JP5051548B2 - 基板接続検査装置 - Google Patents
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Description
ここで、Z1はTDR測定器の出力インピーダンス(50Ω)を表す。Z2はプローブ接触インピーダンスを表し、正常時を0Ω、接触不良時を10Ωと想定する。Z3は被測定基板内のインピーダンスを表し、短絡時を0Ω、50Ω線路時を50Ωと想定する。また、VCCはTDRパルスの電源電圧を表す(図12参照)。そして、TDR測定器とプローブとの間の配線は50Ω布乗数回路とする。
Claims (2)
- 半導体装置を実装した実装基板上の複数の接続部に同時に接続される複数のプローブと、
複数の前記プローブの中から所定のプローブを選択し、選択した前記所定のプローブに対応する接続部へ所定のパルスを出力し、反射して戻ってきた反射波を測定し、前記反射波の反射波形とあらかじめ設定された基準波形とを比較して、測定に係る実装基板が良品であるか不良品であるかを判定する判定部と
を有し、
前記判定部は、
前記反射波形および前記基準波形のうち、前記所定のプローブと前記接続部との接触位置にそれぞれ対応する、前記反射波形の部分と前記基準波形の部分とを比較することにより、前記所定のプローブが前記接続部に良好に接続されていない場合を検知する機能と、
前記所定のプローブが前記接続部に良好に接続されていない場合を検知した場合において、前記反射波形と前記基準波形とを比較することにより、前記反射波形が所定の乖離幅をもって前記基準波形をスライドさせた態様で乖離している場合には、測定に係る実装基板は良品であると判定する機能と
を備えた、基板接続検査装置。 - 前記判定部は、前記所定のプローブが前記接続部に良好に接続されていない場合を検知した場合において、複数の前記プローブのメンテナンスを行なう旨の信号を出力する機能を備えた、請求項1記載の基板接続検査装置。
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