JP2010085247A - Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】信号ライン間に電圧を一定時間印加するという従来の手法に代えて、信号ライン間への電圧印加において、印加する電圧の極性を切り替え、欠陥点に流す電流の方向を切り替える手法とすることによって、電流の流れる方向によって電気抵抗に差異を有する電気特性を有する欠陥種であっても、欠陥点の電気的特性を変化させ、欠陥検出性能を向上させる。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- TFT基板に検査信号を印加し、ピクセルの電位変化からTFTアレイの欠陥を検査するTFTアレイの検査方法であって、
前記TFT基板に検査信号を印加してピクセルに電圧を印加する検査信号印加工程と、
前記検査信号印加工程の前工程であって、アレイを構成する各信号線に対して検査前電圧を印加する検査前電圧印加工程と、
ピクセルの電位を検出し、正常ピクセルで検出される電位と比較することによってTFTアレイの欠陥を検出する欠陥検出工程とを備え、
前記検査前電圧印加工程は、電圧値が時系列で変化する検査前電圧を生成し、当該生成した検査前電圧を少なくとも一つの信号線に印加し、信号線間に極性を異にする電圧を切り替えて印加することを特徴とする、TFTアレイの検査方法。 - 検査前電圧印加工程は、電圧の極性が時系列で変化する検査前電圧を生成することを特徴とする、請求項1に記載のTFTアレイの検査方法。
- TFT基板に検査信号を印加し、ピクセルの電位変化からTFTアレイの欠陥を検査するTFTアレイの検査装置であって、
前記ピクセルの電位を検出する検出部と、
検査前電圧を生成しTFT基板に印加する検査前電圧生成部と、
検査信号を生成しTFT基板に印加する検査信号生成部と、
前記検出部が検出する電位に基づいてTFTアレイの欠陥を検出する欠陥検出部とを備え、
前記検査前電圧生成部は、電圧値が時系列で変化する検査前電圧を少なくとも一つの信号線に印加し、信号線間に極性を異にする電圧を切り替えて印加し、
前記検査信号生成部は、前記検査前電圧生成部によって検査前電圧をTFT基板に印加した後、検査信号をTFT基板に印加し、
前記欠陥検出部は、検査信号の印加時において前記検出部で検出したピクセルの電位を正常ピクセルの電位と比較することによって、TFTアレイの欠陥を検出することを特徴とする、TFTアレイの検査装置。 - 前記検査前電圧生成部は、電圧の極性が時系列で変化する検査前電圧を生成することを特徴とする、請求項3に記載のTFTアレイの検査装置。
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---|---|---|---|---|
JP2006267576A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | 表示装置の欠陥検出方法および表示装置の欠陥検出装置 |
JP2008058767A (ja) * | 2006-09-01 | 2008-03-13 | Shimadzu Corp | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 |
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