JP2010113350A - ペリクル用支持枠とその製造方法及びペリクル並びに表面処理アルミニウム材の製造方法 - Google Patents
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
【解決手段】アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成され、片側に光学的薄膜体を備えると共に、その反対側の端面に粘着体を備えてペリクルとして使用されるペリクル用支持枠であって、アルミニウム材の表面にポーラス層を有しており、そのポーラス層の表面におけるポア径とセル径の比(ポア径/セル径)が0.4〜0.9の範囲であるペリクル用支持枠であり、また、この片側面に光学的薄膜体を貼着してペリクルを得る。
【選択図】図1
Description
T651処理(溶体化処理後残留応力を除去し、さらに人工時効硬化処理したもの;「アルミニウムハンドブック」社団法人日本アルミニウム協会発行等参照)されたA6061アルミニウム合金の中空押出し材を切断し、支持枠外寸法149mm×122mm×5.8mm、支持枠厚さ2mmとなるように切削研磨して枠材を用意した。次いで、シュウ酸50g/Lの水溶液(C2O4 2−:48.9g/L)を電解液として、30℃で電解電圧40Vの定電圧電解を15分行い、上記枠材を陽極酸化処理した。純水にて洗浄後、得られた陽極酸化皮膜を渦電流式膜厚計((株)フィッシャー・インストルメンツ社製)にて確認したところ膜厚は4.3μmであった。また、陽極酸化皮膜の表面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察倍率10万倍で観察し、ポーラス層に形成されたポアとセルの形状を確認した。縦×横:800nm×1000nmの視野内にある20個のポアを選択し、「ポア径」及び「隣接するポアの中心間距離(r)」を測定し、平均値を求めて、それぞれ「ポア径」及び「セル径」を算出したところ、「ポア径」が40nmであり、「セル径」が110nmであった(ポア径/セル径=0.36)。なお、ポアはSEM画像(二次電子像)で黒く見え、容易に計測できるが、セル構造は不明瞭である。図1はSEM写真におけるポアとセルの様子を模式的に示したものである(参考文献:永山政一,高橋英明,甲田満「アルミニウムアノード酸化皮膜の生成・溶解の挙動」金属表面技術Vol.30,No.9,1979,p438-456)。ここで、「セル径(R)」は「隣接するポアの中心間距離(r)」とR=rの関係にあり、「隣接するポアの中心間距離(r)」を測定することによって算出できる。ここで言う「ポア径」は、ポアが真円ではない場合は、最大径であり、最大径とは、ポーラス層の表面に対して垂直方向から観察したポア形状に外接するように描いた円の直径のことである。また、「隣接するポアの中心間距離(r)」は、隣接するポアの最大径の中点どうしを結んだ距離である。
実施例1で用意したものと同じ枠材を、陽極酸化処理に先駆けて、大気中で200℃、30分間の熱処理を行った。次いで、陽極酸化処理での電解時間を20分にした以外は実施例1と同様にして試験用ペリクル支持枠及び試験用ペリクルを準備した。そして、表1に示す項目を実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。
陽極酸化処理における電解時間を60分とした以外は実施例1と同様にして試験用ペリクル支持枠及び試験用ペリクルを準備した。そして、表1に示す項目を実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。なお、本実施例3で得られた試験用ペリクル支持枠の表面には4本のクラックが確認された。
陽極酸化処理に用いる電解液を硫酸160g/Lの水溶液として、15℃で電解電圧20Vの定電圧電解を25分行い、また、酸浸漬溶解処理における水溶液を別途用意した15℃の硫酸160g/Lの水溶液とした以外は実施例1と同様にして試験用ペリクル支持枠及び試験用ペリクルを準備した。そして、表1に示す項目を実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。
陽極酸化処理に用いる電解液を硫酸160g/L含有の水溶液とすると共に、酸浸漬溶解処理を省略した以外は実施例4と同様にして試験用ペリクル支持枠及び試験用ペリクルを準備した。そして、表1に示す項目を実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。
酸浸漬溶解処理を省略した以外は実施例1と同様にして試験用ペリクル支持枠及び試験用ペリクルを準備した。そして、表1に示す項目を実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。
酸浸漬溶解処理に用いる酸性水溶液をシュウ酸濃度50g/Lとすると共に、この酸性水溶液に枠材を浸漬する時間を60分とした以外は実施例1と同様にして試験用ペリクル支持枠及び試験用ペリクルを準備した。そして、表1に示す項目を実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。
陽極酸化処理に用いる電解液をマロン酸10g/L含有の水溶液とした以外は実施例1と同様にして試験用ペリクル支持枠及び試験用ペリクルを準備したが、陽極酸化皮膜は形成されなかった。
Claims (31)
- アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成され、片側に光学的薄膜体を備えると共に、その反対側の端面に粘着体を備えてペリクルとして使用されるペリクル用支持枠であって、
アルミニウム材の表面にポーラス層を有しており、そのポーラス層の表面におけるポア径とセル径の比(ポア径/セル径)が0.4〜0.9の範囲であることを特徴とするペリクル用支持枠。 - アルミニウム材の表面のポーラス層が、陽極酸化処理により形成された陽極酸化皮膜からなる請求項1に記載のペリクル用支持枠。
- 酸性水溶液を用いた酸浸漬溶解処理によりポーラス層のポア径を拡げて、ポーラス層の表面におけるポア径とセル径の比(ポア径/セル径)を0.4〜0.9の範囲にする請求項1又は2に記載のペリクル用支持枠。
- アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成され、片側に光学的薄膜体を備えると共に、その反対側の端面に粘着体を備えてペリクルとして使用されるペリクル用支持枠であって、
アルミニウム材の表面にポーラス層を有しており、そのポーラス層の表面におけるポア径が、ポーラス層の内部のポア径よりも小さく、かつ、ポーラス層の内部のポア径の最大値とセル径の比(ポア径の最大値/セル径)が0.3〜0.9の範囲であることを特徴とするペリクル用支持枠。 - アルミニウム材の表面のポーラス層が、陽極酸化処理により形成された陽極酸化皮膜からなり、封孔処理によりポーラス層の表面におけるポア径を、ポーラス層の内部のポア径よりも小さくした請求項4に記載のペリクル用支持枠。
- 酸性水溶液を用いた酸浸漬溶解処理によりポーラス層のポア径を拡げた後、封孔処理によりポーラス層の表面におけるポア径をポーラス層の内部のポア径よりも小さくした請求項4又は5に記載のペリクル用支持枠。
- アルミニウム材の表面のポーラス層が、シュウ酸又はシュウ酸塩の水溶液を用いた陽極酸化処理により形成された陽極酸化皮膜からなる請求項1〜6のいずれかに記載のペリクル用支持枠。
- 支持枠の表面が着色されている請求項1〜7のいずれかに記載のペリクル用支持枠。
- 90℃の純水に2時間浸漬させて溶出したイオン濃度を測定するイオン溶出試験において、硫酸イオン、硝酸イオン、及び有機酸イオン(シュウ酸イオン、ギ酸イオン、及び酢酸イオンの総量)の総溶出量が、支持枠表面積100cm2あたり純水100ml中への溶出濃度で0.25ppm以下であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のペリクル用支持枠。
- 90℃の純水に2時間浸漬させて溶出したイオン濃度を測定するイオン溶出試験において、有機酸イオン(シュウ酸イオン、ギ酸イオン、及び酢酸イオンの総量)の溶出量が、支持枠表面積100cm2あたり純水100ml中への溶出濃度で0.20ppm以下であることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のペリクル用支持枠。
- 90℃の純水に2時間浸漬させて溶出したイオン濃度を測定するイオン溶出試験において、シュウ酸イオンの溶出量が、支持枠表面積100cm2あたり純水100ml中への溶出濃度で0.01ppm以下であることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載のペリクル用支持枠。
- 90℃の純水に2時間浸漬させて溶出したイオン濃度を測定するイオン溶出試験において、硫酸イオンの溶出量が、支持枠表面積100cm2あたり純水100ml中への溶出濃度で0.01ppm以下であることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載のペリクル用支持枠。
- 含有水分率が、支持枠重量の100ppm以下である請求項1〜12のいずれかに記載のペリクル用支持枠。
- 実質的にマイクロクラックがない請求項1〜13のいずれかに記載のペリクル用支持枠。
- 請求項1〜14のいずれかに記載のペリクル用支持枠の片側に光学的薄膜体を備えると共に、その反対側の端面に粘着体を備えたことを特徴とするペリクル。
- アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成され、片側に光学的薄膜体を備えると共に、その反対側の端面に粘着体を備えてペリクルとして使用されるペリクル用支持枠の製造方法であって、
アルミニウム材の表面にポーラス層を形成し、そのポーラス層の表面におけるポア径とセル径の比(ポア径/セル径)が0.4〜0.9の範囲となるようにすることを特徴とするペリクル用支持枠の製造方法。 - アルミニウム材の表面を陽極酸化処理して、陽極酸化皮膜からなるポーラス層を形成する請求項16に記載のペリクル用支持枠の製造方法。
- 酸性水溶液を用いた酸浸漬溶解処理によりポーラス層のポア径を拡げて、ポーラス層の表面におけるポア径とセル径の比(ポア径/セル径)を0.4〜0.9の範囲にする請求項16又は17に記載のペリクル用支持枠の製造方法。
- アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材で形成され、片側に光学的薄膜体を備えると共に、その反対側の端面に粘着体を備えてペリクルとして使用されるペリクル用支持枠の製造方法であって、
アルミニウム材の表面にポーラス層を形成し、そのポーラス層の表面におけるポア径を、ポーラス層の内部のポア径よりも小さくすると共に、ポーラス層の内部のポア径の最大値とセル径の比(ポア径の最大値/セル径)を0.3〜0.9の範囲にすることを特徴とするペリクル用支持枠の製造方法。 - アルミニウム材の表面を陽極酸化処理して陽極酸化皮膜からなるポーラス層を形成し、封孔処理してポーラス層の表面におけるポア径をポーラス層の内部のポア径よりも小さくする請求項19に記載のペリクル用支持枠の製造方法。
- 酸性水溶液を用いた酸浸漬溶解処理によりポーラス層のポア径を拡げた後、封孔処理によりポーラス層の表面におけるポア径をポーラス層の内部のポア径よりも小さくする請求項19又は20に記載のペリクル用支持枠の製造方法。
- アルミニウム材の表面を、シュウ酸又はシュウ酸塩の水溶液を用いて陽極酸化処理して、陽極酸化皮膜からなるポーラス層を形成する請求項16〜21のいずれかに記載のペリクル用支持枠の製造方法。
- 支持枠の表面が着色される請求項16〜22のいずれかに記載のペリクル用支持枠の製造方法。
- アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム材の表面にポーラス層を形成し、そのポーラス層の表面におけるポア径とセル径の比(ポア径/セル径)が0.4〜0.9の範囲となるようにすることを特徴とする表面処理アルミニウム材の製造方法。
- アルミニウム材の表面を陽極酸化処理して、陽極酸化皮膜からなるポーラス層を形成する請求項24に記載の表面処理アルミニウム材の製造方法。
- 酸性水溶液を用いた酸浸漬溶解処理によりポーラス層のポア径を拡げて、ポーラス層の表面におけるポア径とセル径の比(ポア径/セル径)を0.4〜0.9の範囲にする請求項24又は25に記載の表面処理アルミニウム材の製造方法。
- アルミニウム材の表面にポーラス層を形成し、そのポーラス層の表面におけるポア径を、ポーラス層の内部のポア径よりも小さくすると共に、ポーラス層の内部のポア径の最大値とセル径の比(ポア径の最大値/セル径)を0.3〜0.9の範囲にすることを特徴とする表面処理アルミニウム材の製造方法。
- アルミニウム材の表面を陽極酸化処理して陽極酸化皮膜からなるポーラス層を形成し、封孔処理してポーラス層の表面におけるポア径をポーラス層の内部のポア径よりも小さくする請求項27に記載の表面処理アルミニウム材の製造方法。
- 酸性水溶液を用いた酸浸漬溶解処理によりポーラス層のポア径を拡げた後、封孔処理によりポーラス層の表面におけるポア径をポーラス層の内部のポア径よりも小さくする請求項27又は28に記載の表面処理アルミニウム材の製造方法。
- アルミニウム材の表面を、シュウ酸又はシュウ酸塩の水溶液を用いて陽極酸化処理して、陽極酸化皮膜からなるポーラス層を形成する請求項27〜29のいずれかに記載の表面処理アルミニウム材の製造方法。
- アルミニウム材の表面が着色される請求項24〜30のいずれかに記載の表面処理アルミニウム材の製造方法。
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