JP2015148561A - 接触検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本態様によれば、第5の態様と同様の効果を得ることができる。
図1は「接触検査装置」の一実施形態であるプローブカード10を示している。プローブカード10は、プローブ基板12と、平面基準体14と、プローブヘッド16と、複数の接触子18とを備えている。また、プローブカード10は、図示しないテスターに電気的に接続されるとともに前記テスターに対して揺動可能に当該テスターに取り付けられている。
<<<第1の実施例>>>
次いで、図2(A)ないし図8を参照して、接触子18について説明する。接触子18は、全体として円筒状に形成され、基体部分18aと先端部分18bとを備えている。
図9に示すように、各端子32a、32b、32cの先端部分には案内面38が設けられていてもよい。案内面38を設けることにより、各端子32a、32b、32cとバンプ30との接触領域が増大する。つまり、各端子32a、32b、32cとバンプ30との接触が点接触から線接触あるいは面接触となる。その結果、各端子32a、32b、32cとバンプ30との電気的接続をより確実なものとすることができる。
次いで、図10(A)ないし図13(B)を参照して第2の実施例における接触子40について説明する。第2の実施例における接触子40は、4つの端子32a、32b、32c、32dを備えている点で第1の実施例と異なる。
可撓性を有し、接触子40の周方向に螺旋を描きながら接触子40の軸線方向、つまり−Z軸方向に延びている端子32a、32b、32c、32dを備えている。
次いで、図14(A)ないし図17(B)を参照して第2の実施例における接触子42について説明する。第3の実施例における接触子42は、基体部分42aの径寸法が先端部分42bの径寸法より大きい点で第2の実施例と異なる。
次いで、図18及び図19を参照して第4の実施例における接触子44の構成について説明する。接触子44は、全体として円筒状に形成され、基体部分44aと先端部分44bとを備えている。先端部分44bには、可撓性を有し、接触子44の軸線方向つまりZ軸方向において−Z軸方向側に直線状に延びる端子46a、46b、46c、46dを備えている。
次いで、図20を参照して第5の実施例における接触子50の構成について説明する。第5の実施例の接触子50は、端子52の形状が異なる点で第4の実施例と異なる。
(1)端子32の先端側に案内面38を設ける構成としたが、端子46、52の先端側にも案内面38を設ける構成としてもよい。
(2)接触子44、50においても基体部分44a、50aの径寸法を先端部分44b、50bの径寸法よりも大きくする構成としてもよい。
(4)第4の実施例及び第5の実施例では、接触子44、50の基体部分44a、50aに接触子44、50の軸線方向に沿って直線状に形成されたスリット48を設ける構成としたが、この構成に代えて、螺旋状のスリット34を設ける構成としてもよい。また、逆に第1の実施例ないし第3の実施例における接触子18、40、44に直線状のスリット48を設ける構成としてもよい。
14 平面基準体、14a 平面、16 プローブヘッド、
18、40、42、44、50 接触子、
18a、40a、42a、44a、50a 基体部分、
18b、40b、42b、44b、50b 先端部分、
20 上部プローブヘッド、22 下部プローブヘッド、24、26 貫通孔、
28、102 被検査体、30 バンプ、30a 酸化膜層、30b 導電性部、
32、32a、32b、32c、32d、46、46a、46b、46c、46d、52、
52a、52b、52c 端子、34、48 スリット、36 接触点、38 案内面、
100 接触検査装置、104 被検査部(バンプ)、106 プローブ、
108 ヘッド部、110 保持部、112 ベース部、114 電極部、
116 伸縮部、F、Fr、Fz 応力
Claims (11)
- 被検査体に接触して検査を行う接触子を備える接触検査装置であって、
前記接触子は、
基体部分と、
被検査体と接触する先端部分と、
を備え、
前記先端部分は、可撓性を有する複数の端子を備え、
前記複数の端子は、当該端子が前記被検査体に押し付けられた状態で、前記接触子の軸線方向にかかる圧縮力を受けて前記軸線方向と交差する方向に撓むように構成され、
当該接触検査装置は、前記接触子の前記先端部分が前記被検査体に押し付けられた状態で、前記複数の端子がそれぞれ撓むことにより前記被検査体を押圧し、各端子と前記被検査体とが電気的に接続される、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項1に記載の接触検査装置において、前記複数の端子は前記接触子の軸線方向において螺旋状に延びている、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項1に記載の接触検査装置において、前記複数の端子は前記接触子の軸線方向において直線状に延びている、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項1に記載の接触検査装置において、前記複数の端子は前記接触子の軸線方向においてS字状に延びている、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の接触検査装置において、前記複数の端子の先端側には前記被検査体と接触する際に前記端子の撓む方向を規定する案内面が設けられている、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項2に記載の接触検査装置において、前記接触子の前記先端部分が前記被検査体に押し付けられた状態で前記螺旋状の端子は、前記軸線方向に撓み、当該軸線方向において隣り合う前記端子と接触する、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項6に記載の接触検査装置において、前記複数の端子の先端側には前記被検査体と接触する際に前記端子の撓む方向を規定する案内面が設けられている、
- 請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の接触検査装置において、前記接触子の前記基体部分の径寸法は前記先端部分の径寸法よりも大きい、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の接触検査装置において、前記基体部分には前記軸線方向に沿って少なくとも一つのスリットが設けられている、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項9に記載の接触検査装置において、前記スリットは前記軸線方向において螺旋状に設けられている、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項9に記載の接触検査装置において、前記スリットは前記軸線方向において直線状に設けられている、
ことを特徴とする接触検査装置。
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