JP2010131706A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】帯状の接着シートSを支持する繰出手段12と、接着シートSに閉ループ状の切り込みCを設け、当該切り込みCの内側を貼付用シートS1とする一方、切り込みCの外側を不要シートS2して形成する切断手段14と、貼付用シートS1をリングフレームRFと半導体ウエハWに貼付する押圧手段16とを備えてシート貼付装置10が構成されている。切断手段14は、接着シートSが押圧手段16に接するときに、当該接着シートSに切り込みCを形成可能に設けられ、切り込みC形成後、押圧手段16により貼付用シートS1がリングフレームRFと半導体ウエハWに貼付される。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを切断及び貼付する際に、切断手段と被着体とを非接触な状態に保つことができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記切断手段は、前記接着シートが押圧手段に接するときに、当該接着シートに前記切り込みを形成可能に設けられる、という構成を採っている。
前記切断手段は、押圧ローラに設けられたカッター刃と、このカッター刃に前記接着シートを付勢して前記切り込みを形成するプラテンローラとを備える、という構成を採用してもよい。
前記接着シートが押圧手段に接するときに、当該接着シートに前記切り込みを形成し、その後、押圧手段が貼付用シートを被着体に押圧して貼付する、という方法を採っている。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、図1を基準として用いる。
また、接着シートSを剥離シート等に仮着した2層構造とすることなく、本実施形態のように接着シートSだけであっても、貼付用シートS1を形成する切り込みCを形成した後、これを貼付することができる。これにより、接着シートSのコストを低減できる上、剥離シート等から剥離する際の引っ張り力等に起因する貼付用シートS1の延びや弛みを抑制することができ、貼付用シートS1を良好に貼付することが可能となる。なお、本発明は、剥離シートに接着シートSを仮着した2層構造、又は、それ以上の層構造の接着シート原反を排除するものではない。つまり、接着シートSに剥離シートが仮着された接着シート原反を採用した場合には、接着シートSを被着体に貼付する前段に、剥離シートを巻き取る巻取軸を設けることで対応ができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
12 繰出手段
14 切断手段
15 押圧ローラ
16 押圧手段
26 カッター刃
27 プラテンローラ
32 弾性部材
34 吸着手段
C 切り込み
RF リングフレーム(被着体)
S 接着シート
S1 貼付用シート
S2 不要シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 帯状の接着シートを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設け、当該切り込みの内側を貼付用シートとする一方、切り込みの外側を不要シートして形成する切断手段と、前記貼付用シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えたシート貼付装置において、
前記切断手段は、前記接着シートが押圧手段に接するときに、当該接着シートに前記切り込みを形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記押圧手段は、接着シートを被着体に押圧しながら転動可能な押圧ローラを含み、
前記切断手段は、押圧ローラに設けられたカッター刃と、このカッター刃に前記接着シートを付勢して前記切り込みを形成するプラテンローラとを備えていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。 - 前記押圧手段は、押圧ローラの外周面に設けられるとともに、前記カッター刃の突出高さより大きい厚みを有する弾性部材を含み、この弾性部材は、前記プラテンローラとカッター刃との接触を許容し、且つ、前記カッター刃と被着体との接触を防止する弾性に設定されていることを特徴とする請求項2記載のシート貼付装置。
- 前記押圧手段には、掛け回される接着シートを吸着可能な吸着手段が設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。
- 帯状の接着シートに切断手段を介して閉ループ状の切り込みを設け、当該切り込みの内側を貼付用シートとして形成して押圧手段を介して被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記接着シートが押圧手段に接するときに、当該接着シートに前記切り込みを形成し、その後、押圧手段が貼付用シートを被着体に押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
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