JP2010149258A - スロットノズルの研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スロットノズルの研磨方法において、少なくとも二つのブロック(3,5)を重ね合わせて形成されたスリット(8)から流体を吐出させるスロットノズル(1)のリップ部(3a,5a)を研削装置(9)で研削し、室温における該リップ部(3a,5a)の長手方向の1メートル当りの真直度を200μm以内にする第一工程と、その後、別に用意した真円度3μm以内であって該スロットノズル(1)の長さ(L1)より長い面長(L2)をもつロール(11)であって、その外周面(11a)上に研磨手段(13)を設けた該ロールを回転手段で回転させる第二工程と、回転する該ロール(11)を該スロットノズル(1)の該リップ部(3a,5a)に押し当てて該リップ部(3a,5a)を研磨する第三工程とを備えた。
【選択図】図2
Description
また、ノズル先端面をカップ型砥石で研削する方法がある(例えば、特許文献2参照。)。
また、ダイヘッドのリップ部の表面をELID研削加工にて研磨する方法がある(例えば、特許文献3参照。)。
また、研磨ローラーとして、円筒形支持体の外周面上に研磨材の帯状不織布を螺旋状に巻き付けた研磨ローラーがある(例えば、特許文献4参照。)。
バックロール101は、矢印Aで示す方向に回転する。ウエブ103は、バックロール101上に巻き付いて、矢印Bで示す方向に搬送される。スロットノズル105は、バックロール101との間にわずかな隙間Gを空けて配置されている。スロットノズル105から吐出される流体は、ウエブ103上に塗布される。
ウエブ103上に流体を均一の厚さで塗布するためには、スロットノズル105とバックロール101との間の隙間Gが、一定であることが望ましい。このため、バックロール101は、真円度及び円筒度がともに良いことが望ましい。しかし、バックロール101は、真円度を良くすることは容易であるが、円筒度を良くすることは困難である。バックロール101の円筒度が悪い場合に、スロットノズル105の真直度を良くしても、バックロール101の表面のばらつきのために、ウエブ103上に塗布される流体の厚さがばらついてしまう。
スロットノズルから塗布される流体は、室温から200℃の範囲で所定の温度に加熱されることがある。スロットノズルも、所定の温度にまで加熱される。温度が上がるとスロットノズルは、たわむ。例えば、室温で1マイクロメートルの真直度を有する長さ250mmのスロットノズルを100℃まで加熱すると、温度上昇によるスロットノズルの変形により、真直度は5マイクロメートルにまで悪化することがある。
従来は、二部品からなるスロットノズルを研磨する際に、一部品づつ研磨していた。このため、二部品を組み合わせたときに、スロットノズルのリップ部に段差が生じることがあった。このリップ部の段差は、流体の均一塗布に悪影響を与えることがある。
すなわち、スロットノズルの研磨方法において、
少なくとも二つのブロック(3,5)を重ね合わせて形成されたスリット(8)から流体を吐出させるスロットノズル(1)のリップ部(3a,5a)を研削装置(9)で研削し、室温における該リップ部(3a,5a)の長手方向の1メートル当りの真直度を200μm以内にする第一工程と、
その後、別に用意した真円度3μm以内であって該スロットノズル(1)の長さ(L1)より長い面長(L2)をもつロール(11)であって、その外周面(11a)上に研磨手段(13)を設けた該ロールを回転手段で回転させる第二工程と、
回転する該ロール(11)を該スロットノズル(1)の該リップ部(3a,5a)に押し当てて該リップ部(3a,5a)を研磨する第三工程とを備えた。
二つのブロック(3,5)の間にシムプレート(7)を挟んで組み立てた状態でスロットノズルを研磨してもよい。
また、本発明の一実施例によれば、スロットノズルを使用温度に温調して研磨することができるので、温度によるスロットノズルの変形の影響が少ないスロットノズルの研磨方法を提供することができる。
また、本発明の一実施例によれば、バックロールを研磨ロールとして使用することができるので、バックロールの円筒度が低い場合であっても、スロットノズルとバックロールとの間のギャップがスロットノズルの全幅にわたってほぼ一定になるようにすることができる。
また、本発明の一実施例によれば、2マイクロメートル以下の真直度を備えた長さ1メートルのスロットノズルを製造することができる。
また、本発明の一実施例によれば、従来の方法の5分の1から10分の1の費用でスロットノズルを研磨することができる。
スロットノズル1は、上流側ノズルブロック3と、下流側ノズルブロック5と、上流側ノズルブロック3と下流側ノズルブロック5との間に挟まれたシムプレート7とからなる。スロットノズル1は、長手方向の長さL1(図2参照)が1メートルである。上流側ノズルブロック3、下流側ノズルブロック5、及びシムプレート7により、流体を吐出するためのスリット8を画成する。
ロール11は、真円度が3マイクロメートル以内であって、スロットノズル1の長さL1よりも長いロール面長L2を有する。ロール11の外周面11aには、研磨手段としての研磨テープ13が螺旋状に巻きつけられている。ロール11は、回転手段(不図示)により矢印Bで示す方向に回転させられる(第二工程)。スロットノズル1は、砥石車9によりリップ部3a、5aの長手方向の真直度を室温で200マイクロメートル以内に加工したものである。回転するロール11をスロットノズル1のリップ部3a、5aに押し当ててリップ部3a、5aを研磨する(第三工程)。
よい。
上記実施例を参照して、本発明を説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではない。
熱媒が熱風の場合は、軸受け部を暖めないように、ロールを囲んで熱風の通路を作り熱風が軸受け部にかからないようにするとよい。
3 上流側ノズルブロック
3a リップ部
5 下流側ノズルブロック
5a リップ部
7 シムプレート
8 スリット
9 砥石車
11 ロール
11a 外周面
13 研磨テープ
15 導管
17 導管
19 プラスティックフィルム
21 砥粒
23 アンカー材
101 バックロール
103 ウエブ
105 スロットノズル
L1 スロットノズルの長さ
L2 ロール面長
L3 研磨テープが巻きつけられている部分の長さ
T1 研磨テープの厚さ
T2 基材の厚さ
Claims (11)
- 少なくとも二つのブロックを重ね合わせて形成されたスリットから流体を吐出させるスロットノズルのリップ部を研削装置で研削し、室温における該リップ部の長手方向の1メートル当りの真直度を200μm以内にする第一工程と、
その後、別に用意した真円度3μm以内であって該スロットノズルの長さより長い面長をもつロールであって、その外周面上に研磨手段を設けた該ロールを回転手段で回転させる第二工程と、
回転する該ロールを該スロットノズルの該リップ部に押し当てて該リップ部を研磨する第三工程とを備えることを特徴とする研磨方法。 - 該研磨手段の長さは、該スロットノズルの長さより長いことを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
- 該ロールの直径は、100mm乃至360mmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨方法。
- 前記第三工程は、該スロットノズルを加熱手段または冷却手段で使用温度に温調し、該スロットノズルの該リップ部を研磨する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至3に記載の研磨方法。
- 該ロールを加熱または冷却することを特徴とする請求項4に記載の研磨方法。
- 該ロールと該スロットノズルとの温度差が20℃以内であることを特徴とする請求項5に記載の研磨方法。
- 該研磨手段は、該ロールに螺旋に巻きつけられた研磨テープであり、
前記第三工程は、該研磨テープが螺旋に巻きつけられた該ロールを回転させながら該リップ部を研磨する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至6に記載の研磨方法。 - 前記第三工程は、最初に、粗い砥粒の研磨テープで該リップ部を研磨する工程と、その後に、細かい砥粒の研磨テープで該リップ部を仕上げる工程とを含むことを特徴とする請求項1乃至7に記載の研磨方法。
- 該研磨手段は研磨テープであり、該研磨テープの基材はプラスティックフィルムであり、該研磨テープの厚さのばらつきは該基材の厚さの1%以内であることを特徴とする請求項1乃至8に記載の研磨方法。
- 前記第三工程において、該リップ部の該長手方向の該真直度を5μm以内にすることを特徴とする請求項1乃至9に記載の研磨方法。
- 該スロットノズルから吐出される該流体は、液体又は溶融体であって、該ロールは、バックロールであることを特徴とする請求項1乃至10に記載の研磨方法。
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