JP2010091436A - コンタクトプローブ。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 導電性の筒状体からなるバレルと、該バレル内に摺動自在に嵌合する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され該プランジャーを軸方向に付勢するスプリングとを備え、前記プランジャーは前記スプリングにその端部を当接する径小部と、該径小部に連結する径大部とを有し、前記径小部の外形を前記径大部の外形と比較して小さい値に設定する。本発明は、電気的接触抵抗を低減させ導通経路を安定化させることができる。
【選択図】図2
Description
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、電気的な接触抵抗を低減させ導通経路を安定化させたコンタクトプローブを提供することを目的とする。
また、前記バレルがニッケル材を主成分とする電気鋳造方法によって形成されていることを特徴とする。
本発明のコンタクトプローブは、プランジャーに径大部と径小部とを設け、この径小部の外周部とバレルの内周部との間に形成する隙間に、プランジャーの摺動に伴い生ずる摺動カスを収納する。一方、径大部の外周部とバレルの内周部とを接触させて導通経路を形成している。この導通経路の形成部分と摺動カスの収納される部分とは互いに離間した位置にあるため摺動カスによる接触不良を防止し、径大部の外周部とバレルの内周部とを接触を確実にすることが出来る。
さらに、径小部のスプリングに当接する端部を円錐形形状または半球状に形成することにより、径大部の外周部とバレルの内周部とを接触をより確実にすることが出来る。
また、前記バレルの外径が800μm以下に設定することにより、径大部の外周部とバレルの内周部とを接触を確実にすることが出来る。
図1は第1の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図、図2はプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図、図3はスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図、図4はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図、図5は、第1の実施形態におけるコンタクトプローブの接触抵抗値を示す表である。図1に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ11は筒状体からなるバレル13と、
バレル13内に摺動自在に嵌合するプランジャー12と、バレル13内に配置されプランジャー12を軸方向に付勢するスプリング14とを備えており、いずれも導電性材料からなる。
図5(a)は、本実施形態におけるコンタクトプローブ11の耐久試験の結果を示し、図5(b)は比較のために従来例におけるコンタクトプローブの耐久試験の結果を示す。本実施形態におけるバレル13は従来例におけるコンタクトプローブは、プランジャーの形状が本実施形態と異なり、径小部18が形成されていないものである。その他は、ほぼ同様である。また、耐久試験はプランジャーをバレル内で30万回繰り返し摺動させた後の接触抵抗値を測定したものである。また、サンプル数は5個とした。図5(a)に示すように本実施形態におけるコンタクトプローブ11の耐久試験後の接触抵抗値(サンプル5個の平均値)は、447.7mΩと非常に小さく、また、ばらつきの範囲も103.3mΩと非常小さく安定した結果得られた。
以上のように本実施形態のコンタクトプローブ11は、プランジャー12の径小部18とバレル13の内周部13aとの間に形成する隙間19に、プランジャー12の摺動に伴い生ずる摺動カスを収納することにより、摺動カスによる接触不良を防止し、径大部17の外周部とバレルの内周部との接触点101、102における電気的な接触を確実にすることが出来る。
図6は第2の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図、図7はプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図、図8はスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図、図9はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。図6に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ21は筒状体からなるバレル23と、
バレル23内に摺動自在に嵌合するプランジャー22と、バレル23内に配置されプランジャー22を軸方向に付勢するスプリング14とを備えており、いずれも導電性材料からなる。
図10は第3の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図、図11はプランジャーの主要部を示す部分拡大断面図、図12はスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図、図13はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。図10に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ31は筒状体からなるバレル33と、
バレル33内に摺動自在に嵌合するプランジャー32と、バレル23内に配置されプランジャー32を軸方向に付勢するスプリング14とを備えており、いずれも導電性材料からなる。
図14は第4の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図、図15はスプリングと当接するプランジャーの端部を示す部分拡大断面図、図16はプランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。図14に示すように、本実施形態におけるコンタクトプローブ41はバレル43と、
プランジャー42と、スプリング14とを備えており、プランジャー42の形状が第1の実施形態と異なり、バレル43は第2の実施形態のバレル23と同様にニッケル材を主成分とする電気鋳造法により形成したものである。その他は第1の実施形態とほぼ同様である。
図18は第5の実施形態におけるプランジャーの主要部を示す断面図で、図19は第5の実施形態におけるコンタクトプローブの主要部を示す断面図で、プランジャーを偏芯させた状態を示す部分拡大断面図である。本実施形態におけるコンタクトプローブはプランジャーの端部の形状が第1の実施形態と異なる例であり、その他は第1の実施形態と同様である。そこで同じ構成要素については同一番号を付与し詳細な説明を省略する。
12、22、32、42 プランジャー
13、23、33、43 バレル
13a、23a、33a、43a バレルの内周部
13b、33b、43b 窪み
14 スプリング
15、25、35、45 プランジャーの接触部
16 細径部
17、27、37、47 径大部
17a、27a、37a、47a 段部
18、28、38、48 径小部
18a、28a、38a、48a、58a、68a 径小部の端部
18b、28b、38b、48b 径小部の外周部
19、29、39、49 隙間
23b
26、46 境界
36 斜面
88a 第1の径小部
88b 第2の径小部
101、102、103 接点
202、202、203 導通径路
Claims (9)
- 導電性の筒状体からなるバレルと、 該バレル内に摺動自在に嵌合する導電性のプランジャーと、前記バレル内に配置され該プランジャーを軸方向に付勢するスプリングとを備え、前記プランジャーは前記スプリングにその端部を当接する径小部と、該径小部に連結する径大部とを有し、前記径小部の外径を前記径大部の外径と比較して小さい値に設定したことを特徴とするコンタクトプローブ。
- 前記プンジャーの径小部は前記径大部との境界から前記スプリングに当接する端部に向かって外径が小さくなる略円錐台形形状をなすことを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記プンジャーの径小部は第1の径小部と第2の径小部とを有し、該第1の径小部の外径は該第2の径小部の外径と比較して小さい値に設定され、且つ前記第2の径小部が前記スプリング側に位置することを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記径小部は、その中心を通る径小部中心軸線が前記径大部の中心を通る径大部中心軸線に対して傾斜するように前記径大部と前記径小部との境界付近を基点として屈曲されていることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記径小部の前記スプリングに当接する端部が略円錐形形状をなし、その断面形状における頂角の角度が120度から160度の範囲に設定されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記径小部の前記スプリングに当接する端部が半球状の形状をなすことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ。
- 前記バレルが、Au、Ag、Pt、Pd、Rhの少なくとも一つの貴金属を10%以上含んで成る導電性合金によって形成されていることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ
- 前記バレルがニッケル材を主成分とする電気鋳造方法によって形成されていることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記バレルの外径が800μm以下であることを特徴とする請求項1または請求項7に記載のコンタクトプローブ。
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