JPH11344404A - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

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JPH11344404A
JPH11344404A JP10151696A JP15169698A JPH11344404A JP H11344404 A JPH11344404 A JP H11344404A JP 10151696 A JP10151696 A JP 10151696A JP 15169698 A JP15169698 A JP 15169698A JP H11344404 A JPH11344404 A JP H11344404A
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ring
pipe
rings
pressure sensor
diameter
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幸治 秋山
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パイプ側の複数のオーリングをカップのオー
リング収容室に弾性変形した形態で挿入する際での挿入
順の後側のオーリングのはみ出しを抑制する。 【解決手段】 カップ23が複数のオーリング21,2
2に対応する第1・第2オーリング収容室24,25を
有し、第1・第2オーリング収容室24,25への挿入
順の後側のオーリング22の線径が先側のオーリング2
1の線径より大きい寸法に設定され、第1・第2オーリ
ング収容室24,25の各オーリング21,22と接触
する内周面が段差部26を介して繋がれており、段差部
26はパイプ14側に装着された複数のオーリング2
1,22が第1・第2オーリング収容室24,25に挿
入される際に線径の大きなオーリング22が線径の小さ
なオーリング21よりも先に第2オーリング収容室25
での所定の締め力を発生する位置に設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサであっ
て、特に、圧力導入部での圧力漏れ(リーク)を防止す
るシールド(気密)構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図7は例えば特開平5−312661号
公報に示された従来の圧力センサ20を示す部分断面図
である。この従来の圧力センサ20は、例えば、内燃機
関の主としてガソリン等の燃料および燃料蒸気圧力を測
定するのに用いるためのシールド構造を備えている。図
7において、1は感圧素子であって、薄膜シリコンチッ
プ上にブリッジ状に形成された抵抗によるピ工ゾ抵抗効
果により圧力を検出する。2は基板であって、感圧素子
1および図外の増幅回路や補正用回路など構成する電気
部品を実装している。3,4は、図中下方の圧力Pがニ
ップル5を経て感圧素子1に伝わるとき、周辺にその圧
力Pがリークしないようにシールドするためのオーリン
グである。オーリング3には圧力検出対象の媒体側に耐
ガソリン性に優れたフッ素系の材料が用いられ、オーリ
ング4にはフッ素系の材料が劣る低温でのシールド性を
確保するためにシリコン系やフロロシリコン系などの材
料が用いられる。6は圧力P中の塵埃を除去するための
フィルタ、7はベース、8はカバーである。9はベース
7より突出したコネクタであって、図示しないコンピュ
ータから電力供給を受けて感圧素子1や増幅回路ならび
に補正回路に供給し、圧力Pに応じた感圧素子1から増
幅回路や補正回路を経由した出力信号をコンピュータに
出力する。10はカップであって、ベース7より感圧素
子1の真下に位置して下方に膨出された凹部11にフィ
ルタ6を介在させて格納配置された後にベース7と接す
る円周部においてシールド切れが生じないように結合さ
れており、上方に開口したオーリング収容室12と、オ
ーリング収容室12の底部に連なる貫通孔13とを有す
る。14は圧力Pを感圧素子1に導くように溶接された
パイプ、15はオーリング3,4の飛び出しを防止する
ためにパイプ14の基板2側に配置されたホルダであ
る。
【0003】ここで、パイプ14との共同により圧力導
入部を構成するカップ10との間にオーリング3,4よ
りなるシールド構造を装着する場合について説明する。
ベース7とカバー8とが組合わされていない状態におい
て、感圧素子1や増幅回路ならびに補正回路が実装され
た基板2下のホルダ15より下方に突出したパイプ14
にはオーリング3,4を軸方向に並列配置となるように
外嵌装着しておく。そして、パイプ14がベース7に設
置されたカップ10のオーリング収容室12より貫通孔
13に向けて挿入されることにより、オーリング3,4
がホルダ15に押されつつパイプ14の外周面とオーリ
ング収容室12の内周面との間で弾性変形した形態に挿
入配置される。それから、ベース7とカバー8とが組合
わされることにより形成された密封状の内部空間16に
は、感圧素子1や電気部品を搭載した基板2、オーリン
グ3,4、フィルタ6、カップ10、パイプ14、ホル
ダ15などの部品が収納される。
【0004】次に動作について説明する。圧力Pはニッ
プル5からフィルタ6で塵挨を除去されつつパイプ14
を通って感圧素子1へと伝達される。この際、オーリン
グ3,4の働きにより圧力Pはカップ10とパイプ14
との間から内部空間16内ヘリークする(漏れる)こと
なく、正確に感圧素子1に伝達される。そして、感圧素
子1や増幅回路ならびに補正回路がコンピュータよりコ
ネクタ9を介して動作電力を受けた状態において、感圧
素子1の検出した圧力Pに応じて増幅回路や補正回路に
より演算された出力信号がコネクタ9よりコンピュータ
ヘ出力される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧力センサ20
のシールド構造は以上のように構成されているので、圧
力検出対象の媒体との関係からオーリング3,4の材料
特性により硬度が限定される場合がある。例えば、オー
リング4に対し、オーリング3の硬度が20(JIS
Hs)以上硬い場合には、図4に示すように、オーリン
グ3,4が装着されたパイプ10をカップ10に挿入す
る際、オーリング4がオーリング3とホルダ15とより
応力を受けてオーリング収容室12とホルダ15との隙
間よりはみ出すことがある。このオーリング4のはみ出
しが生じると、係るオーリング4のはみ出し部17がカ
ップ10とホルダ15との間にかみ込むという問題があ
る。
【0006】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、少なくともオーリング、パイプ、
カップのうちの1つの要素の形状を変更することで、パ
イプ側に装着されたオーリングをカップへ挿入する際、
オーリングのはみ出しを抑制することができる圧力セン
サを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る圧
力センサは、複数のオーリングを軸方向に並列配置とな
るように外嵌装着したパイプが、このパイプとの共同に
より圧力導入部を形成するカップに形成されたオーリン
グ収容室よりその底部に形成された貫通孔に向けて挿入
されることにより、複数のオーリングがパイプの外周面
とオーリング収容室の内周面との間で弾性変形した形態
に挿入配置された圧力センサにおいて、オーリング収容
室への挿入順の後側のオーリングの線径が先側のオーリ
ングの線径より大きい寸法に設定され、オーリング収容
室が各オーリングに対応する複数のオーリング収容室を
備え、これらのオーリング収容室の各オーリングと接触
する内周面が段差部を介して繋がれており、この段差部
はパイプ側に装着された複数のオーリングがカップのオ
ーリング収容室に挿入される際に線径の大きなオーリン
グが線径の小さいオーリングよりも先にオーリング収容
室での所定の締め力を発生する位置に設定されたことを
特徴とする。
【0008】請求項2の発明係る圧力センサは、請求項
1に記載の段差部が複数のオーリングの挿入方向に行く
に従って徐々に内径を小さくして複数のオーリング収容
室の内周面を滑らかに繋ぐ傾斜面を有したことを特徴と
する。
【0009】請求項3の発明に係る圧力センサは、複数
のオーリングを軸方向に並列配置となるように外嵌装着
したパイプが、このパイプとの共同により圧力導入部を
形成するカップに形成されたオーリング収容室よりその
底部に形成された貫通孔に向けて挿入されることによ
り、複数のオーリングがパイプの外周面とオーリング収
容室の内周面との間で弾性変形した形態に挿入配置され
た圧力センサにおいて、少なくともカップヘの挿入順の
後側のオーリングの内径が挿入順の先側のオーリングの
内径よりも大きい寸法に設定され、パイプに径大オーリ
ング装着部を突設し、この径大オーリング装着部に後側
のオーリングを装着し、径大オーリング装着部より突出
したパイプに先側のオーリングを装着して、パイプ側に
装着された複数のオーリングがカップのオーリング収容
室に挿入される際にパイプの径大オーリング装着部が先
側のオーリングを押すようにしたことを特徴とする。
【0010】請求項4の発明に係る圧力センサは、請求
項3に記載した複数のオーリングを隔離するリング状の
鍔部材が径大オーリング装着部より突出したパイプに配
置され、複数のオーリングがカップのオーリング収容室
に挿入される際に上記鍔部材が挿入順の先側のオーリン
グを径大オーリング装着部に代わり押すようにしたこと
を特徴とする。
【0011】請求項5の発明に係る圧力センサは、複数
のオーリングを軸方向に並列配置となるように外嵌装着
したパイプが、このパイプとの共同により圧力導入部を
形成するカップに形成されたオーリング収容室よりその
底部に形成された貫通孔に向けて挿入されることによ
り、複数のオーリングがパイプの外周面とオーリング収
容室の内周面との間で弾性変形した形態に挿入配置され
た圧力センサにおいて、パイプにオーリングのそれぞれ
を個別に外嵌装着する溝を備えたことを特徴とする。
【0012】請求項6の発明に係る圧力センサは、請求
項1または請求項3または請求項5のいずれかに記載の
複数のオーリングが硬度を異にすることを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】実施の形態1.図1および図2は
本発明の実施の形態1であって、図1は組立後のシール
ド構造を示す縦断面図、図2は組立前のシールド構造を
示す縦断面図である。これらの図において、21はフッ
素系の材料によりリング状に形成されたオーリング、2
2はシリコン系の材料によりリング状に形成されたオー
リングである。オーリング22の線径D2はオーリング
21の線径D1よりも大きい寸法に設定されている(D
1<D2)。23はカップであり、オーリング21,2
2に対応する第1オーリング収容室24と第2オーリン
グ収容室25を有する。第1オーリング収容室24と第
2オーリング収容室25とは段差部26を介して互いに
同軸状に配置されて上下に繋がっている。第2オーリン
グ収容室25の開口内周縁は外側に広がる弧状のガイド
面27として形成されている。これ以外の部品構成は従
来例と同じである。
【0014】図2にも示すように、この実施の形態1の
場合、第2オーリング収容室25の孔径D4は第1オー
リング収容室24の孔径D3よりも大きい寸法に設定さ
れている(D4<D3)。第1オーリング収容室24の
孔径D3はパイプ14に装着されたオーリング21の外
径D5より小さい寸法に設定され(D3<D5)、第2
オーリング収容室25の孔径D4はパイプ14に装着さ
れたオーリング22の外径D6より小さい寸法に設定さ
れている(D4<D6)。第1オーリング収容室24の
底部に貫通孔13が形成されている。パイプ14の基板
2の側に配置されたホルダ15の外径D7は第2オーリ
ング収容室25の孔径D4よりも小さくかつパイプ14
に装着されたオーリング22のリング状の中心径D8よ
りも大きい寸法に設定されている(D4>D7>D
8)。
【0015】また、オーリング21,23をホルダ15
より突出した部分に外嵌装着したパイプ14を含む基板
2が矢印Xで示す方向に移動することによりオーリング
21,22をカップ23の第1・第2収容室24,25
に個別に挿入配置するが、挿入順(矢印Xの向きと同じ
方向)の先側のオーリング21の外側面の図示上下方向
の中心をaとし、挿入順の後側のオーリング22の外側
面の図示上下方向の中心をbとし、オーリング21がカ
ップ23より図示横方向で所定の締め力を受ける第1位
置(第2オーリング収容室25と段差部26との連接部
分)をAとし、オーリング22がカップ23より図示横
方向で所定の締め力を受ける第2位置(第2オーリング
収容室25の内周面とガイド面27との連接部分)をB
とすると、パイプ14のカップ23への挿入時に、オー
リング21の中心aが第1位置Aに達するよりも先に、
オーリング24の中心bが第2位置Bに達する寸法関係
に設定されている。
【0016】また、段差部26は第1オーリング収容室
24のオーリング21に対する締め代を形成する内周面
と第2オーリング収容室25のオーリング22に対する
締め代を形成する内周面とを滑らかに繋ぐ傾斜角度θの
傾斜面を有する。傾斜角度θは例えば30度以下に設定
するのが最適である。
【0017】この実施の形態1の構造によれば、パイプ
14とカップ23とかなる圧力導入部にオーリング2
1,22よるなるシールド構造を組付けるには、先ず、
図2に示すように、パイプ14のホルダ15より突出し
た部分にオーリング21,22を軸方向に並列配置とな
るように外嵌装着しておく。その装着形態はオーリング
21,22がパイプ14に外接嵌合されるとき、オーリ
ング21,22の内径が外側に広がるように撓み、その
反作用による復元弾性がオーリング21,22よりパイ
プ14に作用することにより、オーリング21,22が
パイプ14に落下しないように取り付いた態様である。
次に、パイプ14がカップ23に挿入されることによ
り、図1に示すように、オーリング21,22がパイプ
14の外周面と第1・第2オーリング収容室24,25
の内周面との間で弾性変形した形態に挿入配置される。
【0018】特に、この実施の形態1によれば、図2に
示すように、前記中心a,bと第1・第2位置A,Bと
からなる寸法関係が設定されたことにより、オーリング
21,22を装着したパイプ14がカップ23の第2・
第1オーリング収容室25,24より貫通孔13に向け
て順に挿入される際、挿入順の先側のオーリング21の
中心aが第1位置Aに接触する前に挿入順の後側のオー
リング22の中心bが第2位置Bに接触する。これよ
り、オーリング21が所定の締め力による応力を受ける
前に、オーリング22が所定の締め力による応力を受け
て第2オーリング収容室25に挿入される。このため、
オーリング22の中心bが第2位置Bに接触してカップ
23より所定の締め力による応力を受けるとき、オーリ
ング21の中心aが第1位置に接触しておらずカップ2
3より所定の締め力による応力を受けない。よって、オ
ーリング22のはみ出しが適切に抑制できる。
【0019】また、オーリング21が第1位置Aより段
差部16を経て第1オーリング収容室24に挿入される
場合には、オーリング22は既に第2オーリング収容室
25の内周面とパイプ14の外周面とが平行に対向する
部分に位置するため、オーリング22はオーリング21
より応力を受けても第2オーリング収容室25とホルダ
15との隙間よりはみ出す不都合は生じない。
【0020】また、段差部26が傾斜角度θなる傾斜面
により第1・第2オーリング収容室24,25の内周面
を互いに繋いでいるので、オーリング21の第2オーリ
ング収容室25から第1オーリング収容室24への挿入
性が高まる。
【0021】なお、この実施の形態1では、第1・第2
オーリング収容室24,25の孔径差(D4−D3)の
設定にもよるが、ホルダ15より突出した部分にオーリ
ング21,22を軸方向に並列配置となるように外嵌装
着したパイプが、カップ23の第2・第1オーリング収
容室25,24より貫通孔13に向けて挿入される際、
挿入順の先側のオーリング21が第2オーリング収容室
25の内周面に接触する場合と接触しない場合とがあ
る。
【0022】実施の形態2.図3は本発明の実施の形態
2に係るシールド構造を示す縦断面図であって、前記オ
ーリング21,22に相当するオーリング31,32に
おいて少なくも前記カップ23に相当するカップ36へ
の挿入順の後側のオーリング32の内径が挿入順の先側
のオーリング31の内径よりも大きい寸法に設定され、
パイプ14が径大オーリング装着部35をホルダ15の
下位に有し、径大オーリング装着部35にオーリング3
2を装着し、径大オーリング装着部35より突出したパ
イプ14にオーリング31を装着した状態において、係
るパイプ14がカップ36の第2オーリング収容室38
より第1オーリング収容室37を経て貫通孔13に向け
て順に挿入される際、径大オーリング装着部35がオー
リング31を押し、ホルダ15がオーリング32を押
す。つまり、オーリング31,32が互いに接触しない
ように、オーリング31,32が径大オーリング装着部
35とホルダ15とで個別に押されることにより、オー
リング31の応力がオーリング32に作用せず、オーリ
ング32のはみ出しが適切に抑制できるようにしたもの
である。カップ36の第1・第2オーリング収容室3
7,38の内周面を互いに繋げる段差部39は挿入方向
(図2の矢印Xの向き同じ方向)と直交する平坦面を有
している。
【0023】実施の形態3.図4は本発明の実施の形態
3に係るシールド構造を示す縦断面図であって、前記オ
ーリング21,22に相当するオーリング41,42に
おいて少なくもカップ10への挿入順の後側のオーリン
グ42の内径が挿入順の先側のオーリング41の内径よ
りも大きい寸法に設定されたことにより、オーリング収
容室12の内周面に段差部が存在しないカップ10を使
用しても、オーリング41の応力がオーリング42に作
用せず、オーリング42のはみ出しが抑制できるように
したものである。
【0024】実施の形態4.図5は本発明の実施の形態
4に係るシールド構造を示す縦断面図であって、この実
施の形態4は前記図4に示した実施の形態3におけるパ
イプ14にリング状の鍔部材43を径大オーリング装着
部35の下位に配置して、オーリング41,42および
パイプ14ならびに径大オーリング装着部35などの寸
法設定の自由度を高める効果もある。つまり、前記実施
の形態3を示した図4において、オーリング41が径大
オーリング装着部35で押されるためには、オーリング
41の線径をdとし、径大オーリング装着部35の外径
とパイプ14の外径と差の1/2である径大オーリング
装着部35とパイプ14との段差をDとすると、段差D
は下記式 D>d/2………(1) を満足しなければ、挿入時において、オーリング41の
上部が径大オーリング装着部35よりはみ出し、オーリ
ング41とオーリング42とが接触することにより、オ
ーリング41の応力がオーリング42に伝わり、従来と
同様にオーリング42のオーリング収容室12とホルダ
15との隙間からのはみ出しを生じる。これに対し、図
5では鍔部材43を用いたので、オーリング41,42
が鍔部材43により相互に直接的に接触しないため、
(1)式の条件は不要である。よって、オーリング4
1,42およびパイプ14ならびに径大オーリング装着
部35などの寸法設定の自由度を高めることができる。
【0025】実施の形態5.図6は本発明の実施の形態
5に係るシールド構造を示す縦断面図であって、前記オ
ーリング21,22に相当するオーリング51,52は
線径と内径とが同じであるが、パイプ14がオーリング
51,52間に存在するリング状の鍔部材53を外側に
一体に備えたもので、ホルダ15と鍔部材53との間に
ホルダ15と鍔部材53とパイプ14とにより形成され
た溝にオーリング32を装着し、鍔部材53より突出し
たパイプ14にオーリング51を装着した状態におい
て、パイプ14がカップ10のオーリング収容室12よ
り貫通孔13に向けて順に挿入される際、鍔部材53が
オーリング51を押すことにより、オーリング51,5
2およびパイプ14などの寸法設定の自由度を高めるこ
とができる。なお、オーリング52装着する溝は、図6
に示すように鍔部材53によりパイプ14に片側開放形
状に形成されるか、または、図示はしないが鍔部材53
と所定間隔をおいて鍔部材53に相当する別の鍔部材を
パイプ14に一体に備え、この図示しない鍔部材と上記
鍔部材53とパイプ14とにより形成した溝のいずれで
も良い。
【0026】実施の形態6.前記実施の形態1〜5にお
ける複数のオーリング21,22,31,32,41,
42,51,52が硬度を異にしても良い。
【0027】
【発明の効果】以上のように、請求項1〜6の発明によ
れば、パイプとカップとの共同により構成された圧力導
入部に複数のオーリングよりなるシールド構造を備えた
圧力センサにおいて、少なくともオーリング、パイプ、
カップ内の1つの要素の形状を変更することにより、パ
イプ側に装着された複数のオーリングがカップに対する
パイプの挿入に伴いカップのオーリング収容室への弾性
変形した形態で挿入配置される際、挿入順の後側のオー
リングがオーリング収容室よりはみだす不都合を解消し
て組立性への悪影響を低減でき、複数のオーリングの材
料や硬度などのような特性の選択自由度が増す効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1に係る圧力センサの組
立後のシールド構造を示す縦断面図である。
【図2】 同実施の形態1に係る圧力センサの組立前の
シールド構造を示す縦断面図である。
【図3】 本発明の実施の形態2に係る圧力センサの組
立後のシールド構造を示す縦断面図である。
【図4】 本発明の実施の形態3に係る圧力センサの組
立後のシールド構造を示す縦断面図である。
【図5】 本発明の実施の形態4に係る圧力センサの組
立後のシールド構造を示す縦断面図である。
【図6】 本発明の実施の形態5に係る圧力センサの組
立後のシールド構造を示す縦断面図である。
【図7】 従来の圧力センサを一部破断して示す側面図
である。
【図8】 従来の圧力センサの組立途中でのシールド構
造の不具合を示す縦断面図である。
【符号の説明】
10,23,36 カップ、12 オーリング収容室、
14 パイプ、15 ホルダ、20 圧力センサ、2
1,22,31,32,41,42,51,52 オー
リング、24,37 第1オーリング収容室、25,3
8 第2オーリング収容室、26,39 段差部、35
径大オーリング装着部、43,53 鍔部材。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のオーリングを軸方向に並列配置と
    なるように外嵌装着したパイプが、このパイプとの共同
    により圧力導入部を形成するカップに形成されたオーリ
    ング収容室よりその底部に形成された貫通孔に向けて挿
    入されることにより、複数のオーリングがパイプの外周
    面とオーリング収容室の内周面との間で弾性変形した形
    態に挿入配置された圧力センサにおいて、オーリング収
    容室への挿入順の後側のオーリングの線径が先側のオー
    リングの線径より大きい寸法に設定され、オーリング収
    容室が各オーリングに対応する複数のオーリング収容室
    を備え、これらのオーリング収容室の各オーリングと接
    触する内周面が段差部を介して繋がれており、この段差
    部はパイプ側に装着された複数のオーリングがカップの
    オーリング収容室に挿入される際に線径の大きなオーリ
    ングが線径の小さいオーリングよりも先にオーリング収
    容室での所定の締め力を発生する位置に設定されたこと
    を特徴とする圧力センサ。
  2. 【請求項2】 段差部が複数のオーリングの挿入方向に
    行くに従って徐々に内径を小さくして複数のオーリング
    収容室の内周面を滑らかに繋ぐ傾斜面を有したことを特
    徴とする請求項1記載の圧力センサ。
  3. 【請求項3】 複数のオーリングを軸方向に並列配置と
    なるように外嵌装着したパイプが、このパイプとの共同
    により圧力導入部を形成するカップに形成されたオーリ
    ング収容室よりその底部に形成された貫通孔に向けて挿
    入されることにより、複数のオーリングがパイプの外周
    面とオーリング収容室の内周面との間で弾性変形した形
    態に挿入配置された圧力センサにおいて、少なくともカ
    ップヘの挿入順の後側のオーリングの内径が挿入順の先
    側のオーリングの内径よりも大きい寸法に設定され、パ
    イプに径大オーリング装着部を突設し、この径大オーリ
    ング装着部に後側のオーリングを装着し、径大オーリン
    グ装着部より突出したパイプに先側のオーリングを装着
    して、パイプ側に装着された複数のオーリングがカップ
    のオーリング収容室に挿入される際にパイプの径大オー
    リング装着部が先側のオーリングを押すようにしたこと
    を特徴とする圧力センサ。
  4. 【請求項4】 複数のオーリングを隔離するリング状の
    鍔部材が径大オーリング装着部より突出したパイプに配
    置され、複数のオーリングがカップのオーリング収容室
    に挿入される際に上記鍔部材が挿入順の先側のオーリン
    グを径大オーリング装着部に代わり押すようにしたこと
    を特徴とする請求項3記載の圧力センサ。
  5. 【請求項5】 複数のオーリングを軸方向に並列配置と
    なるように外嵌装着したパイプが、このパイプとの共同
    により圧力導入部を形成するカップに形成されたオーリ
    ング収容室よりその底部に形成された貫通孔に向けて挿
    入されることにより、複数のオーリングがパイプの外周
    面とオーリング収容室の内周面との間で弾性変形した形
    態に挿入配置された圧力センサにおいて、パイプにオー
    リングのそれぞれを個別に外嵌装着する溝を備えたこと
    を特徴とする圧力センサ。
  6. 【請求項6】 複数のオーリングが硬度を異にすること
    を特徴とする請求項1または請求項3または請求項5の
    いずれかに記載の圧力センサ。
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