JP2010097994A - 積層貫通コンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】積層体の切断ズレによる接続不良や不具合の発生を低減する。
【解決手段】グリーンシート１８に、第１の電極パターン１６の第１の列Ａと第２の電極パターン１７の第２の列Ｂとを交互に配列形成する。グリーンシート１８には、第１の列Ａと第２の列Ｂとを分割する第１の基準線Ｌ１と、第１，第２の列Ａ，Ｂを第１，第２の電極パターン１６，１７毎に分割する第２，第３の基準線Ｌ２，Ｌ３とが設定されている。第１の電極パターン１６は、両側の第２の基準線Ｌ２に亘り、端部１６ａ同士が連結し、第１の基準線Ｌ１まで第２の基準線Ｌ２に沿って引き出された引き出し部１６ｂを有する。第２の電極パターン１６は、第２の基準線Ｌ２に向かって第１の基準線Ｌ１まで引き出された引き出し部１７ｂを有する。引き出し部１６ｂと引き出し部１７ｂとは、第１の基準線Ｌ１に跨って第２の基準線Ｌ２の方向に沿っている。
【選択図】図６

Description

本発明は、積層貫通コンデンサの製造方法に関する。

積層貫通コンデンサは、コンデンサ素体内に、誘電体層を挟んで交互に積層された第１及び第２の貫通電極を備えている。この第１及び第２の貫通電極は、それぞれコンデンサ素体において対向する一対の側面の一方から他方まで貫通している。端子電極は、コンデンサ素体の側面に形成され、側面に露出した第１又は第２の貫通電極と電気的に接続されている。

下記特許文献１に記載された積層貫通コンデンサの製造方法によれば、ライン状に伸びた複数の第１の電極パターンと、第１の電極パターンの間にラインの伸び方向に並んだ複数の矩形状の第２の電極パターンとを、一枚のグリーンシートに形成する。このグリーンシートを第１の電極パターンと第２の電極パターンとが対向するように積層して積層体を形成し、切断して、略直方体形状のグリーンチップを得る。グリーンチップを熱処理することで、コンデンサ素体が得られる。
特開平０８−３７１２９号公報

上記特許文献１に記載された積層貫通コンデンサの製造方法では、矩形状の第２の電極パターンがグリーンチップの一対の側面の一方から他方まで貫通し、グリーンチップの両側面に第２の電極パターンの端面がそれぞれ露出するように、積層体を切断する。このため、矩形状の第２の電極パターンの両端面上で正確に切断する必要がある。

しかしながら、切断は、第２の電極パターンの端面からずれる場合がある。切断が第２の電極パターンから外れた位置になると、第２の電極パターンの端部がグリーンチップに露出しない。このため、コンデンサ素体の表面に形成する外部端子と第２の貫通電極との間で接続不良が発生する。

また、切断が第２の電極パターン上であるものの、端面から外れた位置になると、第２の電極パターンから端部だけが切り離され、複数のグリーンチップの中に、第２の電極パターンの端部だけが残るものが含まれることとなる。この場合、個々のコンデンサ素体によって構成が異なることとなり、不具合が生じる。

そこで本発明は、積層体の切断ズレによる接続不良や不具合の発生を低減可能な積層貫通コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。

本発明の積層貫通コンデンサは、誘電体層を間に挟んで交互に積層された第１の貫通電極と第２の貫通電極とを有するコンデンサ素体を備える積層貫通コンデンサの製造方法であって、第１の貫通電極となる第１の電極パターンと、第２の貫通電極となる第２の電極パターンとをグリーンシート上に配列形成するパターン形成工程と、第１及び第２の電極パターンが形成された複数のグリーンシートを第１の電極パターンと第２の電極パターンとが対向するように積層し、積層体を得る積層工程と、積層体に含まれる複数のグリーンシートに設定された複数の第１の基準線と複数の第２の基準線と複数の第３の基準線とに沿って積層体を積層方向に切断し、略直方体形状の複数のグリーンチップを得る切断工程と、グリーンチップに熱処理を施すことにより得られるコンデンサ素体に端子電極を形成する端子形成工程と、を備え、パターン形成工程では、第１の電極パターンが並んだ第１の列と第２の電極パターンが並んだ第２の列とが交互に位置するように、第１及び第２の電極パターンを形成し、第１の基準線は、第１の列と第２の列とを分割する直線であり、第２の基準線は、第１の基準線の間の領域において第１の基準線と垂直に伸び、第１の列を第１の電極パターン毎に分割する直線であり、第３の基準線は、第１の基準線の間の領域において第１の基準線と垂直に伸び、第２の列を第２の電極パターン毎に分割する直線であり、第１の電極パターンは、第１の列において、隣り合う第２の基準線に亘って形成され、隣り合う当該第１の電極パターンの端部同士は、連結すると共に、両側の第１の基準線まで第２の基準線に沿って引き出された引き出し部をそれぞれ有し、第２の電極パターンは、第１の電極パターンの端部同士と隣り合う位置に配置され、それぞれ両側の第２の基準線に向かって両側の第１の基準線まで引き出された引き出し部を有し、隣り合う第１の電極パターンの端部同士がそれぞれ有する引き出し部と、第２の電極パターンが有する引き出し部とは、一体となるように形成されると共に、第１の基準線に跨って第２の基準線の方向に沿って帯状に形成されていることを特徴とする。

本発明の積層貫通コンデンサの製造方法では、パターン形成工程において、グリーンシートに、第１の電極パターンが並んだ第１の列と第２の電極パターンが並んだ第２の列とが、交互に位置するように、第１〜第３の基準線を基準にして配列形成する。第１の基準線は、第１の列と第２の列とを分割する線である。第２の基準線は、第１の列を第１の電極パターン毎に分割する線である。第３の基準線は、第２の列を第２の電極パターン毎に分割する線である。そして、グリーンシートを第１の電極パターンと第２の電極パターンとが対向するように積層して積層体を形成し、積層体を第１〜第３の基準線に沿って切断する。これにより、略直方体形状の複数のグリーンチップを形成する。その後、グリーンチップに熱処理を施して得たコンデンサ素体に端子電極を形成し、積層貫通コンデンサを形成する。

グリーンシートに形成される第１の電極パターンは、第１の列において、隣り合う第２の基準線に亘って形成され、隣り合う当該第１の電極パターンの端部同士は、連結すると共に、両側の第１の基準線まで第２の基準線に沿って引き出された引き出し部をそれぞれ有する。すなわち、第２の基準線付近において隣り合う第１の電極パターンが連続し、第１の列において複数の第１の電極パターンが一体的に形成されている。このため、積層体の切断が第２の基準線からずれたとしても、切断面に、第１の電極パターンを確実に露出させることができる。よって、第１の電極パターンから形成される第１の貫通電極と切断面に形成される端子電極との接続不良を低減できる。また、切断がずれることによって、第１の電極パターンの端部だけが切り離されるといった不具合や、個々のグリーンチップによって第１の電極パターンの形状が異なるといった不具合の発生も防止できる。

また、グリーンシートに形成される第２の電極パターンは、第１の電極パターンの端部同士と隣り合う位置に配置され、両端部がそれぞれ両側の第２の基準線に向かって両側の第１の基準線まで引き出された引き出し部を有する。そして、隣り合う第１の電極パターンの端部同士がそれぞれ有する引き出し部と、第２の電極パターンが有する引き出し部とは、一体となるように形成されると共に、第１の基準線に跨って第２の基準線の方向に沿って帯状に形成されている。このため、積層体の切断が第１の基準線からずれたとしても、切断面に第２の電極パターンを確実に露出させることができる。よって、第２の電極パターンから形成される第２の貫通電極と切断面に形成される端子電極との接続不良を低減できる。また、第２の電極パターンの引き出し部は第１の電極パターンの引き出し部と連結し、第１の基準線に跨って帯状に形成されているので、第２の電極パターンの端部だけが、切り離され、グリーンチップに残るといった、個々のグリーンチップの構造上のばらつきも抑制できる。このため、積層体の切断ズレによる接続不良や不具合の発生を低減できる。

好ましくは、パターン形成工程では、引き出し部の第１の基準線の伸び方向の寸法より中央部の寸法が大きい第２の電極パターンを形成する。

この場合、第２の電極パターンから形成される第２の貫通電極が、幅の広い領域を有することとなる。よって、積層貫通コンデンサにおいて、この第２の貫通電極と第１の貫通電極との対向面積が大きくなり、静電容量を大きくすることができる。

好ましくは、パターン形成工程では、第１の電極パターンの両側に位置する第１の基準線に向かってそれぞれ突出すると共に第１の基準線と離間した突出部を有する第１の電極パターンを形成し、端子形成工程では、端子電極として、第２及び第３の基準線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面に、第１の電極パターンから形成された第１の貫通電極と電気的に接続するように第１の端子電極を形成すると共に、第１の基準線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面に、第２の電極パターンから形成された第２の貫通電極と電気的に接続するように第２の端子電極を形成し、更に、第１の端子電極と第２の端子電極との間にショートが発生するか否かを判定する。

パターン形成工程において、両側の第１の基準線に向かって突出すると共に第１の基準線と離間した突出部を有する第１の電極パターンを形成するので、第１の電極パターンから形成される第１の貫通電極は、第１の基準線によって形成された側面に向かって突出すると共に、側面と離間した突出部を有する。第１の基準線に沿った切断により形成される側面には、第２の端子電極が形成される。このため、第１の基準線に沿った切断がずれた場合、第１の貫通電極の突出部と第２の端子電極とが接触し、第１の端子電極と第２の端子電極がショートする。従って、第１の端子電極と第２の端子電極との間においてショートが発生するか否かを判定することで、第１の基準線に沿った切断のズレを検知できる。

また、第１の電極パターンから形成された第１の貫通電極が信号用電極であり、第２の電極パターンから形成された第２の貫通電極がグランド用電極である。また、第１の電極パターンから形成された第１の貫通電極がグランド用電極であり、第２の電極パターンから形成された第２の貫通電極が信号用電極であってもよい。

本発明の積層貫通コンデンサの製造方法によれば、積層体の切断ズレが生じた場合であっても、構造上のばらつきや接続不良の発生を低減できる。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素に同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

図１は、積層貫通コンデンサの概略斜視図である。積層貫通コンデンサ１は、コンデンサ素体２と、コンデンサ素体２の表面に形成された一対の第１の端子電極３，３と、一対の第２の端子電極４，４と、を備えて構成されている。コンデンサ素体２は、略直方体形状で、互いに対向する短側面２ａ，２ａと、互いに対向する長側面２ｂ，２ｂと、互いに対向する主面２ｃ，２ｃとを有している。なお、短側面２ａは、コンデンサ素体２の長手方向に垂直な面である。

第１の端子電極３，３は、コンデンサ素体２の互いに対向する短側面２ａ，２ａをそれぞれ覆うように形成されている。一方の第１の端子電極３は、コンデンサ素体２の長側面２ｂ，２ｂと主面２ｃ，２ｃとにおける一方の短側面２ａ側の領域にまで亘って形成されている。他方の第１の端子電極３は、コンデンサ素体２の長側面２ｂ，２ｂと主面２ｃ，２ｃとにおける他方の短側面２ａ側の領域にまで亘って形成されている。

第２の端子電極４，４は、それぞれ長側面２ｂ，２ｂの略中央部に、一方の主面２ｃから他方の主面２ｃにまで亘るように帯状に形成されている。第２の端子電極４は、コンデンサ素体２の表面において第１の端子電極３と絶縁されている。第１及び第２の端子電極３，４は、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ−Ｐｄなどの材料で形成され、Ｎｉ−Ｓｎなどのめっきが施されている。

図２は、積層貫通コンデンサの断面構造を示す模式図である。コンデンサ素体２は、複数の第１の貫通電極６と複数の第２の貫通電極７とが、誘電体層８を挟んで交互に積層された構成を有している。第１の貫通電極６と第２の貫通電極７とは、同数で、本実施形態では、それぞれ４つずつコンデンサ素体２内に配置されている。なお、コンデンサ素体２の主面２ｃが、各層と平行な面である。

コンデンサ素体２において、積層方向に隣り合う誘電体層８同士は、その境界が視認できない程度に一体化している。誘電体層８は、例えばＢａＴｉＯ_３系、Ｂａ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ_３系、（Ｂａ，Ｃａ）ＴｉＯ_３系といった誘電体材料によって形成されている。第１及び第２の貫通電極６，７は、例えば、Ｎｉなどの材料によって形成される。

第１及び第２の貫通電極６，７の形状について、図３，４を参照して説明する。図３は、第１の貫通電極を説明するための模式図である。図４は、第２の貫通電極を説明するための模式図である。

図３に示されるように、第１の貫通電極６は、コンデンサ素体２の一方の短側面２ａから他方の短側面２ａまで貫通している。第１の貫通電極６は、短側面２ａに沿った両端部が、一対の長側面２ｂそれぞれに引き出された引き出し部６ｂを有している。すなわち、引き出し部６ｂは、長方形状の誘電体層８に対して、その４隅にそれぞれ引き出された部分である。

第１の貫通電極６は、その引き出し部６ｂを含む端部６ａが、コンデンサ素体２における短側面２ａ上に露出している。よって、第１の貫通電極６は、短側面２ａを覆うように形成された第１の端子電極３と接続されている。特に、第１の貫通電極６は、引き出し部６ｂを有するので、第１の貫通電極６の端部６ａは、短側面２ａの一方端から他方端にまで亘って露出し、且つ、一対の長側面２ｂの端の領域まで露出している。

このため、第１の貫通電極６と、短側面２ａ及び長側面２ｂの端の領域を覆うように形成された第１の端子電極３との接触面積が増え、第１の貫通電極６と第１の端子電極３との電気的な接続の信頼性が向上する。また、第１の端子電極３は、材質上の観点から、誘電体層８より第１の貫通電極６との密着性が高い。このため、コンデンサ素体２の短側面２ａに露出する第１の貫通電極６の面積を大きくすることにより、コンデンサ素体２と第１の端子電極３との密着性を高めることができる。

図４に示されるように、第２の貫通電極７は、一体的に形成された主部７ａと一対の引き出し部７ｂとを有している。主部７ａは、略長方形状に形成され、誘電体層８の略中央部に配置されている。

２つ有るうちの一方の引き出し部７ｂは、主部７ａの長辺の中央部からコンデンサ素体２の一方の長側面２ｂに引き出された部分で、その端部がこの長側面２ｂの長手方向中央部に露出している。他方の引き出し部７ｂは、主部７ａの長辺の中央部からコンデンサ素体２の他方の長側面２ｂに引き出された部分で、その端部がこの長側面２ｂの長手方向中央部に露出している。すなわち、第２の貫通電極７は、略十字状に形成され、一方の長側面２ｂから他方の長側面２ｂまで貫通している。

第２の貫通電極７の一方の引き出し部７ｂは、コンデンサ素体２の一方の長側面２ｂに形成された第２の端子電極４と電気的に接続され、他方の引き出し部７ｂは、他方の長側面２ｂに形成された第２の端子電極４と電気的に接続されている。

第２の貫通電極７の一対の長側面２ｂの対向方向の寸法は、第１の貫通電極６の主部６ａの同方向の寸法と同程度で、互いに重なり合っている。そして、第１の貫通電極６と第２の貫通電極７とは、誘電体層８を挟んで対向し、容量を形成する。

コンデンサ素体２内において、第１及び第２の貫通電極６，７は、コンデンサ素体２の中央を通り短側面２ａに平行な面に対して対称に形成されると共に対称に配置され、且つ、コンデンサ素体２の中央を通り長側面２ｂに平行な面に対して対称に形成されると共に対称に配置されている。

以上説明した積層貫通コンデンサ１は、いずれか一方の主面２ｃが他の部品（例えば、回路基板や電子部品等）に対向して実装される。例えば、回路基板上の信号ラインに第１の端子電極３が接続され、第２の端子電極４が回路基板上のグランドラインに接続される。そして、第１の貫通電極６が信号電極として機能し、第２の貫通電極７がグランド電極として機能する。

図５を参照して、本実施形態に係る積層貫通コンデンサの製造方法について説明する。図５は、本実施形態に係る積層貫通コンデンサの製造工程を示すフロー図である。本実施形態に係る積層貫通コンデンサの製造方法は、準備工程Ｓ１、パターン形成工程Ｓ２、積層工程Ｓ３、切断工程Ｓ４、焼成（熱処理）工程Ｓ５、端子形成工程Ｓ６を備える。以下、各工程について説明する。

準備工程Ｓ１では、誘電体層８となる複数のグリーンシートを準備する。まず、ＢａＴｉＯ_３系、Ｂａ(Ｔｉ，Ｚｒ)Ｏ_３系、又は（Ｂａ，Ｃａ）ＴｉＯ_３系の誘電体材料に、有機ビヒクルなどを混合・混練することによってセラミックペーストを得る。このセラミックペーストをドクターブレード法等によりＰＥＴフィルム上に塗布し、グリーンシートを形成する。

パターン形成工程Ｓ２では、グリーンシート上に第１の貫通電極６となる第１の電極パターンと第２の貫通電極７となる第２の電極パターンとを配列形成する。第１及び第２の電極パターンは、電極ペーストをグリーンシート上にスクリーン印刷することによって形成する。積層工程Ｓ３では、第１及び第２の電極パターンが印刷された複数のグリーンシートと印刷されていないグリーンシートとを所定の順序で積層し、積層方向から加圧して積層体を形成する。

切断工程Ｓ４では、積層体を切断して略直方体形状のグリーンチップを複数形成する。焼成工程Ｓ５では、グリーンチップの脱バインダ処理を行い、その後、グリーンチップを焼成し、コンデンサ素体２を得る。この熱処理により、グリーンシートが誘電体層８となり、第１及び第２の電極パターンが第１及び第２の貫通電極６，７となり、コンデンサ素体２が得られる。

端子形成工程Ｓ６では、コンデンサ素体２の短側面２ａ，２ａにそれぞれ第１の端子電極３を形成し、長側面２ｂ，２ｂにそれぞれ第２の端子電極４を形成する。コンデンサ素体２の短側面２ａには、面全体を覆うように導電性ペーストを塗布し、長側面２ｂには、長手方向中央部に帯状に導電性ペーストを塗布する。その後、塗布した導電性ペーストを焼付け、更に、めっきを施すことにより、第１及び第２の端子電極３，４を形成する。

図６及び図７を参照して、パターン形成工程Ｓ２において形成する第１及び第２の電極パターン１６，１７の形状について説明する。グリーンシート１８には、複数の第１の電極パターン１６が一列に配列した第１の列Ａと、複数の第２の電極パターン１７が一列に配列した第２の列Ｂとが、それぞれ複数形成され、第１の列Ａと第２の列Ｂとが、交互に並んでいる。

グリーンシート１８には、切断工程Ｓ４において切断を行うために、複数の第１〜第３の基準線Ｌ１〜Ｌ３が設定されている。複数の第１の基準線Ｌ１は、グリーンシート１８上において、第１の列Ａと第２の列Ｂとを分割する線である。複数の第１の基準線Ｌ１は、互いに平行且つ等間隔に設定されている。この第１の基準線Ｌ１の伸び方向をＹ方向とし、Ｙ方向と垂直な方向をＸ方向として説明する。

第２の基準線Ｌ２は、隣り合う第１の基準線Ｌ１の間の領域においてＸ方向に伸び、第１の列Ａを第１の電極パターン１６毎に分割する線である。複数の第２の基準線Ｌ２は、互いに平行且つ等間隔に設定されている。第３の基準線Ｌ３は、隣り合う第１の基準線Ｌ１の間の領域においてＸ方向に伸び、第２の列Ｂを第２の電極パターン１７毎に分割する線である。複数の第３の基準線Ｌ３は、互いに平行且つ等間隔に設定されている。

第１の基準線Ｌ１に沿った切断面は、コンデンサ素体２の長側面２ｂとなる面であり、第２及び第３の基準線Ｌ２，Ｌ３に沿った切断面は、コンデンサ素体２の短側面２ａとなる面である。このため、第２の基準線Ｌ２のピッチと第３の基準線Ｌ３のピッチとは同程度で、第２及び第３の基準線Ｌ２，Ｌ３のピッチは、第１の基準線Ｌ１のピッチより大きい。

第１の電極パターン１６は、第１の列Ａにおいて、Ｙ方向に隣り合う第２の基準線Ｌ２に亘って形成される。隣り合う第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士は、連結している。この端部１６ａ同士は、両側の第１の基準線Ｌ１まで第２の基準線Ｌ２に沿って引き出された引き出し部１６ｂをそれぞれ有している。

第２の電極パターン１７は、第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士と隣り合う位置に配置されている。第１の電極パターン１７は、主部１７ａと両側の引き出し部１７ｂとを有する。主部１７ａは、略矩形状である。引き出し部１７ｂは、主部１７ａの両側の第１の基準線Ｌ１と対向する両端が、両側の第２の基準線Ｌ２に向かって両側の第１の基準線Ｌ１まで引き出された部分である。

隣り合う第１の電極パターン１６の一方の側の第１の基準線Ｌ１に向かって引き出された引き出し部１６ｂ同士は、一体的で、第２の基準線Ｌ２に沿って、第１の基準線Ｌ１まで、略一定幅で形成されている。この幅とは、Ｙ方向の寸法である。第２電極パターン１７の引き出し部１７ｂは、第２の基準線Ｌ２の延長線に沿って第１の基準線まで、略一定幅で形成されている。この幅とは、Ｙ方向の寸法である。

隣り合う第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士がそれぞれ有する引き出し部１６ｂ，１６ｂと、第２の電極パターン１７が有する引き出し部１７ｂとは、一体となるように形成されると共に、第１の基準線Ｌ１に跨って、第２の基準線Ｌ２の方向（Ｘ方向）に沿って帯状に形成されている。すなわち、一対の引き出し部１６ｂ，１６ｂと引き出し部１７ｂとは、一体的な帯状に形成され、そのＹ方向の幅は、略一定である。

以上のように第１及び第２の電極パターン１６，１７を形成することにより、隣り合う第１の基準線Ｌ１と隣り合う第２の基準線Ｌ２とに囲まれた各領域内には、第１の電極パターン１６が配置され、隣り合う第１の基準線Ｌ１と隣り合う第３の基準線Ｌ３とに囲まれた各領域には、第２の電極パターン１７が形成される。

図６に示されるように、積層工程Ｓ３では、第１及び第２の電極パターン１６，１７が形成されたグリーンシート１８を第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とが重なるように積層して積層体１０を形成する。すなわち、Ｘ方向には第１の基準線Ｌ１の間隔だけオフセットし、Ｙ方向には第２及び第３の基準線Ｌ２，Ｌ３の間隔の半分だけオフセットして、グリーンシート１８を積層する。これにより、第１の電極パターン１６と第２の電極パターン１７とが対向することとなる。また、各グリーンシート１８の第１の基準線Ｌ１同士が重なり合い、隣り合うグリーンシート１８の第２の基準線Ｌ２と第３の基準線Ｌ３とが重なり合う。

切断工程Ｓ４において、積層体１０に含まれる複数のグリーンシート１８に設定された第１〜第３の基準線Ｌ１〜Ｌ３に沿って積層体１０を切断し、グリーンチップを形成する。例えば、レーザー等で、各グリーンシート１８に設定された第１〜第３の切断線Ｌ１〜Ｌ３に沿って積層体１０を切断する。

また、例えば、回転刃等で、一枚のグリーンシート１８に設定された第１の切断線Ｌ１と第２の切断線Ｌ２のみに沿って積層体１０を切断してもよい。具体的には、一枚のグリーンシート１８に設定された第１の切断線Ｌ１方向と第２の切断線Ｌ２方向とに、積層体１０を貫通するように切断する。この場合、一枚のグリーンシート１８と積層方向に隣り合うグリーンシート１８においては、設定された第１の切断線Ｌ１と第３の切断線Ｌ３に沿って積層体１０を切断することとなる。この結果、一枚のグリーンシート１８の第２の列Ｂにおいて、第２の電極パターン１７は中央で分断されることとなる。そこで、この中央が分断された第２の電極パターン１７を含むチップは、取り除く。

グリーンチップの長側面は、第１の基準線Ｌ１に沿った切断により形成された面である。この長側面の中央には、第２の電極パターン１７の引き出し部１７ｂが露出している。長側面の両端には、第１の電極パターン１６の引き出し部１６ｂが露出している。グリーンチップの短側面は、第２及び第３の基準線Ｌ２，Ｌ３に沿った切断により形成された面である。この短側面には、第１の電極パターン１６の端部１６ａが露出している。

焼成工程Ｓ５において、このグリーンチップを焼成することにより、グリーンシート１８が誘電体層８となり、第１の電極パターン１６が第１の貫通電極６となり、第２の電極パターン１７が第２の貫通電極６，７となる。第１の電極パターン１６の引き出し部１６ｂは、第１の貫通電極６の引き出し部６ｂとなる。第２の電極パターン１７の引き出し部１７ｂは、第２の貫通電極７の引き出し部７ｂとなる。

本実施形態に係る電子部品の製造方法では、グリーンシート１８に形成される第１の電極パターン１６は、第１の列Ａにおいて、隣り合う第２の基準線Ｌ１に亘って形成される。隣り合う第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士は、連結すると共に、両側の第１の基準線Ｌ１まで第２の基準線Ｌ２に沿って引き出された引き出し部１６ｂをそれぞれ有する。すなわち、第２の基準線Ｌ２付近において、隣り合う第１の電極パターン１６が連続し、第１の列Ａにおいて複数の第１の電極パターン１６が一体的に形成されている。このため、積層体１０の切断が第２の基準線Ｌ２からずれたとしても、切断面に、第１の電極パターン１６を確実に露出させることができる。よって、第１の電極パターン１６から形成される第１の貫通電極６と第１の端子電極３との接続不良を低減できる。また、切断がずれることによって、第１の電極パターン１６の端部だけが切り離されるといった不具合や、個々のグリーンチップによって第１の電極パターン１６の形状が異なるといった不具合の発生も防止できる。

また、グリーンシート１８に形成される第２の電極パターン１７は、第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士と隣り合う位置に配置され、両端部がそれぞれ両側の第２の基準線Ｌ２に向かって両側の第１の基準線Ｌ１まで引き出された引き出し部１６ｂを有する。そして、隣り合う第１の電極パターン１６の端部１６ａ同士がそれぞれ有する引き出し部１６ｂと、第２の電極パターン１７が有する引き出し部１７ｂとは、一体となるように形成されると共に、第１の基準線Ｌ１に跨って第２の基準線Ｌ２の方向に沿って帯状に形成されている。このため、積層体１０の切断が第１の基準線Ｌ１からずれたとしても、切断面に第２の電極パターン１７を確実に露出させることができる。よって、第２の電極パターン１７から形成される第２の貫通電極７と第２の端子電極４との接続不良を低減できる。

また、第２の電極パターン１７の端部（引き出し部１７ｂ）は第１の電極パターン１６の引き出し部１６ｂと連結しているので、第２の電極パターン１７の端部だけが、切り離され、グリーンチップに残るといった、個々のグリーンチップの構造上のばらつきも抑制できる。このため、積層体１０の切断ズレによる接続不良や不具合の発生を低減できる。

また、１枚のグリーンシート１８に、第１及び第２の貫通電極６，７となる電極パターン１６，１７を形成する。従って、１種類のグリーンシート１８で積層体１０を形成できるので、製造工程を容易にすることができる。

また、パターン形成工程Ｓ２では、第２の電極パターン１７において、両端部１７ｂのＹ方向の寸法より、中央部のＹ方向の寸法を広くする。この場合、第２の貫通電極７の中央部の幅が大きくなる。よって、積層貫通コンデンサ１において、この第１の貫通電極６と第２の貫通電極７との対向面積が大きくなり、静電容量を大きくすることができる。

引き続いて、上記実施形態の変形例について説明する。各変形例の説明において、上記実施形態と同様な点は説明を省略し、異なる点を主に説明する。

（第１変形例）
図８及び図９を参照して、第１変形例に係る積層貫通コンデンサについて説明する。図８は、第１の貫通電極を説明するための模式図である。図９は、第２の貫通電極を説明するための模式図である。第１変形例に係る積層貫通コンデンサは、上述した第１の貫通電極６に変えて第１の貫通電極２１を有する。第１の貫通電極２１は、第１の貫通電極６と同様に、端部２１ａに４つの引き出し部２１ｂを有する。更に、第１の貫通電極２１は、２つの突出部２１ｃを有する。

一方の突出部２１ｃは、第１の貫通電極２１の一方の長側面２ｂ側の中央部がこの一方の長側面２ｂに向かって略矩形状に突出した部分である。他方の突出部２１ｃは、第１の貫通電極２１の長側面２ｂ側の中央部がこの他方の長側面２ｂに向かって略矩形状に突出した部分である。すなわち、突出部２１ｃは、第２の端子電極４に向かって突出している。ただし、突出部２１ｃの先端と長側面２ｂとの間にはギャップがあり、突出部２１ｃと長側面２ｂに形成された第２の端子電極４とは絶縁されている。

図１０は、本変形例に係る積層貫通コンデンサの製造工程において形成される第１及び第２の電極パターンを示す模式図である。突出部２１ｃを有する第１の貫通電極２１を形成するために、第１の電極パターン２３は、２つの突出部２３ｃを有する。一方の突出部２３ｃは、第１の電極パターン２３の一方の第１の基準線Ｌ１側の中央部が一方の第１の基準線Ｌ１に向かって突出した部分である。他方の突出部２３ｃは、第１の電極パターン２３の他方の第１の基準線Ｌ１側の中央部が他方の第１の基準線Ｌ１に向かって突出した部分である。ただし、突出部２１ｃの先端と第１の基準線Ｌ１との間にはギャップがある。

第１の電極パターン２３は、上述の第１の電極パターン１６と同様に、隣り合う端部２３ａ同士は、連結している。この端部２３ａ同士は、両側の第１の基準線Ｌ１まで第２の基準線Ｌ２に沿って引き出された引き出し部２３ｂをそれぞれ有している。この引き出し部２３ｂ同士は、一体的で、第２の基準線Ｌ２に沿って、第１の基準線Ｌ１まで、略一定幅で形成されている。隣り合う第１の電極パターン２３の端部２３ａ同士がそれぞれ有する引き出し部２３ｂと、第２の電極パターン１７が有する引き出し部１７ｂとは、一体となるように形成されると共に、第１の基準線Ｌ１に跨って、第２の基準線Ｌ２の方向（Ｘ方向）に沿って帯状に形成されている。すなわち、一対の引き出し部２３ｂと引き出し部１７ｂとは、一体的な帯状に形成され、そのＹ方向の幅は、略一定である。

切断工程Ｓ４では、第１の基準線Ｌ１に沿って積層体を切断するが、実際の切断が第１の基準線Ｌ１からずれる場合がある。実際の切断面が第１の電極パターン２３側にずれると、第１の電極パターン２３と第１の基準線Ｌ１に沿った切断面とのギャップが小さくなる。この場合、第１及び第２の端子電極３，４を湿式めっき法などによって形成する場合、めっき液がコンデンサ素体内の第１の貫通電極が形成された層に侵入し、信頼性が低下する虞がある。

また、第１の基準線Ｌ１に沿った実際の切断面がずれると、コンデンサ素体に含まれる第１及び第２の貫通電極の形状が変化するので、積層貫通コンデンサとしての特性が変化する虞もある。

そこで、第１の基準線Ｌ１に沿った実際の切断面がずれたことを容易に検知するために、突出部２３ｃを有する第１の電極パターン２３を形成している。第１の基準線Ｌ１に沿った切断がずれた場合、第１の貫通電極２１の突出部２１ｃと第２の端子電極４とが接触し、第１の端子電極３と第２の端子電極４がショートする。このため、端子形成工程Ｓ６において第１及び第２の端子電極３，４を形成した後に、第１の端子電極３と第２の端子電極４との間にショートが発生するか否かを判定することで、第１の基準線Ｌ１に沿った切断のズレを容易に検知できる。

（第２変形例）
図１１〜図１３を参照して、第２変形例に係る積層貫通コンデンサ４１の構成について説明する。図１１は、積層貫通コンデンサの概略斜視図である。図１２は、第１の貫通電極を説明するための模式図である。図１３は、第２の貫通電極を説明するための模式図である。第２変形例に係る積層貫通コンデンサ４１は、上記の積層貫通コンデンサ１を長側面２ｂの対向方向に引き伸ばした形状を有する積層貫通コンデンサである。

積層貫通コンデンサ４１では、第１の端子電極３がコンデンサ素体４２の長側面４２ｂを覆うように形成されている。第２の端子電極４は、短側面４２ａの略中央部に帯状に形成されている。短側面４２ａは、コンデンサ素体４２の長手方向と垂直な面である。

コンデンサ素体４２が有する第１及び第２の貫通電極４６，４７とは、上述したコンデンサ素体２の第１及び第２の貫通電極６，７と比較すると、縦方向と横方向との寸法比が異なる。

図１２に示されるように、第１の貫通電極４６は、コンデンサ素体４２の一方の長側面４２ｂから他方の長側面４２ｂまで貫通している。第１の貫通電極４６は、長側面４２ｂに沿った両端部４６ｂが、それぞれ両側の短側面４２ａに引き出された引き出し部４６ｂを有している。そして、第１の貫通電極４６は、その引き出し部４６ｂを含む端部４６ａが、コンデンサ素体４２における長側面４２ｂ上に露出し、第１の端子電極３と接続されている。

図１３に示されるように、第２の貫通電極４７は、一体的に形成された主部４７ａと一対の引き出し部４７ｂとを有し、コンデンサ素体４２の一方の短側面４２ａから他方の短側面４２ａまで貫通している。主部４７ａは、略長方形状に形成され、誘電体層８の略中央部に配置されている。

２つ有るうちの一方の引き出し部４７ｂは、主部４７ａの短辺の中央部からコンデンサ素体４２の一方の短側面４２ａに引き出された部分である。他方の引き出し部４７ｂは、主部４７ａの短辺の中央部からコンデンサ素体４２の他方の短側面４２ａに引き出された部分である。一対の引き出し部４６ｂは、一対の短側面４２ａにそれぞれ露出し、一対の第２の端子電極４と電気的に接続されている。

本変形例では、回路基板上の信号ラインに第２の端子電極４が接続され、第１の端子電極３が回路基板上のグランドラインに接続される。そして、第２の貫通電極４７が信号電極として機能し、第１の貫通電極４６がグランド電極として機能する。グランド電極として機能する第１の貫通電極４６が、誘電体層８の短手方向に貫通し、その端部が長側面４２ｂに露出している。このため、第１の貫通電極４６が、誘電体層８の長手方向に貫通する場合より、幅が広くなり、電流が流れる方向と垂直な断面の面積が大きくなる。本実施形態では、この幅の広い第１の貫通電極４６をグランド電極として機能させるため、ＥＳＬを低下させることができる。

図１４は、本変形例に係る積層貫通コンデンサの製造工程において形成される第１及び第２の電極パターンを示す模式図である。本変形例では、第１の基準線Ｌ１に沿った切断面が、コンデンサ素体４２の短側面４２ａとなり、この短側面４２ａに第２の端子電極４が形成される。一方、第２，第３の基準線Ｌ２，Ｌ３に沿った切断面が、コンデンサ素体４２の長側面４２ｂとなり、この長側面４２ｂに第１の端子電極３が形成される。このため、第１の基準線Ｌ１のピッチは、第２及び第３の基準線Ｌ２，Ｌ３のピッチより大きい。

第１の電極パターン５６は、第１の列Ａにおいて、Ｙ方向に隣り合う第２の基準線Ｌ２に亘って形成される。隣り合う第１の電極パターン５６の端部５６ａ同士は、連結している。この端部５６ａ同士は、両側の第１の基準線Ｌ１まで第２の基準線Ｌ２に沿って引き出された引き出し部５６ｂをそれぞれ有している。

第２の電極パターン５７は、第１の電極パターン５６の端部５６ａ同士と隣り合う位置に配置されている。第１の電極パターン５７は、主部５７ａと両側の引き出し部５７ｂとを有する。主部５７ａは、略矩形状である。引き出し部５７ｂは、両側の第２の基準線Ｌ２に向かって両側の第１の基準線Ｌ１まで引き出された部分である。

隣り合う第１の電極パターン５６の一方の側の第１の基準線Ｌ１に向かって引き出された引き出し部５６ｂ同士は、一体となり、第２の基準線Ｌ２に沿って、第１の基準線Ｌ１まで、略一定幅で形成されている。この幅とは、Ｙ方向の寸法である。第２電極パターン５７の引き出し部５７ｂは、第２の基準線Ｌ２の延長線に沿って第１の基準線まで、略一定幅で形成されている。この幅とは、Ｙ方向の寸法である。

隣り合う第１の電極パターン５６の端部５６ａ同士がそれぞれ有する引き出し部５６ｂと、第２の電極パターン５７が有する引き出し部５７ｂとは、一体となるように形成されると共に、第１の基準線Ｌ１に跨って、第２の基準線Ｌ２の方向（Ｘ方向）に沿って帯状に形成されている。すなわち、一対の引き出し部５６ｂ，５６ｂと引き出し部５７ｂとは、一体的な帯状に形成され、そのＹ方向の寸法は、略一定である。

このように第１及び第２の電極パターン５６，５７が形成されたグリーンシート１８を積層し、切断することにより、グリーンチップを形成する。このグリーンチップを熱処理して、コンデンサ素体４２を得、第１及び第２の端子電極３，４を形成することで、積層貫通コンデンサ４１が完成する。

以上のように、第１の基準線Ｌ１の間隔を第２，第２の基準線Ｌ２，Ｌ３の間隔より広く設定することにより、グランド電極として機能する第１の貫通電極４６の幅寸法（貫通方向と垂直な方向の寸法）が大きくなる。このため、低ＥＳＬを実現した積層貫通コンデンサ４１を容易に製造することができる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、第２の電極パターン（第２の貫通電極）は、中央部の幅が引き出し部の幅より大きいこととしたが、これに限られない。第２の電極パターンは、両側の第１の基準線Ｌ１に亘って形成されていればよく、一定幅の帯状であってもよい。これにより、コンデンサ素体を貫通する第２の貫通電極を形成できる。

また、第１の貫通電極４６を信号電極として機能させ、第２の貫通電極４７をグランド電極として機能させてもよく、第１の貫通電極６をグランド電極として機能させ、第２の貫通電極７を信号電極として機能させてもよい。

本発明の実施形態に係る積層貫通コンデンサの概略斜視図である。 本発明の実施形態に係る積層貫通コンデンサの概略断面図である。 本発明の実施形態に係る積層貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を説明するための模式図である。 本発明の実施形態に係る積層貫通コンデンサが有する第２の貫通電極を説明するための模式図である。 本発明の実施形態に係る積層貫通コンデンサの製造方法を示すフロー図である。 本発明の実施形態に係る積層貫通コンデンサの製造工程において形成される第１及び第２の電極パターンを示す模式図である。 図６の拡大図である。 第１変形例に係る積層貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を説明するための模式図である。 第１変形例に係る積層貫通コンデンサが有する第２の貫通電極を説明するための模式図である。 第１変形例に係る積層貫通コンデンサの製造工程において形成される第１及び第２の電極パターンを示す模式図である。 第２変形例に係る積層貫通コンデンサの概略斜視図である。 第２変形例に係る積層貫通コンデンサが有する第１の貫通電極を説明するための模式図である。 第２変形例に係る積層貫通コンデンサが有する第２の貫通電極を説明するための模式図である。 第２変形例に係る積層貫通コンデンサの製造工程において形成される第１及び第２の電極パターンを示す模式図である。

符号の説明

１，１Ａ，４１…積層貫通コンデンサ、２，４２…コンデンサ素体、３…第１の端子電極、４…第２の端子電極、６，２１，４６…第１の貫通電極、７，４７…第２の貫通電極、８…誘電体層、１０…積層体、１６…第１の電極パターン、１６ａ…端部、１６ｂ…引き出し部、１７…第２の電極パターン、１７ｂ…引き出し部、１８…グリーンシート、２１ｃ…突出部、Ａ…第１の列、Ｂ…第２の列、Ｌ１〜Ｌ３…第１〜第３の基準線、Ｘ…行方向、Ｙ…列方向。

Claims (5)

1. 誘電体層を間に挟んで交互に積層された第１の貫通電極と第２の貫通電極とを有するコンデンサ素体を備える積層貫通コンデンサの製造方法であって、
   前記第１の貫通電極となる第１の電極パターンと、前記第２の貫通電極となる第２の電極パターンとをグリーンシート上に配列形成するパターン形成工程と、
   前記第１及び第２の電極パターンが形成された複数の前記グリーンシートを前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとが対向するように積層し、積層体を得る積層工程と、
   前記積層体に含まれる複数の前記グリーンシートに設定された複数の第１の基準線と複数の第２の基準線と複数の第３の基準線とに沿って前記積層体を積層方向に切断し、略直方体形状の複数のグリーンチップを得る切断工程と、
   前記グリーンチップに熱処理を施すことにより得られる前記コンデンサ素体に端子電極を形成する端子形成工程と、を備え、
   前記パターン形成工程では、前記第１の電極パターンが並んだ第１の列と前記第２の電極パターンが並んだ第２の列とが交互に位置するように、前記第１及び第２の電極パターンを形成し、
   前記第１の基準線は、前記第１の列と前記第２の列とを分割する直線であり、
   前記第２の基準線は、前記第１の基準線の間の領域において前記第１の基準線と垂直に伸び、前記第１の列を前記第１の電極パターン毎に分割する直線であり、
   前記第３の基準線は、前記第１の基準線の間の領域において前記第１の基準線と垂直に伸び、前記第２の列を前記第２の電極パターン毎に分割する直線であり、
   前記第１の電極パターンは、前記第１の列において、隣り合う前記第２の基準線に亘って形成され、隣り合う当該第１の電極パターンの端部同士は、連結すると共に、両側の前記第１の基準線まで前記第２の基準線に沿って引き出された引き出し部をそれぞれ有し、
   前記第２の電極パターンは、前記第１の電極パターンの前記端部同士と隣り合う位置に配置され、それぞれ両側の前記第２の基準線に向かって両側の前記第１の基準線まで引き出された引き出し部を有し、
   隣り合う前記第１の電極パターンの前記端部同士がそれぞれ有する前記引き出し部と、前記第２の電極パターンが有する前記引き出し部とは、一体となるように形成されると共に、前記第１の基準線に跨って前記第２の基準線の方向に沿って帯状に形成されていることを特徴とする積層貫通コンデンサの製造方法。
2. 前記パターン形成工程では、前記引き出し部の前記第１の基準線の伸び方向の寸法より中央部の前記寸法が大きい前記第２の電極パターンを形成することを特徴とする請求項１記載の積層貫通コンデンサの製造方法。
3. 前記パターン形成工程では、前記第１の電極パターンの両側に位置する前記第１の基準線に向かってそれぞれ突出すると共に前記第１の基準線と離間した突出部を有する前記第１の電極パターンを形成し、
   前記端子形成工程では、前記端子電極として、
   前記第２及び前記第３の基準線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面に、前記第１の電極パターンから形成された前記第１の貫通電極と電気的に接続するように第１の端子電極を形成すると共に、
   前記第１の基準線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面に、前記第２の電極パターンから形成された前記第２の貫通電極と電気的に接続するように第２の端子電極を形成し、
   更に、前記第１の端子電極と前記第２の端子電極との間にショートが発生するか否かを判定することを特徴とする請求項１又は２に記載の積層貫通コンデンサの製造方法。
4. 前記第１の電極パターンから形成された前記第１の貫通電極が信号用電極であり、
   前記第２の電極パターンから形成された前記第２の貫通電極がグランド用電極であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の積層貫通コンデンサの製造方法。
5. 前記第１の電極パターンから形成された前記第１の貫通電極がグランド用電極であり、
   前記第２の電極パターンから形成された前記第２の貫通電極が信号用電極であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の積層貫通コンデンサの製造方法。

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