JP2010122037A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】振動による影響を低減する。
【解決手段】受圧面を有するセンサチップ２０を備え、受圧面にかかる圧力媒体の圧力を検出してその圧力に応じた電気信号を出力する圧力センサにおいて、受圧面の少なくとも一面側を覆うように第１保護部材５１を配置し、この第１保護部材５１を覆うように第１保護部材よりも硬度の低い第２保護部材５２を配置する。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧力検出部にかかる圧力を検出する圧力センサに関するものである。

従来、圧力センサとして、ケースに設けられた凹部の底面に圧力検出素子を収納し、この圧力検出素子を用いて圧力検出するものがある（例えば、特許文献１参照）。
特開２００６−２３１０９号公報

上記したような圧力センサには、特許文献１に記載された圧力センサのように、圧力検出素子を保護する保護部材として１種類のゲルを凹部に充填した１層ゲル構造を有するものや、ゲルが垂れないように、柔らかいゲルを硬いゲルで覆うように保護部材としての２種類のゲルを凹部に充填した２層ゲル構造を有するものがある。

しかし、このような１層ゲル構造を有する圧力センサや、柔らかいゲルを硬いゲルで覆うようにした２層ゲル構造を有する圧力センサは、圧力センサが外部から振動を受けた場合、振動がゲルを介して圧力検出素子に伝達されやすく、圧力検出素子より出力される信号にノイズとして重畳されてしまうといった問題がある。

本発明は上記問題に鑑みたもので、振動による影響を低減することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、受圧面を有する圧力検出素子（２０）を備え、受圧面にかかる圧力媒体の圧力を検出してその圧力に応じた電気信号を出力する圧力センサであって、受圧面の少なくとも一面側を覆うように第１保護部材（５１）が配置され、第１保護部材（５１）を覆うように第１保護部材よりも硬度の低い第２保護部材（５２）が配置されていることを特徴としている。

このような構成によれば、受圧面の少なくとも一面側を覆うように第１保護部材（５１）が配置され、第１保護部材（５１）を覆うように第１保護部材よりも硬度の低い第２保護部材（５２）が配置されているので、第１、第２保護部材の固有振動数の違いにより振動エネルギーが散逸して振動エネルギーが低下し、更に、第２保護部材と第１保護部材の境界で第２保護部材側から第１保護部材側へ伝わる振動が緩和されるので、振動による影響を低減することができる。

また、請求項２に記載の発明のように、損失正接をｔａｎδとした場合、第１保護部材（５１）は、１３０℃において、ｔａｎδ≦０．７を満たす物性を有するゲルであり、第２保護部材（５２）は、１３０℃において、０．７＜ｔａｎδ≦１．０を満たす物性を有するゲルであることが好ましい。

また、請求項３に記載の発明は、受圧面と第１保護部材（５１）との間に、当該第１保護部材（５１）と硬度の異なる第３保護部材（５３）が設けられていることを特徴としている。

このような構成によれば、受圧面と第１保護部材（５１）との間に、当該第１保護部材（５１）と硬度の異なる第３保護部材（５３）が設けられるので、第１、第３保護部材の固有振動数の違いにより振動エネルギーが低下し、更に、振動による影響を低減することができる。

また、請求項４に記載の発明のように、第３保護部材（５３）を、互いに硬度の異なる複数の保護部材（５４、５５）を交互に積層して構成することにより、より振動による影響を低減することができる。

なお、第３保護部材（５３）としては、請求項５に記載の発明のように、フッソオイルを封止してなる保護部材を含むように構成してもよく、また、請求項６に記載の発明のように、フッソゲルを封止した保護部材を含むように構成してもよい。

また、請求項７に記載の発明は、硬度の異なる複数の弾性部材（８１〜８５）を交互に積層した取付部材（８０）を備え、当該取付部材（８０）を介して被取付部（９）に固定される構造を有していることを特徴としている。

このような構成によれば、硬度の異なる複数の弾性部材（８１〜８５）を交互に積層した取付部材（８０）を備え、当該取付部材（８０）を介して被取付部（９）に固定されるので、複数の弾性部材（８１〜８５）の固有振動数の違いにより振動エネルギーが散逸して振動エネルギーが低下し、振動による影響を緩和することができる。

なお、取付部材（８０）としては、請求項８に記載の発明のように、ゴム状材質から成るＯリングと当該ゴム状材質よりも硬度の低いゴム状材質から成るＯリングとを交互に積層して構成することができる。

また、請求項９に記載の発明は、圧力センサを収納する収納ケース（７０）と、収納ケース（７０）に設けられた開口部を覆うように収納ケース（７０）に取り付けられたリッド（７３）と、を備え、リッド（７３）は、少なくとも１つの緩衝部材により構成されており、リッド（７３）が被取付部（９）と対面するように、収納ケース（７０）が被取付部（９）に取り付けられるようになっていることを特徴としている。

このような構成によれば、少なくとも１つの緩衝部材により構成されたリッド（７３）が被取付部（９）と対面するように、収納ケース（７０）が被取付部（９）に取り付けられるので、緩衝部材により振動が緩和され、振動による影響を低減することができる。

また、請求項１０に記載の発明は、圧力センサを収納する収納ケース（７０）と、収納ケース（７０）に設けられた開口部を覆うように収納ケース（７０）に取り付けられたリッド（７３）と、を備え、収納ケース（７０）とリッド（７３）の接合部にはゲル（７４）が充填されていることを特徴としている。

このような構成によれば、収納ケース（７０）とリッド（７３）の接合部にはゲル（７４）が充填されているので、このゲル（７４）によりリッド（７３）から収納ケース（７０）へ伝達される振動が緩和され、振動による影響を低減することができる。

また、請求項１１に記載の発明は、圧力センサを収納する収納ケース（７０）と、収納ケース（７０）に設けられた開口部を覆うように収納ケース（７０）に取り付けられたリッド（７３）と、を備え、リッド（７３）には、少なくとも１つの弾性接着体（８７）が付着されており、リッド（７３）と被取付部（９）との間に弾性接着体（８７）が配置されるように、収納ケース（７０）が被取付部（９）に取り付けられるようになっていることを特徴としている。

このような構成によれば、リッド（７３）には、少なくとも１つの弾性接着体（８７）が付着されており、リッド（７３）と被取付部（９）との間に弾性接着体（８７）が配置されるように、収納ケース（７０）が被取付部（９）に取り付けられるので、弾性接着体（８７）により被取付部（９）からリッド（７３）へ伝達される振動が緩和され、振動による影響を低減することができる。

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係る圧力センサの概略断面図を図１に示す。本実施形態で示される圧力センサは、例えば、インテークマニホールド等に設置される吸気圧センサや、自動車用ディーゼルエンジンの排気ガス浄化システム（ＤＰＦシステム）において排気ガスの圧力を検出する圧力センサとして用いられるものである。

本圧力センサは、ケース１０と、センサチップ２０と、回路チップ３０と、チップ裏面側保護部材５０とを備えて構成されている。

ケース１０は、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなる板状のものであり、複数の導体部１１がインサート成形されたものである。導体部１１は、圧力センサと外部との電気的な接続を行う端子であり、例えば銅などの導電材料よりなるものが採用される。また、ケース１０をなす板の一面に凹部１２が形成され、当該凹部１２に圧力検出用のセンサチップ２０が収納されている。

センサチップ２０は、圧力を検出してその圧力に応じたレベルの電気信号を発生するものであり、ピエゾ抵抗効果を利用した板状のものである。具体的に、センサチップ２０は、板の一面に薄肉部であり歪み部であるダイヤフラム２１を有すると共に、板の他面にダイヤフラム２１を構成するために異方性エッチング等により形成された凹部２２を有する半導体ダイヤフラム式のものである。すなわち、センサチップ２０は、板の他面に凹部２２を有し、この凹部２２に対応した板の一面に歪み部としてのダイヤフラム２１を有している。

以下では、センサチップ２０のうちダイヤフラム２１が形成された面をセンサチップ２０の表面といい、凹部２２が形成された面をセンサチップ２０の裏面という。本実施形態では、センサチップ２０の表面および裏面で圧力を受圧するため、センサチップ２０の両面が圧力受圧面となる。

ダイヤフラム２１には、例えば、拡散抵抗などにより構成されたブリッジ回路などを備えたセンシング部が設けられている。これにより、センサチップ２０の板の両面に圧力が印加されると、両圧力の差圧によってダイヤフラム２１が歪み、ブリッジ回路にて差圧に応じた電気信号が生成される。

上記センサチップ２０の裏面には、ガラス等よりなる台座２３が陽極接合などによって接合されセンサチップ２０と一体化されている。この台座２３は、接着剤２４を介してケース１０の凹部１２の底面に接着され、ケース１０に収納固定されている。これにより、センサチップ２０は、当該センサチップ２０の裏面がケース１０に対向した状態でケース１０に固定されている。

接着剤２４として、この接着剤２４の熱応力がセンサ特性に影響を与え難いような軟らかい接着剤、例えばシリコン系接着剤やフロロシリコン系接着剤等が採用される。

また、ケース１０にインサート成形された導体部１１は、その一端部がケース１０の凹部１２内に露出している。そして、センサチップ２０は、凹部１２内にて、導体部１１の露出部にボンディングワイヤ６１を介して結線され、外部と電気的に接続されている。

回路チップ３０は、センサチップ２０に対する駆動信号の出力や外部への検出用信号の出力、センサチップ２０からの電気信号を入力し、演算・増幅処理して外部へ出力する等の機能を有する制御回路等を備えたものである。このような回路チップ３０として、例えばシリコン基板等に対してＣＭＯＳトランジスタやバイポーラトランジスタ等が半導体プロセスで形成されたものである。

このような回路チップ３０は、ケース１０の凹部１２に収納固定されている。そして、当該回路チップ３０とセンサチップ２０とが、金やアルミニウムなどからなるボンディングワイヤ６２を介して結線され電気的に接続されている。

さらに、ケース１０には回路チップ３０の近傍に図示しない導体部がインサート成形されており、当該導体部と回路チップ３０とがボンディングワイヤなどを介して結線され、外部と電気的に接続されている。

また、台座２３には、センサチップ２０が固定された面から中を貫いて反対側の面に抜ける貫通孔２３ａが形成されている。他方、ケース１０の凹部１２の底面には、台座２３の貫通孔２３ａに対応する位置に、ケース１０をなす板の一面から他面に貫通する圧力導入孔１３が設けられている。

圧力導入孔１３は、センサチップ２０の裏面に圧力を導く貫通した孔であり、台座２３を介してセンサチップ２０によって閉じられている。このように、ケース１０の一面に形成されている凹部１２とケース１０の他面に開口した圧力導入孔１３とは、センサチップ２０によって区画されている。これにより、センサチップ２０のダイヤフラム２１は、ケース１０の一面側と、ケース１０の他面側とからそれぞれ圧力を受ける構成となっている。

そして、圧力導入孔１３は、ケース１０の他面に開口する第１孔１３ａと、当該第１孔１３ａよりも径が小さくケース１０の凹部１２の底面に開口する第２孔１３ｂとによって構成されている。本実施形態では、第１孔１３ａと第２孔１３ｂとの径の違いによって、第１孔１３ａと第２孔１３ｂとの連結部が段差状になっている。このように、センサチップ２０側の第２孔１３ｂよりも第１孔１３ａの径が大きくなっていることで、受圧面積を広くすることができる。

チップ裏面側保護部材５０は、上記圧力導入孔１３および台座２３の貫通孔２３ａを封止して保護するものである。上述のように、圧力センサは、例えば排気ガスという腐食性の高い圧力媒体にさらされる厳しい環境に置かれるため、腐食性の高い圧力媒体から圧力センサの各構成要素を保護する必要があるからである。

具体的には、センサチップ２０の裏面側において、圧力導入孔１３および台座２３の貫通孔２３ａにチップ裏面側保護部材５０が充填されている。このチップ裏面側保護部材５０によって、センサチップ２０の裏面が封止され、圧力導入孔１３への異物の侵入が阻止される。また、センサチップ２０の裏面への汚れ付着による特性変動、結露水の凍結による圧力導入孔１３の閉塞、さらには水の凍結時の体積膨張によるセンサチップ２０の破壊などの不具合を防止できるようになっている。

チップ裏面側保護部材５０として、例えば、フッ素ゲル、シリコンゲル、フロロシリコンゲルなどが採用される。特に、圧力センサにて排気ガス圧の測定が行われる場合、排気ガスによる凝縮水は、排気ガスの窒素酸化物や硫黄酸化物が溶け込み強い酸性を持つため、チップ裏面側保護部材５０として、耐酸性が強いフッ素ゲルを採用することが望ましい。

また、チップ裏面側保護部材５０は、センサチップ２０の裏面を覆うように台座２３の貫通孔２３ａ、圧力導入孔１３に充填される第１保護部材５１と、この第１保護部材５１を覆うと共に圧力媒体に接するように設けられた第２保護部材５２との２層構造として構成されている。

第１保護部材５１および第２保護部材５２には、これら各保護部材５１、５２が経時的に硬くなってしまうことを防止するため、オイル材がそれぞれ混合されている。このオイル材は、各保護部材５１、５２への混合量に応じて各保護部材５１、５２の硬さを調整できるものであり、例えばフッ素系オイルが採用される。フッ素系オイルには無官能のものがあり、無官能のフッ素系オイルとして例えば無官能パーフロロアルキルを用いることができる。

また、本実施形態において、第２保護部材５２側から第１保護部材５１側へ伝わる振動を緩和するため、第１保護部材５１は、第２保護部材５２よりも硬い材質のものを用いて構成されている。すなわち、硬さの異なる保護部材を積層した多層構造では、各層での振動の固有振動数が異なるため振動エネルギーを散逸させて振動エネルギーを低減させることができるといった第１の特性と、柔らかい材質の部材と硬い材質の部材を接合させた場合、硬い材質の部材側から柔らかい材質の部材側へ伝わる振動は伝搬しやすく、反対に、柔らかい材質の部材側から硬い材質の部材側へ伝わる振動は境界で反射して緩和されやすいといった第２の特性を利用し、上記したように第１保護部材５１を、第２保護部材５２よりも硬い材質のものを用いて構成するようにして、第２保護部材５２側から第１保護部材５１側へ伝わる振動を緩和するようにしている。

次に、各保護部材５１、５２の硬さの度合いについて説明する。各保護部材５１、５２のような材料の硬さを測定する方法として針入度試験がある。この試験は、ＪＩＳ Ｋ２２０７に規格化されており、規定重量の針を材料中に垂直に進入した長さにより材料の硬さを計測するものである。針入度の値は、１／１０ｍｍが針入度１となる。柔らかな材料ほど針入度の値が大きくなる。

また、各保護部材５１、５２のような材料の振動吸収性を表す指標として損失正接ｔａｎδがある。この損失正接ｔａｎδは、複素粘弾性率Ｇ^＊＝α^＊／ε_０＝（σ_０／ε_０）（ｃｏｓδ＋ｉｓｉｎδ）において、材料の持つバネ（弾性体）成分を表す実数部Ｇ'＝（σ_０／ε_０）ｃｏｓδと、液体（粘性体）の成分を表す虚数部Ｇ’’＝（σ_０／ε_０）ｓｉｎδとの比として定義されている。すなわち、損失正接ｔａｎδは、ｔａｎδ＝Ｇ’’／Ｇ’として定義され、材料が変形する際に材料がどのくらいエネルギーを吸収するか（熱に変える）の度合いを示している。なお、液体に近い部材ほど、損失正接ｔａｎδは大きくなり、振動吸収性も高くなる。

図２に、材質の異なる３つのゲルＡ〜Ｃについて、１３０℃の環境下で計測した針入度と損失正接ｔａｎδの関係をグラフ化したものを示す。この図には、Ｘ軸を針入度、Ｙ軸を損失正接ｔａｎδとして各ゲルＡ〜Ｃの物性が示されている。なお、柔らかな材料ほど針入度が大きく、液体に近く振動吸収性の高い材料ほど損失正接ｔａｎδが大きくなる。

本実施形態では、第１保護部材５１を覆うように第１保護部材５１よりも硬度の低い第２保護部材５２が配置される。しかしながら、第２保護部材５２の硬度が低すぎると第２保護部材５２が垂れてしまうといった問題が生じる。そこで、第２保護部材５２としては、垂れない程度で、かつ、柔らかさが確保されるように、１３０℃における損失正接ｔａｎδが、０．７＜ｔａｎδ＜１を満たすゲルを用いて構成するのが好ましい。また、第１保護部材５１としては、１３０℃における損失正接ｔａｎδが、ｔａｎδ≦０．７を満たすゲルを用いて構成するのが好ましい。

したがって、例えば、第１保護部材５１をゲルＡとし、第２保護部材５２をゲルＢまたはゲルＣとすることができ、また、第１保護部材５１をゲルＢとし、第２保護部材５２をゲルＣとすることもできる。

上記した構成によれば、受圧面の少なくとも一面側を覆うように第１保護部材５１が配置され、第１保護部材５１を覆うように第１保護部材よりも硬度の低い第２保護部材５２が配置されているので、第１、第２保護部材の固有振動数の違いにより振動エネルギーが散逸して振動エネルギーが低下し、更に、第２保護部材と第１保護部材の境界で第２保護部材側から第１保護部材側へ伝わる振動が緩和されるので、振動による影響を低減することができる。

なお、損失正接をｔａｎδとした場合、第１保護部材５１は、１３０℃において、ｔａｎδ≦０．７を満たす物性を有するゲルであり、第２保護部材５２は、１３０℃において、０．７＜ｔａｎδ≦１．０を満たす物性を有するゲルであることが好ましい。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係る圧力センサの概略断面図を図３に示す。上記第１実施形態では、受圧面の一面側を覆うように第１保護部材５１を配置し、この第１保護部材５１を覆うように第２保護部材５２を配置した構成を示したが、本実施形態では、受圧面と第１保護部材５１との間に、硬度の異なる保護部材５４、５５を積層してなる第３保護部材５３が配置されている。なお、上記実施形態と同一部分については同一符号を付して説明を省略し、以下、異なる部分を中心に説明する。

本実施形態における保護部材５４は、第１保護部材５１と同じ部材を用いて構成され、保護部材５５は、第２保護部材５２と同じ部材を用いて構成されている。すなわち、保護部材５４、５５としては、第１保護部材５１、第２保護部材５２と同様に、例えば、フッ素ゲル、シリコンゲル、フロロシリコンゲルなどが採用される。また、第１保護部材５１、第２保護部材５２と同様に、保護部材５４、５５には、オイル材がそれぞれ混合されている。

本実施形態では、受圧面の裏面側に、第１保護部材５１と同じ部材を用いて構成された保護部材５４と、第２保護部材５２と同じ部材を用いて構成された保護部材５５と、第１保護部材５１と、第２保護部材５２と、が積層された構成となっている。

このような構成では、第１、第２、第３保護部材５１、５２、５３の固有振動数の違いにより振動エネルギーが低下し、更に、第２保護部材５２と第１保護部材５１の境界で、第１保護部材５１側から第２保護部材５２側へ伝わる振動が緩和され、更に、保護部材５５と保護部材５４の境界で、保護部材５５側から保護部材５４側へ伝わる振動が緩和される。したがって、より振動による影響を緩和することができる。

なお、本実施形態では、第１保護部材５１と同じ部材を用いて保護部材５４を構成し、第２保護部材５２と同じ部材を用いて保護部材５５を構成したが、第１、第２保護部材５１、５２と異なる部材で保護部材５４、５５を構成するようにしてもよい。また、保護部材５４、５５により第３保護部材５３を構成したが、例えば、３つ以上の保護部材を積層して第３保護部材５３を構成するようにしてもよい。

また、受圧面と第１保護部材５１の間に、第１保護部材５１と硬度の異なる１つの保護部材のみで第３保護部材５３を設けるようにしてもよい。このような構成では、第１保護部材５１と、第３保護部材５３の固有振動数の違いにより振動エネルギーが低下するので、更に、振動による影響を低減することができる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態に係る圧力センサを収納した収納ケースが車両の被取付部に取り付けられた様子を図４に示す。収納ケース７０は、樹脂またはゴムなどの材料を、金型を用いて型成形してなるものであり、圧力センサを収納する収納部７１と、ボルト８を挿通するための穴部が形成された取付部７２を備えている。なお、圧力センサは、図１に示した第１実施形態と同様の構成を有するものであり、収納部７１の内部に収納されているためこの図には示されていない。

車両の被取付部９には、ボルト８を固定するためのネジ穴が形成されており、収納ケース７０の取付部７２に形成された穴部にボルト８を挿通させて収納ケース７０の取付部７２が車両の被取付部９に取り付けられるようになっている。

本実施形態では、取付部７２と車両の被取付部９との間に、硬度の異なる複数の弾性部材８１〜８５を交互に積層した取付部材８０を配置した状態で、収納ケース７０が車両の被取付部９にボルト８を用いて固定されている。

具体的には、弾性部材８１、８３、８５は、比較的硬いゴム状材質を用いて形成されたＯリングとなっており、弾性部材８２、８４は、比較的硬度の低いゴム状材質を用いて形成されたＯリングとなっている。

このように、本実施形態では、取付部７２と車両の被取付部９との間に、硬度の異なる複数の弾性部材８１〜８５を交互に積層した取付部材８０を配置して、 車両から圧力センサに伝達される振動を低減するようにしている。

なお、本実施形態では、第１実施形態と同様の圧力センサを収納ケース７０に収納した構成を示したが、第２実施形態と同様の圧力センサを収納ケース７０に収納する構成としてもよい。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態に係る圧力センサを収納した収納ケースが車両の被取付部に取り付けられた様子を図５に示す。本実施形態に係る圧力センサは、該圧力センサを収納する収納ケース７０と、収納ケース７０の開口部を覆うように収納ケース７０に取り付けられたリッド７３を備えている。

リッド７３は、クッション材としての機能を有するもので、ゴム、スポンジ等の緩衝部材により構成されている。

そして、リッド７３が車両の被取付部９と対面するように、収納ケース７０が被取付部９に取り付けられるようになっている。

このような構成によれば、緩衝部材により構成されたリッド７３が被取付部９と対面するように、収納ケース７０が被取付部９に取り付けられるので、緩衝部材により振動が緩和され、振動による影響を低減することができる。

なお、本実施形態では、ゴム、スポンジ等の緩衝部材によりリッド７３を構成したが、例えば、ゴムとスポンジといったように、複数の緩衝部材を組み合わせてリッド７３を構成してもよい。

（第５実施形態）
本発明の第５実施形態に係る圧力センサを収納した収納ケースを収納ケースの上面側から見た図を図６に示す。また、図６中のＡ−Ａ断面図を図７に示す。

本実施形態に係る圧力センサは、図６に示すように、該圧力センサを収納する収納ケース７０を備えている。収納ケース７０は、圧力センサを収納する収納部７１、ボルト８を挿通するための穴部が形成された取付部７２、収納ケース７０の上面と下面に設けられた各開口部を覆うリッド７３により構成されている。なお、圧力センサは、第１実施形態または第２実施形態と同様の構成を有するものであり、図７中、点線で示す部位に収納される。

収納ケース７０と該収納ケース７０の上面側に配置されるリッド７３との接合部には、ゲル７４が充填されている。同様に、収納ケース７０と該収納ケース７０の下面側に配置されるリッド７３との接合部には、ゲル７４が充填されている。

また、収納ケース７０の下面側に配置されるリッド７３には、弾性接着体８７が付着されている。なお、弾性接着体８７としては、ゲル状の粘着材やクッション性を有する粘着テープを用いることができる。

そして、収納ケース７０の下面側に配置されるリッド７３と車両の被取付部９との間に、弾性接着体８７が配置されるように、収納ケース７０が車両の被取付部９に取り付けられるようになっている。

上記した構成によれば、収納ケース７０とリッド７３の接合部にはゲル７４が充填されているので、このゲル７４によりリッド７３から収納ケース７０へ伝達される振動が緩和され、振動による影響を低減することができる。

また、リッド７３には、弾性接着体８７が付着されており、リッド７３と被取付部９との間に弾性接着体８７が配置されるように、収納ケース７０が被取付部９に取り付けられるので、弾性接着体８７により被取付部９からリッド７３へ伝達される振動が緩和され、振動による影響を低減することができる。

なお、弾性接着体８７としては、ゲル状の粘着材やクッション性を有する粘着テープ等、複数の部材を組み合わせて用いることができる。

（その他の実施形態）
上記第１、第２実施形態では、センサチップ２０の凹部２２が形成された裏面側の受圧面を覆うように第１保護部材５１を配置し、この第１保護部材５１を覆うように第２保護部材５２を配置した構成を示したが、例えば、センサチップ２０の表面側に対しても、受圧面を覆うように第１保護部材５１を配置し、この第１保護部材５１を覆うように第２保護部材５２を配置した構成としてもよい。

本発明の第１実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。 ゲルＡ〜Ｃについて針入度と損失正接の関係を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。 本発明の第３実施形態に係る圧力センサを収納した収納ケースが車両の被取付部に取り付けられた様子を示した図である。 本発明の第４実施形態に係る圧力センサを収納した収納ケースが車両の被取付部に取り付けられた様子を示した図である。 本発明の第５実施形態に係る圧力センサを収納した収納ケースを収納ケースの上面側から見た図である。 図５中のＡ−Ａ断面図である。

符号の説明

１０ ケース
１１ 導体部
１３ 圧力導入孔
２０ センサチップ
２１ ダイヤフラム
３０ 回路チップ
５０ チップ裏面側保護部材
５１ 第１保護部材
５２ 第２保護部材

Claims (11)

1. 受圧面を有する圧力検出素子（２０）を備え、前記受圧面にかかる圧力媒体の圧力を検出してその圧力に応じた電気信号を出力する圧力センサであって、
   前記受圧面の少なくとも一面側を覆うように第１保護部材（５１）が配置され、
   前記第１保護部材（５１）を覆うように前記第１保護部材よりも硬度の低い第２保護部材（５２）が配置されていることを特徴とする圧力センサ。
2. 損失正接をｔａｎδとすると、前記第１保護部材（５１）は、１３０℃において、ｔａｎδ≦０．７を満たす物性を有するゲルであり、前記第２保護部材（５２）は、１３０℃において、０．７＜ｔａｎδ≦１．０を満たす物性を有するゲルであることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記受圧面と前記第１保護部材（５１）との間に、当該第１保護部材（５１）と硬度の異なる第３保護部材（５３）が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
4. 前記第３保護部材（５３）は、互いに硬度の異なる複数の保護部材（５４、５５）を交互に積層して構成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
5. 前記第３保護部材（５３）は、フッソオイルを封止してなる保護部材を含んでいることを特徴とする請求項３または４に記載の圧力センサ。
6. 前記第３保護部材（５３）は、フッソゲルを封止した保護部材を含んでいることを特徴とする請求項３または４に記載の圧力センサ。
7. 硬度の異なる複数の弾性部材（８１〜８５）を交互に積層した取付部材（８０）を備え、当該取付部材（８０）を介して被取付部（９）に固定される構造を有していることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。
8. 前記取付部材（８０）は、ゴム状材質から成るＯリングと当該ゴム状材質よりも硬度の低いゴム状材質から成るＯリングとを交互に積層して構成されていることを特徴とする請求項７に記載の圧力センサ。
9. 前記圧力センサを収納する収納ケース（７０）と、
   前記収納ケース（７０）に設けられた開口部を覆うように前記収納ケース（７０）に取り付けられたリッド（７３）と、を備え、
   前記リッド（７３）は、少なくとも１つの緩衝部材により構成されており、
   前記リッド（７３）が前記被取付部（９）と対面するように、前記収納ケース（７０）が前記被取付部（９）に取り付けられるようになっていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。
10. 前記圧力センサを収納する収納ケース（７０）と、
    前記収納ケース（７０）に設けられた開口部を覆うように前記収納ケース（７０）に取り付けられたリッド（７３）と、を備え、
    前記収納ケース（７０）と前記リッド（７３）の接合部にはゲル（７４）が充填されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。
11. 前記圧力センサを収納する収納ケース（７０）と、
    前記収納ケース（７０）に設けられた開口部を覆うように前記収納ケース（７０）に取り付けられたリッド（７３）と、を備え、
    前記リッド（７３）には、少なくとも１つの弾性接着体（８７）が付着されており、
    前記リッド（７３）と被取付部（９）との間に前記弾性接着体（８７）が配置されるように、前記収納ケース（７０）が前記被取付部（９）に取り付けられるようになっていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。

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