JP2010096683A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 コンタクトプローブ11ごとに設けられ、第1端子からコンタクトプローブ11に伝達される信号を遮断する複数の遮断素子と、各遮断素子を制御し、第1端子に入力された信号を択一的にコンタクトプローブ11へ伝達させる遮断制御手段と、各コンタクトプローブ11が一方の主面上に形成されたメイン基板10と、メイン基板10の他方の主面に立てた状態で取り付けられた複数の立設基板13により構成される。遮断制御手段は、第1端子とは異なる第2端子にテスター装置30から入力された信号に基づいて各遮断素子を制御する制御回路からなり、制御回路が、各立設基板13上に配置され、第2端子よりも多い遮断素子を制御する。
【選択図】 図7
Description
図1〜図3は、本発明の実施の形態によるプローブカードの概略構成の一例を示した図である。図1には、メイン基板10上に多数のコンタクトプローブ11が形成されたプローブカード1を水平方向から見た様子が示されている。プローブカード1は、プローブ装置に取り付けた状態で用いられ、半導体ウェハ上に形成された多数の回路チップと、テスター装置との電気的接続を中継する電子機器である。
図4は、図1のプローブカード1の要部における構成例を示した斜視図であり、補強板12のスリット12a内に配置される立設基板13が示されている。また、図5は、図1のプローブカード1の要部における構成例を示した図であり、立設基板13をメイン基板10に取り付ける際の様子が示されている。
図6は、図1のプローブカード1を含む検査システムの一構成例を示したブロック図であり、テスター装置30、電源装置40、プローブカード1及び半導体ウェハ上の複数の回路チップ50によって構成されるシステム全体が示されている。
図7は、図1のプローブカード1の構成例を示したブロック図であり、プローブカード1内の機能構成の一例が示されている。このプローブカード1は、テスターI/O部15a,15bの他に、複数のリレー回路2,3と、CPLD4と、VCCレギュレータ5とによって構成される。
2,3 リレー回路
4 CPLD
5 VCCレギュレータ
10 メイン基板
10a 外部端子
11 コンタクトプローブ
12 補強板
12a スリット
13 立設基板
15a,15b テスターI/O部
16 チップI/O部
21 第1基板
22 第2基板
23 コネクタ
24 電子回路
25 端子電極
26 L字金具
27 端子部
30 テスター装置
31a,31b DUT端子部
40 電源装置
50 回路チップ
Claims (5)
- 半導体ウェハ上に形成された2以上の回路チップに同時に接触させて電気的特性を検査するプローブカードであって、
テスター装置が接続される第1端子と、上記各回路チップにそれぞれ接触させ、第1端子及び上記回路チップを電気的に接続する2以上のコンタクトプローブとを有するプローブカードにおいて、
上記コンタクトプローブごとに設けられ、第1端子から上記コンタクトプローブに伝達される信号を遮断する2以上の遮断素子と、
上記各遮断素子を制御し、第1端子に入力された信号を択一的に上記コンタクトプローブへ伝達させる遮断制御手段と、
上記各コンタクトプローブが一方の主面上に形成されたメイン基板と、
上記メイン基板の他方の主面に立てた状態で取り付けられた2以上の立設基板とを備え、
上記遮断制御手段が、第1端子とは異なる第2端子に上記テスター装置から入力された信号に基づいて上記各遮断素子を制御する制御回路からなり、
上記制御回路が、上記各立設基板上に配置され、第2端子よりも多い上記遮断素子を制御することを特徴とするプローブカード。 - 上記メイン基板の上記他方の主面に取り付けられ、当該メイン基板を補強する補強板を備え、
上記各立設基板が、上記補強板に設けられた2以上のスリット内にそれぞれ配置されることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 上記各スリットが、互いに平行となるように形成されていることを特徴とする請求項2に記載のプローブカード。
- 上記立設基板が、上記メイン基板に対して垂直に配置される第1基板と、
第1基板に交差させて配置される第2基板と、
第2基板に対して第1基板を固定するとともに、第1基板及び第2基板を電気的に接続するL字金具と、
第2基板における第1基板とは反対側の主面に取り付けられ、上記L字金具に導通するコネクタとからなり、
上記メイン基板には、上記コネクタが装着される端子部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 複数の外部端子を有し、上記外部端子にはコントロール信号がテスター装置から入力されるメイン基板と、
上記メイン基板の外部端子に接続された複数のコンタクトプローブと、
上記メイン基板の上面に取り付けられ、貫通するスリットを有する導電性の補強板と、
上記コンタクトプローブと上記外部端子との間を流れる信号を遮断する複数の遮断素子と、
上記コントロール信号に基づいて上記複数の遮断素子の稼動状態を制御する制御素子と、
上記制御素子が配置された回路基板とを備え、
上記回路基板は、上記補強板に設けられた上記スリット内で、上記メイン基板に垂直に取り付けられていることを特徴とするプローブカード。
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2008
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