JP2010107365A - 基板接続検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板接続検査装置1は、プローブ8を配設したプローブ部7、インターフェース基板5、電気的特性を測定するTDR測定器10、パーソナルコンピュータ15を備えている。複数のプローブ8は、プリント基板2に設けられた複数のランドに同時に接触する。TDR測定器にて発生したパルスをプローブからランドに入力させるとともに、反射された反射波を測定する。反射波の反射波形と基準波形とを比較することにより、プローブが接触不良であるか否か等が判定される。
【選択図】図1
Description
ここで、Z1はTDR測定器の出力インピーダンス(50Ω)を表す。Z2はプローブ接触インピーダンスを表し、正常時を0Ω、接触不良時を10Ωと想定する。Z3は被測定基板内のインピーダンスを表し、短絡時を0Ω、50Ω線路時を50Ωと想定する。また、VCCはTDRパルスの電源電圧を表す(図12参照)。そして、TDR測定器とプローブとの間の配線は50Ω布乗数回路とする。
Claims (3)
- 半導体装置を実装した実装基板上の複数の接続部に同時に接続される複数のプローブと、
複数の前記プローブの中から所定のプローブを選択し、選択した前記所定のプローブに対応する接続部へ所定のパルスを出力し、反射して戻ってきた反射波を測定し、前記反射波の反射波形とあらかじめ設定された基準波形とを比較して、測定に係る実装基板が良品であるか不良品であるかを判定する判定部と
を有し、
前記判定部は、前記反射波形および前記基準波形のうち、前記所定のプローブと前記接続部との接触位置にそれぞれ対応する、前記反射波形の部分と前記基準波形の部分とを比較することにより、前記所定のプローブが前記接続部に良好に接続されていない場合を検知する機能を備えた、基板接続検査装置。 - 前記判定部は、前記所定のプローブが前記接続部に良好に接続されていない場合を検知した場合において、前記反射波形と前記基準波形とを比較することにより、前記反射波形が所定の乖離幅をもって前記基準波形をスライドさせた態様で乖離している場合には、測定に係る実装基板は良品であると判定する機能を備えた、請求項1記載の基板接続検査装置。
- 前記判定部は、前記所定のプローブが前記接続部に良好に接続されていない場合を検知した場合において、複数の前記プローブのメンテナンスを行なう旨の信号を出力する機能を備えた、請求項1または2に記載の基板接続検査装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014235114A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 三菱電機株式会社 | プローブ検査装置及びプローブ検査方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0333665A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-13 | Mitsubishi Electric Corp | プリント配線板の導体欠陥検査装置 |
JPH0348179A (ja) * | 1989-07-15 | 1991-03-01 | Fujitsu Ltd | プリント配線板検査装置 |
JP2004233171A (ja) * | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Nec Semiconductors Kyushu Ltd | 半導体装置の組立不良解析装置およびその不良解析方法 |
WO2008044670A1 (fr) * | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Advantest Corporation | Appareil d'étalonnage, procédé de détermination de contact et appareil de test de semi-conducteurs |
JP2008089536A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | 集積回路装置の接続検査装置 |
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2008
- 2008-10-30 JP JP2008279905A patent/JP5051548B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0333665A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-13 | Mitsubishi Electric Corp | プリント配線板の導体欠陥検査装置 |
JPH0348179A (ja) * | 1989-07-15 | 1991-03-01 | Fujitsu Ltd | プリント配線板検査装置 |
JP2004233171A (ja) * | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Nec Semiconductors Kyushu Ltd | 半導体装置の組立不良解析装置およびその不良解析方法 |
JP2008089536A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | 集積回路装置の接続検査装置 |
WO2008044670A1 (fr) * | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Advantest Corporation | Appareil d'étalonnage, procédé de détermination de contact et appareil de test de semi-conducteurs |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014235114A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 三菱電機株式会社 | プローブ検査装置及びプローブ検査方法 |
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