TWI515080B - 槽孔噴嘴之研磨方法 - Google Patents
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Description
本發明係關於一種槽孔噴嘴之研磨方法。
先前,作為槽孔噴嘴之研磨方法,有藉由使用剖面圓弧狀之砥石,對上游側噴嘴塊之前端與下游側噴嘴塊之前端同時加工,使邊緣筆直性保持在1μm以內者(例如,參照專利文獻1)。
又,有以杯型砥石研削噴嘴尖端面之方法(例如,參照專利文獻2)。
又,有以ELID研削加工而研磨模頭之唇部之表面之方法(例如,參照專利文獻3)。
又,作為研磨輥,有於圓筒形支持體之外周面上以螺旋狀纏繞帶狀不織布者(例如,參照專利文獻4)。
[專利文獻1]日本特開平9-192569號公報(尤其參照實施形態7~實施形態9(段落[0092]~段落[0107]),圖17~圖21、圖25及圖27)
[專利文獻2]日本特開平3-86450號公報
[專利文獻3]日本特開2004-351349號公報
[專利文獻4]日本特開平9-187409號公報
先前,槽孔噴嘴之唇部之研磨,首先,將研削槽孔噴嘴之基部作為基準面,基於該基準面進行研磨以使唇部成為筆直。但,要進行高精度研磨,其加工費用極其昂貴。因此,通常多以犧牲某種程度的精度而以合理費用研磨槽孔噴嘴。
圖4係表示對行進於後輥上之網狀物塗佈流體之槽孔噴嘴之圖。
後輥101向箭頭A所示之方向旋轉。網狀物103纏繞於後輥101上,向箭頭B所示之方向運送。槽孔噴嘴105以與後輥101之間空出些微縫隙G之方式配置。從槽孔噴嘴105噴出之流體被塗佈於網狀物103上。
為於網狀物103上以均勻的厚度塗佈流體,槽孔噴嘴105與後輥101之間之縫隙G宜為一定。因此,後輥101宜為真圓度及圓筒度均佳者。但,後輥101雖易達到真圓度,但要達到圓筒度則有困難。若後輥101之圓筒度差,即使槽孔噴嘴105之筆直度佳,仍會因後輥101之表面之不均勻,使得塗佈於網狀物103上之流體之厚度不均勻。
因此,本發明之目的在於,即使在後輥之圓筒度低之情形下,亦可使槽孔噴嘴與後輥之間之間隙遍及槽孔噴嘴之全寬而大致為一定。
從槽孔噴嘴所塗佈之流體,會在從室溫至200℃之範圍內被加熱至特定溫度。槽孔噴嘴亦會被加熱至特定溫度。溫度一旦上昇則槽孔噴嘴彎曲。例如,若將在室溫下具有1微米之筆直度之長250mm之槽孔噴嘴加熱至100℃,則因溫度上昇所致之槽孔噴嘴之變形,會造成筆直度惡化至5微米。
因此,本發明之目的在於提供一種溫度對於槽孔噴嘴變形的影響少之槽孔噴嘴之研磨方法。
先前,在研磨包含兩個構件之槽孔噴嘴時,係逐一研磨各個構件。因此,組裝兩個構件時,會在槽孔噴嘴之唇部產生階差。該唇部之階差會對流體之均勻塗佈帶來不良影響。
因此,本發明之目的在於提供一種噴嘴組裝誤差之影響少之槽孔噴嘴之研磨方法。
為解決前述問題,本發明採用如下所述之研磨方法。
即,於槽孔噴嘴之研磨方法中,具備:第一步驟,其係以研削裝置(9)研削使流體從重疊至少兩個塊體(3、5)而形成之狹縫(8)噴出之槽孔噴嘴(1)之唇部(3a、5a),使室溫下之該唇部(3a、5a)之長度方向之每1米之筆直度在200μm以內;第二步驟,其係於第一步驟之後,以旋轉機構使輥(11)旋轉,該輥係另行準備之真圓度在3μm以內並具有比該槽孔噴嘴(1)之長度(L1)為長之面長(L2),且於其外周面(11a)上設有研磨機構(13)者;第三步驟,將旋轉之該輥(11)推抵於該槽孔噴嘴(1)之該唇部(3a、5a)而研磨該唇部(3a、5a)。
可於重疊至少兩個塊體(3、5)之狀態下研磨槽孔噴嘴(1)之唇部(3a、5a)。
亦可在於兩個塊體(3、5)之間夾持填隙片(7)而經組裝之狀態下研磨槽孔噴嘴。
該研磨機構之長度(L3)可比該槽孔噴嘴之長度(L1)為長。
該輥(11)之直徑(D)可為100mm至360mm。
前述第三步驟可包含以加熱機構(15)或冷卻機構(15)將該槽孔噴嘴(1)調溫至使用溫度,而研磨該槽孔噴嘴(1)之該唇部(3a、5a)之步驟。
亦可將該輥(11)加熱或冷卻。
可將該輥(11)與該槽孔噴嘴(1)之溫度差設定為20℃以內。
該研磨機構係螺旋纏繞於該輥(11)之研磨帶(13),前述第三步驟可包含使螺旋纏繞著該研磨帶(13)之該輥(11)一面旋轉一面研磨該唇部(3a、5a)之步驟。
前述第三步驟可包含最初以粗砥粒之研磨帶研磨該唇部(3a、5a)之步驟,及其後以細砥粒之研磨帶精加工該唇部(3a、5a)之步驟。
該研磨機構係研磨帶(13),該研磨帶(13)之基材係塑料膜(19),該研磨帶(13)之厚度(T1)之差異可為該基材(19)之厚度(T2)之1%以內。
於前述第三步驟中,可使該唇部(3a,5a)之該長度方向之該筆直度設在5μm以內。
從該槽孔噴嘴(1)噴出之該流體可為液體或熔融體,該輥(11)可為後輥。
該輥(11)宜為其每1米長之圓筒度於常溫下為5微米以下。又,該輥(11)更佳為真圓度在2微米以內,且圓筒度在2微米以內。
該輥(11)雖宜為與該槽孔噴嘴(1)成對使用之後輥,但並非局限於此。
根據本發明之一實施例,因可於已組裝槽孔噴嘴之狀態下進行研磨,故可提供噴嘴組裝誤差之影響少之槽孔噴嘴之研磨方法。
又,根據本發明之一實施例,因可將槽孔噴嘴調溫至使用溫度而進行研磨,故可提供溫度對於槽孔噴嘴變形之影響少之槽孔噴嘴之研磨方法。
又,根據本發明之一實施例,因可將後輥作為研磨輥使用,故即使在後輥之圓筒度低之情形下,亦可使槽孔噴嘴與後輥之間之間隙遍及槽孔噴嘴之全寬而為大致一定。
又,根據本發明之一實施例,可製造具備2微米以下之筆直度之長1米之槽孔噴嘴。
又,根據本發明之一實施例,可以先前方法之5分之1至10分之1之費用研磨槽孔噴嘴。
以下,對本發明基於較好之實施形態參照圖式進行說明。惟以下之實施形態所記載之構成組件之尺寸、材質、形狀、其相對配置等,只要無特別特定之記載,即非將本發明之範圍局限於該等者。
圖1係表示藉由研削裝置(未圖示)之砥石車予以研削之槽孔噴嘴之唇部之圖。
槽孔噴嘴1包含:上游側噴嘴塊3、下游側噴嘴塊5、夾持於上游側噴嘴塊3與下游側噴嘴塊5之間之填隙片7。槽孔噴嘴1其長度方向之長度L1(參照圖2)為1米。藉由上游側噴嘴塊3、下游側噴嘴塊5及填隙片7,定義用於噴出流體之狹縫8。
在組合上游側噴嘴塊3、下游側噴嘴塊5及填隙片7之狀態下,使旋轉之砥石車9與上游側噴嘴塊3之唇部3a及下游側噴嘴塊5之唇部5a接觸。藉由使砥石車9向箭頭A所示之方向移動而研削唇部3a、5a,使唇部3a、5a之長度方向之筆直度於室溫下成為200微米以內(第一步驟)。
圖2係表示藉由輥11予以研磨之槽孔噴嘴1之圖。
輥11其真圓度為3微米以內,具有比槽孔噴嘴1之長L1更長之輥面長L2。於輥11之外周面11a,以螺旋狀纏繞著作為研磨機構之研磨帶13。輥11藉由旋轉機構(未圖示)向箭頭B所示之方向旋轉(第二步驟)。槽孔噴嘴1係藉由砥石車9將唇部3a、5a之長度方向之筆直度在室溫下加工至200微米以內者。將旋轉之輥11推抵於槽孔噴嘴1之唇部3a、5a以研磨唇部3a、5a(第三步驟)。
以輥11研磨唇部3a、5a,直到槽孔噴嘴1之唇部3a、5a之長度方向之筆直度達到5微米以內即可。
亦可於藉由輥11研磨唇部3a、5a之步驟(第三步驟),最初,以粗砥粒之研磨帶研磨槽孔噴嘴1之唇部3a、5a,之後,將粗砥粒之研磨帶更換為細砥粒之研磨帶,以細砥粒之研磨帶對槽孔噴嘴1之唇部3a、5a精加工。例如,亦可最初以支數(#)為320目或320目以下之粗粒度(砥粒)之研磨帶研磨,之後以400目或400目以上之細粒度之研磨帶精加工。又,更好地為,亦可最初以320目或320目以下之粗粒度之研磨帶研磨,再以400~600目之細粒度之研磨帶進行中間研磨,然後以1000目或1000目以上之更細粒度之研磨帶精加工研磨。若還希望進行鏡面拋光,亦可在前述最終精加工研磨之外再使用2000目之更細粒度之研磨帶研磨。如此,從粗砥粒至細砥粒之研磨帶、階段性使用而修復表面傷痕,最終可得到良好之精加工研磨面,且可縮短整體研磨時間而快速進行研磨。又,該支數之數值(目數)本來表示每1英吋(25.4mm)平方之篩目之數,為砥粒(研磨材)之粒度大小之單位,越是粗大之砥粒其數值越小,越是細小之砥粒其數值越大。作為研磨帶之種類,可使用例如三共理化學株式會社製之鏡膜(Mirror Film,商品名)系列等。
輥11之外周面11a上纏繞著研磨帶13的部分之長度L3比槽孔噴嘴1之長度L1長。
圖3係研磨帶13之剖面圖。研磨帶13之基材係塑料膜19。將砥粒21藉由錨材23固著於塑料膜19之表面。研磨帶13之厚度T1之差異為作為基材之塑料膜19之厚度T2之1%以內。
一般而言,要提高普通研磨輥之真圓度並不容易。與之相對,本實施例中,乃使用將研磨帶纏繞於輥者作為研磨輥。輥一般可高精度製成。又,研磨帶之厚度之差異,因主要係從研磨帶之錨材鼓出之砥粒之高度之不均勻,故研磨帶之厚度之不均勻在±1微米左右之範圍內。將研磨帶螺旋狀纏繞於輥,並抵於槽孔噴嘴時,研磨帶之表面之凸部會被往下壓,使研磨帶之表面變得更平坦。藉此,本實施例之研磨輥與普通之研磨輥相比,可提高真圓度。
研磨帶可用粘著帶或條帶使兩端緊固於輥上。
回到圖2,輥11之直徑D可為100mm至360mm。
於槽孔噴嘴1連接著用於使加熱媒體或冷卻媒體向槽孔噴嘴1循環之導管15。以輥11研磨槽孔噴嘴1之唇部3a、5a時,藉由導管15使加熱媒體或冷卻媒體向槽孔噴嘴1循環,藉此將槽孔噴嘴1之溫度調整至使用溫度。使用溫度係從槽孔噴嘴1之狹縫8對被塗物時噴出流體之槽孔噴嘴1之溫度。
於輥11上連接著用以使加熱媒體或冷卻媒體向輥11循環之導管17。以輥11研磨槽孔噴嘴1之唇部3a、5a時,藉由導管17使加熱媒體或冷卻媒體向輥11循環,藉此調整輥11之溫度。研磨時,可使輥11之溫度與槽孔噴嘴1之溫度相同。輥11之溫度亦可為與槽孔噴嘴1之使用溫度之差相同或較其低20℃左右。即,研磨時,輥11與槽孔噴嘴1之溫度差在0℃~20℃之範圍內即可。
從槽孔噴嘴1噴出之流體係液體或熔融體。
輥11可為與槽孔噴嘴1成對使用之後輥。將後輥作為研磨輥之情形,只要後輥之真圓度好,即使圓筒度差一點亦問題不大。因槽孔噴嘴被研磨成與後輥成互補形狀,故可使槽孔噴嘴與後輥之間之縫隙G保持一定之緣故。
以上參照前述實施例對本發明進行了說明,但本發明並非局限於前述實施例者。
本發明之研磨機構並非局限於研磨帶,既可為在輥上塗有研磨材者,亦可為於輥與槽孔噴嘴之間供給研磨材之構成。研磨材亦無必要以螺旋狀纏繞於輥。
輥之加熱亦可使用熱風。
熱媒為熱風之情形時,為不使軸承部受熱,亦可包圍輥形成熱風之通路以使熱風不吹到軸承部。
本發明並非局限於前述實施形態者,在不脫離其特徵事項之情形下,可以其他各種各樣之形態實施。因此,前述實施形態僅為例示,不能作為限定性解釋。本發明之範圍係以申請專利範圍表示者,不受說明書內文之任何限制。此外,凡屬於申請專利範圍之均等範圍之變形或變更,均在本發明之範圍內。
1...槽孔噴嘴
3...上游側噴嘴塊
3a...唇部
5...下游側噴嘴塊
5a...唇部
7...填隙片
8...狹縫
9...砥石車
11...輥
11a...外周面
13...研磨帶
15...導管
17...導管
19...塑料膜
21...砥粒
23...錨材
101...後輥
103...網狀物
105...槽孔噴嘴
L1...槽孔噴嘴之長度
L2...輥面長
L3...纏繞研磨帶之部分之長度
T1...研磨帶之厚度
T2...基材之厚度
圖1係表示藉由研削裝置(未圖示)之砥石車研削之槽孔噴嘴之唇部之圖。
圖2係表示藉由輥研磨之槽孔噴嘴之圖。
圖3係表示研磨帶之剖面圖。
圖4係表示於行進於後輥上之網狀物塗佈流體之槽孔噴嘴之圖。
1...槽孔噴嘴
3a...唇部
5a...唇部
11...輥
11a...外周面
13...研磨帶
15...導管
17...導管
L1...槽孔噴嘴之長度
L2...輥面長
L3...纏繞研磨帶之部分之長度
Claims (10)
- 一種研磨方法,其特徵在於具備:第一步驟,其係以研削裝置研削使流體從重疊至少兩個塊體而形成之狹縫噴出之槽孔噴嘴之唇部,使室溫下之該唇部之長度方向之每1米之筆直度在200μm以內;第二步驟,其係於第一步驟之後,以旋轉機構使輥旋轉,該輥係另行準備之真圓度在3μm以內並具有比該槽孔噴嘴之長度為長之面長,且於其外周面上設有研磨機構者;及第三步驟,將旋轉之該輥推抵於該槽孔噴嘴之該唇部而研磨該唇部;其中前述第三步驟包含以加熱機構或冷卻機構將該槽孔噴嘴調溫至使用溫度,而研磨該槽孔噴嘴之該唇部之步驟。
- 如請求項1之研磨方法,其中該研磨機構之長度比該槽孔噴嘴之長度為長。
- 如請求項1之研磨方法,其中該輥之直徑為100mm至360mm。
- 如請求項1之研磨方法,其中將該輥加熱或冷卻。
- 如請求項4之研磨方法,其中該輥與該槽孔噴嘴之溫度差在20℃以內。
- 如請求項1至3中任一項之研磨方法,其中該研磨機構係螺旋纏繞於該輥之研磨帶;前述第三步驟包含使螺旋纏繞著該研磨帶之該輥一面 旋轉一面研磨該唇部之步驟。
- 如請求項1至3中任一項之研磨方法,其中前述第三步驟包含最初以粗砥粒之研磨帶研磨該唇部之步驟,及其後以細砥粒之研磨帶精加工該唇部之步驟。
- 如請求項1至3中任一項之研磨方法,其中該研磨機構係研磨帶,該研磨帶之基材係塑料膜,該研磨帶之厚度之差異係該基材之厚度之1%以內。
- 如請求項1至3中任一項之研磨方法,其中於前述第三步驟中,使該唇部之該長度方向之該筆直度設在5μm以內。
- 如請求項1至3中任一項之研磨方法,其中從該槽孔噴嘴噴出之該流體係液體或熔融體,該輥為後輥。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008332331A JP5558706B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | スロットノズルの研磨方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201032950A TW201032950A (en) | 2010-09-16 |
TWI515080B true TWI515080B (zh) | 2016-01-01 |
Family
ID=42500481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW098145167A TWI515080B (zh) | 2008-12-26 | 2009-12-25 | 槽孔噴嘴之研磨方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5558706B2 (zh) |
KR (1) | KR20100076900A (zh) |
CN (1) | CN101767302B (zh) |
TW (1) | TWI515080B (zh) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5663437B2 (ja) * | 2011-08-30 | 2015-02-04 | 富士フイルム株式会社 | ステンレス鋼製部材の製造方法及び塗布フィルムの製造方法 |
US9138851B2 (en) | 2011-04-05 | 2015-09-22 | Fujifilm Corporation | Method of manufacturing member made by stainless steel and method of manufacturing coating film |
CN102528855B (zh) * | 2012-01-16 | 2014-09-24 | 中国林业科学研究院木材工业研究所 | 一种木竹材多锯片锯切冷却系统 |
CN109531409B (zh) * | 2018-12-13 | 2019-12-03 | 山东大学 | 一种复合微织构导轨及其制备方法 |
CN114700208B (zh) * | 2022-03-04 | 2023-02-28 | 江苏盛鸿智能安防设施有限公司 | 一种便于清理的护栏加工用喷涂装置及其喷涂方法 |
CN117300826B (zh) * | 2023-11-14 | 2024-03-29 | 杭州金升金属制品有限公司 | 一种拉丝机 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0386452A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-11 | Mitsubishi Materials Corp | ノズル先端面の研削装置 |
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DE4303357A1 (de) * | 1993-02-05 | 1994-08-11 | Hoechst Ag | Beschichtungsvorrichtung zum Auftragen dünner Naßfilme |
JP3397962B2 (ja) * | 1995-05-18 | 2003-04-21 | 松下電器産業株式会社 | ノズル |
WO1996039276A1 (en) * | 1995-06-05 | 1996-12-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coater die edge finishing method |
JPH09187409A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-22 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | 研磨ローラー |
JPH11104547A (ja) * | 1997-10-07 | 1999-04-20 | Nippon Petrochem Co Ltd | ウェブ塗布面のストリーク防止方法 |
FR2824505A1 (fr) * | 2001-05-10 | 2002-11-15 | Grosfillex Sarl | Dispositif et procede pour grainer la surface d'une piece en materiau thermoplastique |
JP4601918B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2010-12-22 | 大日本印刷株式会社 | 塗工用ダイヘッド、塗工装置及び塗工用ダイヘッドの製造方法 |
CN100430151C (zh) * | 2002-07-18 | 2008-11-05 | 大日本印刷株式会社 | 涂覆模头和涂覆设备 |
JP2004321915A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布方法及び塗布装置 |
JP2005152885A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-06-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットノズル |
CN100469533C (zh) * | 2006-07-16 | 2009-03-18 | 广东奔朗超硬材料制品有限公司 | 一种金刚石磨头的制作方法 |
-
2008
- 2008-12-26 JP JP2008332331A patent/JP5558706B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-12-24 KR KR1020090130481A patent/KR20100076900A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-12-25 TW TW098145167A patent/TWI515080B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-12-28 CN CN2009102656616A patent/CN101767302B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101767302B (zh) | 2013-11-27 |
JP5558706B2 (ja) | 2014-07-23 |
KR20100076900A (ko) | 2010-07-06 |
JP2010149258A (ja) | 2010-07-08 |
CN101767302A (zh) | 2010-07-07 |
TW201032950A (en) | 2010-09-16 |
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