JP2010078840A5 - - Google Patents

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Claims (12)

  1. 基板上に、
    第1の方向に延在する走査線と、
    前記第1の方向に交差する第2の方向に延在するデータ線と、
    前記走査線及び前記データ線の交差に対応して画素毎に設けられた画素電極と、
    前記第1の方向及び前記第2の方向のうち一方の方向に沿ったチャネル長を有するチャネル領域、前記第2の方向に沿った部分を有し、前記データ線に電気的に接続されたソース領域、前記第1の方向に沿った部分を有し、前記画素電極に電気的に接続されたドレイン領域、前記チャネル領域及び前記ソース領域間に形成された第1の接合領域、並びに前記チャネル領域及び前記ドレイン間に形成された第2の接合領域を有し、前記基板上で平面的に見て前記データ線及び前記走査線の交差に対応して前記ドレイン領域で折れ曲がっている半導体層と、
    前記チャネル領域にゲート絶縁膜を介して対向するように形成された本体部、及び前記基板上で平面的に見て、前記半導体層における折れ曲がった部分に沿って、少なくとも前記第2の接合領域を包囲するL字部分を含む包囲部を有するゲート電極と、
    前記包囲部から立ち上がり又は立ち下がっており、前記第2の接合領域を側方から囲むように形成された部分を含む側壁部と
    を備えることを特徴とする電気光学装置。
  2. 前記側壁部は、前記包囲部及び前記走査線間を電気的に接続するコンタクト用に形成された部分を含むことを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
  3. 前記第2の接合領域は、前記基板上で平面的に見て、前記データ線及び前記走査線の交差する交差領域内又は前記チャネル領域に比べて前記交差領域に近接する近接領域内に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置。
  4. 前記包囲部は、前記基板上で平面的に見て、前記L字部分の逆側から、前記第2の接合領域を包囲する部分を更に含み、
    前記側壁部は、前記第2の接合領域を前記逆側における側方から囲むように形成された部分を更に含む
    ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  5. 前記包囲部は、前記基板上で平面的に見て環形状を有していることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  6. 前記側壁部は、前記基板上で平面的に見て、その前記第2の接合領域における前記半導体層との第1距離よりも、その先端側における前記半導体層との第2距離の方が短くなるように、前記半導体層側に向かって突出する突出部を有する
    ことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  7. 前記第2の接合領域は、LDD領域であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  8. 前記半導体層より上層側に積層され、前記基板上で平面的に見て、少なくとも前記チャネル領域及び前記第2の接合領域より広く形成された上側遮光膜を備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  9. 前記上側遮光膜は、前記データ線を兼ねる部分を有することを特徴とする請求項8に記載の電気光学装置。
  10. 前記半導体層より下層側に積層され、前記基板上で平面的に見て、少なくとも前記チャネル領域及び前記第2の接合領域より広く形成された下側遮光膜を備えることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  11. 前記下側遮光膜は、前記走査線を兼ねる部分を有することを特徴とする請求項10に記載の電気光学装置。
  12. 請求項1から11のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
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