軸部９３ｂ、すべり部材９４、９７の各外周面との間には、環状又は筒状の形状を有するすべり軸受け部材９６が配置されている。これによれば、回転部材９５が軸部材９３の軸部９３ｂを基点に回転する際に、軸部材９３の軸部９３ｂと回転部材９５との間における摩擦を低減することができる。その結果、軸部材９３の軸部９３ｂに対して回転部材９５を円滑に回転させることができる。

また、本実施形態に係る搬送台車６では、回転部材９５と可動ブロック９２との間には環状の形状を有するすべり部材９４が配置されている。これによれば、回転部材９５が軸部材９３の軸部９３ｂを基点に回転する際に、可動ブロック９２と回転部材９５との間における摩擦を低減することができる。その結果、軸部材９３の軸部９３ｂに対して回転部材９５を円滑に回転させることができる。

また、本実施形態に係る搬送台車６では、回転部材９５と蓋部材９８との間には環状の形状を有するすべり部材９７が配置されている。これによれば、回転部材９５が軸部材９３の軸部９３ｂを基点に回転する際に、蓋部材９８と回転部材９５との間における摩擦を低減することができる。その結果、軸部材９３の軸部９３ｂに対して回転部材９５を円滑に回転させることができる。

本発明の実施形態に係る搬送台車を含む搬送システムの構成例を示す平面図。 本実施形態に係る搬送台車の構成を示す斜視図。 本実施形態に係る搬送台車の構成を示す側面図。 搬送台車を構成する昇降機構の構成を示す要部斜視図及び要部分解斜視図。 昇降機構の中心を通る中心軸に沿った要部断面図。 比較例に係る昇降機構の動作例を示す各側面図。 本実施形態に係る昇降機構の動作例を示す各側面図。 図７（ｂ）の昇降機構を拡大した概略構成図。

符号の説明

１ 保管庫、 ２ 棚、 ３ 製造装置、 ４ 入出庫ポート、 ５ 軌道、 ６ 搬送台車、 ７ 台車、 ８ フレーム、 ９ 昇降機構、 １０ 架台、 １１ カセット移載機、 １２ 被搬送物、 １３ カセット、 １４ 連結部材、 ９１ 案内部、 ９２ 可動ブロック、 ９３ 軸部材、 ９３ｂ 軸部、 ９４、９７ すべり部材、 ９５ 回転部材、 ９６ すべり軸受け部材、 ９８ 蓋部材、 １００ 搬送システム

Claims (5)

1. 軌道に沿って走行し、被搬送物を収容するカセットを搬送する搬送台車を備え、
   前記搬送台車は、前記軌道の延在方向に距離をおいて配置された柱状の一対のフレームと、前記一対のフレームの各々に対応して設けられた一対の昇降機構と、前記一対の昇降機構に昇降可能に支持された架台と、前記架台に支持されると共に水平方向に伸縮可能に構成された複数のアームを有し、且つ前記複数のアームの伸縮により被移載部との間で前記カセットの移載を行うカセット移載機と、を備え、
   前記昇降機構は、前記フレームに沿って延びる案内部と、前記案内部に沿って移動可能に構成され、前記案内部の延在方向に間隔をおいて配置された一対の移動部と、を有し、
   前記移動部は、前記案内部に沿って移動可能に取り付けられた可動ブロックと、前記可動ブロックに取り付けられ、前記可動ブロック側とは逆側に突出する軸部材と、前記軸部材に対して回転可能に取り付けられた回転部材と、を有し、
   前記一対の移動部において、前記回転部材の各々は、連結部材を介して前記架台に取り付けられていることを特徴とする搬送台車。
2. 前記軸部材と前記回転部材との間には、環状又は筒状の形状を有するすべり軸受け部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。
3. 前記回転部材と前記可動ブロックとの間には、環状の形状を有するすべり部材が配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送台車。
4. 前記回転部材の前記可動ブロック側とは逆側には、前記可動ブロックに取り付けられ、且つ前記可動ブロックからの前記回転部材の離脱を防止する蓋部材が配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送台車。
5. 前記回転部材と前記蓋部材との間には、環状の形状を有するすべり部材が配置されていることを特徴とする請求項４に記載の搬送台車。

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