JP2016212015A - 圧力検知装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 圧力センサを覆う封止材層が内燃機関の振動に共振しにくくなり、且つ低温環境下でも検出値の変動を抑制できる圧力検知装置を提供する。
【解決手段】 センサ収納凹部5bの底部に圧力センサ10が固定されている。センサ収納凹部5bの内部には、圧力センサ10の感知部10aに接触する第1の封止材15と、第2の封止材16を覆う第2の封止材16が設けられている。第1の封止材15は弾性率が低いゲル材であり、第2の封止材16は弾性率の高いゴム材である。2つの封止材を組み合わせることで、封止材層14全体の共振周波数を高くでき、内燃機関の振動に共振しにくくなる。また、低温で弾性率が変化しやすい第2の封止材16が感知部10aに接触していないので、低温での検知出力の変動を抑制できる。
【選択図】図2
【解決手段】 センサ収納凹部5bの底部に圧力センサ10が固定されている。センサ収納凹部5bの内部には、圧力センサ10の感知部10aに接触する第1の封止材15と、第2の封止材16を覆う第2の封止材16が設けられている。第1の封止材15は弾性率が低いゲル材であり、第2の封止材16は弾性率の高いゴム材である。2つの封止材を組み合わせることで、封止材層14全体の共振周波数を高くでき、内燃機関の振動に共振しにくくなる。また、低温で弾性率が変化しやすい第2の封止材16が感知部10aに接触していないので、低温での検知出力の変動を抑制できる。
【選択図】図2
Description
本発明は、内燃機関の吸気圧や排気圧などを測定する圧力検知装置に関する。
特許文献1に圧力検知装置に関する発明が記載されている。
この圧力検知装置は、ケースの凹部の底部に半導体圧力センサチップおよび回路チップが収納されており、半導体圧力センサチップと回路チップとがボンディングワイヤで接続されている。
この圧力検知装置は、ケースの凹部の底部に半導体圧力センサチップおよび回路チップが収納されており、半導体圧力センサチップと回路チップとがボンディングワイヤで接続されている。
ケースの凹部内で半導体圧力センサチップが第1の封止材で固定されている。第1の封止材は、高弾性率を持つものでありフッ素系のゴム材料で形成されている。第1の封止材は半導体圧力センサチップの周囲に充填されている。
さらに、ケースの凹部内には、半導体圧力センサチップと回路チップを覆う第2の封止材が充填されている。第2の封止材は、半導体圧力センサチップと回路チップおよびボンディングワイヤへ応力を与えないように低弾性率を有するフッ素系のゲル材料やフロロシリコーンゲルで形成されている。
前記従来例では、半導体圧力センサチップを覆っている第2の封止材が低弾性率のゲル材料である。これは半導体圧力センサに対して、封止材が起因となる 応力を与えるのを抑制し、またボンディングワイヤに応力を与えるのを防止するためである。
しかし、ゲル材料は弾性係数が低いため固有値が低い欠点がある。ここでの固有値とは、凹部内に充填されているゲル材料が低次の各種モードで共振するときの固有振動数である。
圧力検知装置は、ガソリンエンジンやディーゼルエンジンの吸気圧または排気を検出するために使用されるが、これらエンジンは比較的低い周波数の振動を発生し、その振動数は2000Hz未満となるのが一般的である。凹部に充填されているゲル材料は固有値が低く共振周波数が1000Hz前後であるため、ゲル材料がエンジンの振動に共振しやすい。ゲル材料の共振が発生すると、その力が半導体圧力センサチップに伝達され、半導体圧力センサチップの圧力検出値に誤差が生じることになる。また、凹部内でゲル材料が共振して大きく捩じれたりすることで、ゲル材料が凹部内から剥がれるなどの故障が生じることもある。
一方、半導体圧力センサチップを覆う封止材として弾性率が高いゴム材料を使用すると、凹部に充填されたゴム材料の前記固有値が高くなり、エンジンの振動に共振しにくくなる。しかし、ゴム材料は弾性率が温度により変動しやすく、低温になると弾性率が急に高くなる傾向がある。例えば、フッ素系ゴムはガラス転移点がほぼ−30℃であり、温度が−20℃ を下回ると弾性率が急に高くなる。そのため、フッ素系ゴムを封止材として使用した圧力検知装置を低温環境で使用すると、封止材から圧力センサチップに応力を与えることになり、圧力の検出値に変動が発生しやすくなる。
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、温度変化があっても検出値の変動が少なく、また封止材の固有値を低くでき、内燃機関などの振動に共振しにくい構造とした圧力検知装置を提供することを目的としている。
本発明は、ケースに形成された凹部に、圧力センサと、前記圧力センサを覆う封止材層とが収納されている圧力検知装置において、
前記封止材層は、その層の表面よりも前記圧力センサの感知部に接する部分の弾性率が低いことを特徴とするものである。
前記封止材層は、その層の表面よりも前記圧力センサの感知部に接する部分の弾性率が低いことを特徴とするものである。
また本発明の圧力検知装置では、前記封止材層は、その層の表面の弾性率が、前記感知部に接する部分の弾性率の50倍以上であることが好ましい。
また、前記封止材層の固有値が1000Hz以上であることが好ましい。
また、前記封止材層の固有値が1000Hz以上であることが好ましい。
本発明の圧力検知装置は、前記封止材層が、前記圧力センサの感知部に接する第1の封止材と、その上に重ねられた第2の封止材とから成り、前記第1の封止材よりも前記第2の封止材の弾性率が高いものとして構成できる。
本発明の圧力検知装置は、前記第2の封止材は、前記第1の封止材の表面を完全に覆って、前記第1の封止材の表面から前記凹部の内周にかけて充填されていることが好ましい。
また、前記第1の封止材と前記第2の封止材は同じ種類の樹脂材料で形成されていることが好ましい。
例えば、前記第1の封止材がゲル材であり、前記第2の封止材はゴム材である。
本発明の圧力検知装置は、内燃機関の吸気圧または排気圧を測定する箇所に設置されるのに適している。
本発明の圧力検知装置は、内燃機関の吸気圧または排気圧を測定する箇所に設置されるのに適している。
本発明の圧力検知装置は、圧力センサを覆う封止材層における層の表面の弾性率を高くしておくことで、封止材層全体の弾性率を高くでき、各振動モードの固有振動数である固有値を高い領域に設定できる。そのため、内燃機関の振動に共振しにくくなり、封止材層の共振による検出値の誤差の発生や、共振による捩じれなどによる封止材層の剥がれなども防止できるようになる。
一方で、封止材層は圧力センサの感知部に接する部分の弾性率を低くしているため、低温環境下で封止材層から圧力センサの感知部に大きな圧力が作用することがなく、低温での検知出力の変動を抑制できるようになる。
図1に本発明の実施の形態の圧力検知装置1が示されている。
この圧力検知装置1は、自動車や自動二輪車などに搭載されたガソリンエンジンやディーゼルエンジンなどの内燃機関において、吸気圧の圧力を検知するために使用される。あるいは排気圧の圧力を検知するために使用される。
この圧力検知装置1は、自動車や自動二輪車などに搭載されたガソリンエンジンやディーゼルエンジンなどの内燃機関において、吸気圧の圧力を検知するために使用される。あるいは排気圧の圧力を検知するために使用される。
圧力検知装置1はケース2を有している。ケース2は、PPS(ポリヘニレンスルフィド)などの熱可塑性樹脂を材料として射出成型にて全体が一体に形成されている。ケース2には、一部が端子部となる金属製のリードフレームが埋設されている。ケース2は、リードフレームが埋設されている部分を境として下側をケース下部3とし、上側をケース上部4として区分して説明する。
ケース上部4には、周壁4aで囲まれた開口部4bが形成されており、この開口部4bが内燃機関の吸気管の内部空間に連通しており、または排気管の内部空間に連通している。
前記開口部4bの内部には、中間段差部4cと、この中間段差部4cからさらに窪むセンサ収納部5が形成されている。図2に示すように、センサ収納部5では、前記中間段差部4cよりも奥側に収納段差部5aが形成され、この収納段差部5aから下側へ向けてセンサ収納凹部5bが形成されている。センサ収納凹部5bの底部では、ケース下部3の上面に、実装底面5cと、実装底面5cを囲むように突出した突条部である堤部5dが一体に形成されている。
センサ収納凹部5bの底部には、堤部5dの外周面からセンサ収納凹部5bの内面 にかけて被覆層 6が設けられている。被覆層6はエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂材料が硬化した層である。被覆層6の内面6aと、被覆層6が設けられていない上方に露出しているセンサ収納凹部5bの内面の双方によって、センサ収納凹部5bの内壁面が形成されている。
前記被覆層6は、合成樹脂製のケース2と、これに埋設されている金属製のリードフレームとの熱膨張係数差に伴う亀裂などを塞いで、センサ収納凹部5bに収納される第1の封止材15となるゲル材に気泡が入り込まないようにするために形成されている。
前記実装底面5cに圧力センサ10が実装されている。圧力センサ10は圧力センサチップであり、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)構造である。圧力センサ10は、シリコン(Si)基板が積層されたものであり、圧力で変形する撓み部と、撓み部の撓み量を検知するピエゾ 素子部などを有している。圧力センサ10は、ダイボンディング樹脂11によって前記実装底部5cに接着固定されている。圧力センサ10は上面が圧力を検知する感知部10aであり、この感知部10aがセンサ収納凹部5bの内部空間に向けられている。
ケース2に埋設された前記リードフレームの一部が、ケース下部3とケース上部4との境界部に現れ、その一部でランド部が形成されている。圧力センサ10の電極端子部と前記ランド部は、ボンディングワイヤ12によって接続されている。
図1に示すように、ケース2には回路実装凹部4dが形成され、その内部に回路部として半導体素子 7が収納されている。前記リードフレームの一部がケース2には外方へ突出する端子部8となっており、圧力センサ10と半導体素子7は端子部8に導通している。
図2に示すように、センサ収納凹部5bの内部に、圧力センサ10を覆う封止材層14が設けられている。封止材層14は、第1の封止材15と第2の封止材16とが重ねられて構成されている。センサ収納凹部5bの内部において、第1の封止材15は、圧力センサ10の感知部10aに接触するように充填されている。第2の封止材16は感知部10aには接触せずに第1の封止材15を覆っており、その表面はケース2の開口部4b内に露出している。図2に示すように、第2の封止材16は、第1の封止材15の表面を完全に覆うことができるように 、第1の封止材15の表面からセンサ収納凹部5bの内面の全周囲に接するように充填されている。
第1の封止材15と第2の封止材16は、耐熱性で耐薬品性の樹脂材料で形成されており、好ましくはフッ素系の 樹脂材料で形成されている。第1の封止材15は弾性率が低く、第2の封止材16は第1の封止材15よりも弾性率が高い。第1の封止材15がゲル材であり、弾性率は0.020MPa以下であり、好ましくは0.010MPa以下である。第2の封止材16はゴム材であり、弾性率は1MPa以上である。第2の封止材16の弾性率は、第1の封止材15の弾性率の50倍以上であることが好ましい。
この圧力検知装置1の封止材層14は、弾性率の低い第1の封止材15が弾性率の高い第2の封止材16で覆われて構成されている。両封止材15,16は同じ種類のフッ素系樹脂材料で形成されているため、互いに親和性に優れており、両封止材15,16から成る封止材層14は一体となって挙動しやすい。このときの封止材層14の全体の弾性率は、第1の封止材15の単体での弾性率よりも高くなる。よって封止材層14の固有値の共振周波数を、通常は2000Hz未満である内燃機関の周波数よりも高い領域に設定でき、内燃機関が振動しても封止材層14が共振しにくくなる。 封止材層14の共振を防止できるため検知すべき圧力が変動するのを防止でき、誤差の少ない圧力検知を実現できる。また封止材層14が共振してセンサ収納凹部5bから剥がれるなどの現象が生じにくくなる。
この圧力検知装置1において、第1の封止材15と第2の封止材16との複合材である封止材層14の弾性率を高めるためには、第2の封止材16の体積が第1の封止材15の体積よりも大きいことが好ましく、第2の封止材16の体積は第1の封止材15の体積の1.5倍以上であることが好ましい。
また、圧力センサ10の感知部10aに接している第1の封止材15はゲル材で弾性率が低いため、封止材層14が変形しても感知部10aに応力が伝達されにくい。さらに、第2の封止材16が感知部10aに直接に接触していないため、 低温において第2の封止材16の弾性率が高くなっても、第2の封止材16から感知部10aに応力が作用しにくくなり、圧力センサ10の出力値に変動が生じにくい。
なお、センサ収納凹部5bの内部に封止材が3層またはそれ以上の層で充填されており、圧力センサ10の感知部10aに接する層から、表面の層にかけて弾性率が段階的に高くなるように構成されていてもよい。
実施例の圧力検知装置1では、センサ収納凹部5bの縦方向(Y方向)の開口幅寸法Lyを5.2mm、横方向の開口幅寸法Lxを2.3mm、収納段差部5aから圧力センサ10の感知部10aまでの深さ寸法Dを0.95mmとした。
感知部10aに接する第1の封止材15は、フッ素系樹脂のゲル材であり、弾性率が0.009MPa、密度が1770kg/m3であった。第2の封止材16は、フッ素系樹脂のゴム材であり、弾性率が1.100MPa、密度が1770kg/m3であった。
実施例では、センサ収納凹部5bに第1の封止材15を0.4cc、第2の封止材16を0.004cc注入してそれぞれを架橋させた。
図3は比較例1の圧力検知装置101Aと比較例2の圧力検知装置101Bの構造を示している。
センサ収納凹部5bの形状と寸法は実施例と同じである。比較例1は、センサ収納凹部5bに第1の封止材15のみを0.4cc注入して架橋させたものである。比較例2は、センサ収納凹部5bに第2の封止材16のみを0.4cc注入して架橋させたものである。
図4は、実施例および比較例1と比較例2の固有値を比較した線図である。固有値は、センサ収納凹部5bの内部の封止材の低次の共振モードをモード1からモード5まで想定し、その共振周波数をシミュレーションで求めたものである。
モード1は、センサ収納凹部5b内に位置する封止材のY方向の両端部が、Y方向に延びる中心軸回りに互いに逆向きに捩じられる振動モードである。モード2は、封止材をYに二分する中心部がZ方向へ往復移動する振動モードである。モード3は、センサ収納凹部5bのY方向に離れた2か所にZ方向に延びる中心軸を設定したときに、封止材のY方向の両端部がそれぞれの中心軸を中心としてX−Y平面内で互いに逆向きに往復回転する振動モードである。モード4は、封止材のY方向の両端部がZ方向の同じ方向へ往復運動する振動モードである。モード5は、封止材のY方向の両端部がZ方向の互いに逆方向へ往復運動する振動モードである。
図4の線図は、横軸にモード1ないしモード5の各モードが示され、縦軸に実施例および比較例1,2の固有値が示されている。弾性率の低いゲル材である第1の封止材15のみを使用した比較例1は、各モードの共振周波数が1000Hz未満の低い値になり、封止材が内燃機関の振動に共振しやすい。
比較例2は、各モードの共振周波数がきわめて高くなっている。
比較例2は、各モードの共振周波数がきわめて高くなっている。
本発明の実施例は、封止材層14が第1の封止材15と第2の封止材16の組み合わせで構成されているため、各モードの共振周波数を2000Hz以上の高い領域に設定できる。その結果、封止材層14が内燃機関の振動に共振しにくくなる。
図5と図6は、前記実施例と比較例2における検知出力の温度特性を比較している。
図5は、実施例の圧力検知装置1を120℃、25℃、−30℃の環境下で動作させた結果を示しており、横軸が圧力検知装置1に与えられた圧力であり、縦軸が出力電圧である。図6は、第2の封止材16のみを使用した比較例2の圧力検知装置101Bを120℃、25℃、−30℃の環境下で動作させた結果を示しており、横軸が圧力検知装置101Bに与えられた圧力であり、縦軸が出力電圧である。
図5は、実施例の圧力検知装置1を120℃、25℃、−30℃の環境下で動作させた結果を示しており、横軸が圧力検知装置1に与えられた圧力であり、縦軸が出力電圧である。図6は、第2の封止材16のみを使用した比較例2の圧力検知装置101Bを120℃、25℃、−30℃の環境下で動作させた結果を示しており、横軸が圧力検知装置101Bに与えられた圧力であり、縦軸が出力電圧である。
図5に示す実施例では、大きな温度変化があっても出力電圧に目立つような変動が生じていないが、図6に示す比較例2では、特に−30℃において出力電圧が大きく変動している。図7は、横軸に温度を、縦軸に第2の封止材16の弾性率の変化を示している。この線図から解るように、ゴム材である第2の封止材16は、ガラス転移点が−30℃付近になり、温度がマイナスになると弾性率が急激に上昇する。その結果、図6に示すように、低温環境下において圧力センサ10の感知部10aに応力が作用するようになり、圧力の検出値が変動する。
1 圧力検知装置
2 ケース
3 ケース下部
4 ケース上部
5b センサ収納凹部
10 圧力センサ
10a 感知部
14 封止材層
15 第1の封止材
16 第2の封止材
101A 比較例1の圧力検知装置
101B 比較例2の圧力検知装置
2 ケース
3 ケース下部
4 ケース上部
5b センサ収納凹部
10 圧力センサ
10a 感知部
14 封止材層
15 第1の封止材
16 第2の封止材
101A 比較例1の圧力検知装置
101B 比較例2の圧力検知装置
Claims (8)
- ケースに形成された凹部に、圧力センサと、前記圧力センサを覆う封止材層とが収納されている圧力検知装置において、
前記封止材層は、その層の表面よりも前記圧力センサの感知部に接する部分の弾性率が低いことを特徴とする圧力検知装置。 - 前記封止材層は、その層の表面の弾性率が、前記感知部に接する部分の弾性率の50倍以上である請求項1記載の圧力検知装置。
- 前記封止材層の固有値が1000Hz以上である請求項1または2記載の圧力検知装置。
- 前記封止材層は、前記圧力センサの感知部に接する第1の封止材と、その上に重ねられた第2の封止材とから成り、前記第1の封止材よりも前記第2の封止材の弾性率が高い請求項1ないし3のいずれかに記載の圧力検知装置。
- 前記第2の封止材は、前記第1の封止材の表面を完全に覆って、前記第1の封止材の表面から前記凹部の内周にかけて充填されている請求項4記載の圧力検知装置。
- 前記第1の封止材と前記第2の封止材は同じ種類の樹脂材料で形成されている請求項4または5記載の圧力検知装置。
- 前記第1の封止材がゲル材であり、前記第2の封止材はゴム材である請求項4ないし6のいずれかに記載の圧力検知装置。
- 内燃機関の吸気圧または排気圧を測定する箇所に設置される請求項1ないし7のいずれかに記載の圧力検知装置。
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