JP6013818B2 - ペリクル枠体及びペリクル - Google Patents
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Description
JIS A6061アルミニウム合金材を切断し、枠体外寸法149mm×122mm×5.8mm、枠体厚さ2mmとなるように切削研磨して枠材を用意した。電解液(V2O5+PO4塩)を用意し、陰極にステンレス電極を用意し、陽極に前記枠材を設置し、電解液温度25℃、最高電圧350Vにて10分処理した後、純水にて十分に洗浄し、ペリクル枠体を得た。
上記で得たペリクル枠体の色合いを蛍光灯下で確認し、暗室内の集光灯下にて一般的な陽極酸化アルミニウム合金(比較例2)と比較して検査の難易度を作業者(10名)に確認してもらった。検査良好な人8〜10名を「○」、5〜7名を「△」、0〜4名を「×」とした。その結果を図3に示す。
印加電圧を450Vにした以外は実施例1と同様にして、ペリクル枠体を準備した。図4に示す項目を、実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。結果を図4に示す。
電解液をNa2WO4+KOHに変更した以外は実施例2と同様にして、ペリクル枠体を準備した。図4に示す項目を、実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。結果を図4に示す。
印加する電圧を810Vにした以外は実施例1と同様にして、ペリクル枠体を準備した。図4に示す項目を、実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。結果を図4に示す。
印加する電圧を240Vにした以外は実施例1と同様にして、ペリクル枠体を準備した。図4に示す項目を、実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。結果を図4に示す。
実施例1同じ寸法の枠材を用意した。陽極酸化処理に用いる電解液を硫酸160g/Lの水溶液として、15℃で電解電圧20Vの定電圧電解を25分行った。そして、上記処理した枠材を、有機染料にて染色後、封孔剤(花見化学社製 シーリングXシリーズ)を濃度40ml/Lで含有した水溶液に枠材を入れ、90℃にて20分浸漬して封孔処理を行った。そして純水にて十分に洗浄し、ペリクル枠体を得た。図4に示す項目を、実施例1と同様にしてそれぞれ評価した。結果を図4に示す。
Claims (3)
- 枠状に形成され、開口部を覆う光学的薄膜体を展張支持するペリクル枠体であって、
その表面に空隙を有する酸化皮膜層が設けられており、
前記酸化皮膜層の空隙率が10%以上であり、
前記酸化皮膜層には、前記空隙が形成されない領域が点在する、ペリクル枠体。 - 前記酸化皮膜層は、α−Al2O3とγ−Al2O3の混合層を含む、請求項1に記載のペリクル枠体。
- 請求項1又は2に記載のペリクル枠体と、
前記ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持された光学的薄膜体とを備えるペリクル。
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