JP2010069564A - 研削方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 良好な品質で研削を行う。
【解決手段】 （ａ）作用面上の周方向に沿って第１の方向が固定的に画定された砥石であって、作用面上に交差するドレッシング痕が形成されないように、作用面をドレスされた砥石を準備する。（ｂ）被研削面に第２の方向が固定的に画定された研削対象物を準備する。（ｃ）ドレスされた砥石の作用面を研削対象物の被研削面に接触させ、砥石を回転させながら、回転する砥石の作用面が第２の方向と平行な方向に沿って、研削対象物の被研削面上を移動するように、砥石と研削対象物とを相対的に移動させて、研削対象物の被研削面を研削する。工程（ｃ）は、（ｃ１）砥石が研削対象物の被研削面と接触する位置における第１の方向と、第２の方向とを同一の方向とする条件で、砥石を、第１の方向に回転させるとともに、研削対象物上を第２の方向に移動させる工程を含む。
【選択図】 図５

Description

本発明は、回転砥石を用いて被加工物の被加工面を研削する方法に関する。

図１０（Ａ）〜（Ｃ）を参照して、従来の研削加工技術の概略について説明する。

図１０（Ａ）は、研削装置を示す一部概略図である。ワーク２０が、ステージ３０にチャックされる。ステージ３０は、ワーク２０をｘ軸方向と平行な方向（図の左右方向）に移動可能に保持する。

円筒状の砥石１０が、ｙ軸方向（紙面垂直方向）に延在する回転軸１０ａの周囲に回転可能に保持される。砥石１０は、回転軸１０ａを介してモータにより、たとえばｙ軸負方向（紙面手前方向）から見たとき、反時計回りに７９０ｒｐｍの回転速度で、回転軸１０ａの周囲を回転（自転）する。

回転する砥石１０の円筒側面（作用面）をワーク２０の被研削面２０ａに接触させ、ステージ３０でワーク２０をｘ軸負方向（図の左方向）に送りながら、被研削面２０ａの研削が行われる。ワーク２０をｘ軸負方向に送りながら行う研削が終了したら、ワーク２０はステージ３０によりｘ軸正方向（図の右方向）に送られ、被研削面２０ａの同じ箇所が反対方向から研削される（往復研削）。ステージ３０によるワーク２０の送り速度は、ｘ軸正方向、ｘ軸負方向ともに、たとえば０．５ｍ／ｓｅｃである。砥石１０の回転方向、及び回転速度は、往路と復路で変化しない。

なお、砥石１０は、回転軸１０を介して、ｚ軸方向（図の上下方向）に移動させることができる。

図１０（Ｂ）に砥石１０の平面図及び側面図を示す。砥石１０の平面形状は、たとえば直径６００ｍｍの円形であり、作用面１０ｂの幅は、たとえば１００ｍｍである。

図１０（Ｃ）を参照する。砥石１０を用いた研削加工を長時間行うと、砥石１０の作用面１０ｂにたとえば目詰まりが生じ、研削効率の低下等の問題が生じる。

そこで、目詰まり等の不具合を解消するために、砥石１０のドレッシング（目直し）が行われる。ドレッシングとは、たとえば切れ刃の鋭利化とチップポケットの創成のため、ワークを研削する前に、ダイヤモンドで形成されたドレッサーで砥石１０を削る作業をいう。

ドレッシングに当たっては、たとえばｙ軸を回転中心としてその周囲を一方向（図のθ方向）に回転する砥石１０の作用面１０ｂに、固定的に配置されたドレッサー４０を接触させる。そして、砥石１０を、まずｙ軸負方向へ移動させて、ドレッサー４０により作用面１０ｂをドレッシングする。続いて、砥石１０を、ｙ軸正方向へ移動させて反対方向にドレッシングを行う（往復ドレス）。ドレッシングにおいて、砥石１０の回転方向と回転速度は一定である。また、ｙ軸正負方向への砥石１０の移動速さは等しい一定値をとる。

ワークを一方向に研削（片側研削）することで、毛羽立ちを抑止し、表面均一性に優れた、高い光沢の加工ワークを得る研削方法の発明が開示されている（たとえば、特許文献１参照）。

また、ワーク２０の研削においては、被研削面２０ａの加工方向（図１０（Ａ）においてはｘ軸方向）と直交する方向に、縞、いわゆる「びびり模様」が、砥石１０の振動に起因して現れることが知られている。

特開２００２−３４６８８８号公報

本発明の目的は、良好な品質で研削加工を行うことができる研削方法を提供することである。

本発明の一観点によれば、（ａ）作用面上の周方向に沿って第１の方向が固定的に画定された砥石であって、該作用面上に交差するドレッシング痕が形成されないように、該作用面をドレスされた砥石を準備する工程と、（ｂ）被研削面に第２の方向が固定的に画定された研削対象物を準備する工程と、（ｃ）前記ドレスされた砥石の作用面を前記研削対象物の被研削面に接触させ、前記砥石を回転させながら、前記回転する砥石の作用面が前記第２の方向と平行な方向に沿って、前記研削対象物の被研削面上を移動するように、前記砥石と前記研削対象物とを相対的に移動させて、前記研削対象物の被研削面を研削する工程とを有し、前記工程（ｃ）は、（ｃ１）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを同一の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向に移動させる工程、（ｃ２）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを同一の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向と反対方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向と反対方向に移動させる工程、（ｃ３）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを反対の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向と反対方向に移動させる工程、（ｃ４）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを反対の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向と反対方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向に移動させる工程のいずれかを含む研削方法が提供される。

また、本発明の他の観点によれば、（ａ）作用面上に交差するドレッシング痕が形成されないように、該作用面をドレスされた回転砥石を準備する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）で準備された回転砥石の作用面を研削対象物の被研削面に接触させた状態で、前記作用面のドレッシング痕の前記被研削面における転写痕が交差しないように、前記回転砥石を前記被研削面上を相対的に移動させて、前記研削対象物の被研削面を研削する工程とを有する研削方法が提供される。

本発明によれば、良好な品質の研削加工を実現可能な研削方法を提供することができる。

図１（Ａ）〜（Ｃ）を参照して、本願発明者らの予備的考察について説明する。

本願発明者らは、従来の研削方法（往復ドレスされた砥石１０で往復研削する研削方法）で研削加工されたワーク２０の被研削面２０ａに、図１（Ａ）に示すような、多くの菱形を画定するクロス模様の研削痕を発見し、これを砥石１０の作用面１０ｂとの関係において考察した。

図１（Ｂ）及び（Ｃ）を参照して、図１０（Ｃ）を用いて概説した砥石１０のドレッシング（往復ドレス）について詳細に説明する。

図１（Ｂ）は、砥石１０の作用面１０ｂを、ｙ軸方向とθ方向に関して示す概略図である。固定的に配置されたドレッサー４０を砥石１０の作用面１０ｂに接触させ、砥石１０をθ方向に回転させるとともに、ｙ軸負方向に移動させる。ドレッサー４０は、作用面１０ｂ上を、相対的にｙ軸正方向に移動する。

この方向へ移動させながら行うドレッシングによって、砥石１０の作用面１０ｂ上には、本図においては、右下がりの斜線で示されるドレッシング痕が形成される。

図１（Ｃ）を参照する。続いて、砥石１０の回転方向はそのままθ方向とし、ドレッサー４０を作用面１０ｂに接触させたまま、砥石１０をｙ軸正方向に移動させる。ドレッサー４０は、作用面１０ｂ上を、相対的にｙ軸負方向に移動する。

この方向へ移動させながら行うドレッシングによって、砥石１０の作用面１０ｂ上には、新たに、右上がりの斜線で示されるドレッシング痕が形成される。

このため、砥石１０を一往復させた後には、往復ドレスの結果として、本図に示すようなクロス模様のドレッシング痕が形成される。

本願発明者らは、往復ドレスされた砥石１０で往復研削する従来の研削方法で加工されたワーク２０の被研削面２０ａに現れるクロス模様の研削痕は、往復ドレスにより、砥石１０の作用面１０ｂ上に形成されたクロス模様のドレッシング痕が転写されたものである場合と、往復研削によって被研削面２０ａに形成されたクロス模様である場合とがあることを見出した。

図２（Ａ）及び（Ｂ）を参照して、往復ドレスした砥石１０で、ワーク２０を一方向に研削（片側研削）した場合の研削痕について説明する。

図２（Ａ）に、往復ドレスした砥石１０の作用面１０ｂの概略を示す。往復ドレスの結果、作用面１０ｂには、クロス模様のドレッシング痕が形成される。このようなドレッシング痕の形成された作用面１０ｂを備える砥石１０を用いて、ワーク２０の片側研削を行う。

図１０（Ａ）を参照して説明した往復研削においては、回転する砥石１０の作用面をワーク２０の被研削面２０ａに接触させ、ステージ３０でワーク２０をｘ軸負方向に送りながら被研削面２０ａの研削を行い、その後、ステージ３０でワーク２０を反対方向（ｘ軸正方向）に送って、被研削面２０ａの同じ箇所を反対向きに研削した。

片側研削においては、回転する砥石１０の作用面をワーク２０の被研削面２０ａに接触させ、ステージ３０でワーク２０をｘ軸負方向に送りながら被研削面２０ａの研削を行うのみで、往復研削のように、反対方向からの研削は行わない。

図２（Ｂ）を参照する。往復ドレスした砥石１０でワーク２０を片側研削した場合にも、砥石１０の作用面１０ｂに形成されたクロス模様のドレッシング痕が、ワーク２０の被研削面２０ａに転写される結果、本図に示すようなクロス模様の研削痕が、ワーク２０の被研削面２０ａに形成される。

図３（Ａ）及び（Ｂ）を参照して、片側ドレスした砥石１０で、ワーク２０を往復研削した場合の研削痕について説明する。

図３（Ａ）に、片側ドレスした砥石１０の作用面１０ｂの概略を示す。片側ドレスとは、たとえば、図１（Ｂ）を参照して説明したように、固定的に配置されたドレッサー４０を砥石１０の作用面１０ｂに接触させ、砥石１０をθ方向に回転させるとともに、ｙ軸負方向のみに移動させて行うドレッシングである。図１（Ｃ）を参照して説明したような、反対方向へのドレッシングは行わない。

片側ドレスした砥石１０の作用面１０ｂには、たとえば本図においては、右下がりの斜線で示されるドレッシング痕が形成される。クロス模様のドレッシング痕は形成されない。

図３（Ｂ）を参照する。片側ドレスした砥石１０でワーク２０を往復研削した場合、たとえば往路研削においては、図３（Ａ）に示すドレッシング痕が転写されて、ワーク２０の被研削面２０ａに右下がりの直線で示される研削痕が形成される。複路研削においては、図３（Ａ）に示すドレッシング痕が反対方向に転写されて、ワーク２０の被研削面２０ａに右上がりの直線で示される研削痕が形成される。

この結果、片側ドレスした砥石１０でワーク２０を往復研削した場合にも、本図に示すようなクロス模様の研削痕が、ワーク２０の被研削面２０ａに形成される。

本願発明者らは、片側ドレスした砥石１０で、ワーク２０を往復研削した場合の研削痕につき、シミュレーション、及び実験による検証を行った。その結果を図４（Ａ）〜（Ｃ）に示す。

図４（Ａ）には、片側ドレスした砥石１０を回転させながら、位相ずれがない状態で、ワーク２０の往復研削を行ったときの、ワーク２０の被研削面２０ａに形成された研削痕のシミュレーション結果を示す。ここで位相ずれとは、往復する砥石の作用面が被研削面のある位置に接触する場合における、前回接触時の砥石の回転角度と、今回接触時の砥石の回転角度との差を意味する。

図中にＬで示す範囲が、砥石１０の往路方向への一回転と復路方向への一回転とで形成された研削痕である。ワーク２０の被研削面２０ａには、クロス模様の研削痕が形成され、その結果、加工方向（図の左右方向）と直交する方向（図の上下方向）に走る垂直縞Ｓが、加工方向に沿って、Ｌ／２の周期で現れているのが認められる。

図４（Ｂ）には、片側ドレスした砥石１０を回転させながら、位相ずれを１８０°として、ワーク２０の往復研削を行ったときの、ワーク２０の被研削面２０ａに形成された研削痕のシミュレーション結果を示す。

１８０°の位相のずれがある場合には、垂直縞Ｓが、加工方向に沿って、Ｌ／４の周期で現れる。

図４（Ｃ）は、実際に、片側ドレスした砥石１０を回転させながら、往復研削したワーク２０の被研削面２０ａを掏り取りし、加工方向（研削方向）と直交する方向に引き伸ばした画像である。

図の左右方向が加工方向である。ワーク２０の被研削面２０ａにクロス模様の研削痕が形成され、加工方向に直交する方向（図の上下方向）に、縞が現れているのがわかる。

図５（Ａ）〜（Ｄ）を参照して、実施例による研削方法について説明する。実施例による研削方法は、片側ドレスした砥石１０で、ワーク２０を片側研削する研削方法である。

図５（Ａ）は、砥石１０の作用面１０ｂを、ｙ軸方向とθ方向に関して示す概略図である。固定的に配置されたドレッサー４０を砥石１０の作用面１０ｂに接触させ、砥石１０をθ方向に回転させるとともに、ｙ軸負方向に移動させる。ドレッサー４０は、作用面１０ｂ上を、相対的にｙ軸正方向に移動する。

図５（Ｂ）に、砥石１０の作用面１０ｂ上に形成されるドレッシング痕を示す。砥石１０の作用面１０ｂ上には、ドレッシング痕が一定の方向にらせん状に形成される。らせん状のドレッシング痕は、本図においては、右下がりの斜線で示される。片側ドレスであるため、ドレッシング痕は交差しない。

図５（Ｃ）を参照する。砥石１０の作用面１０ｂをワーク２０の被研削面２０ａに接触させ、砥石１０を回転軸１０ａの周囲に回転させるとともに、ステージ３０でワーク２０をｘ軸負方向（図の矢印方向）に送って、被研削面２０ａの研削を行う。砥石１０の回転方向は、たとえば図のθ方向であり、回転速度は、たとえば７９０ｒｐｍである。また、ステージ３０によるワーク２０の送り速度は、たとえば０．５ｍ／ｓｅｃである。

図５（Ｄ）は、ワーク２０の被研削面２０ａを示す概略的な平面図である。被研削面２０ａには、一方向に沿った、相互に平行な直線群で表される研削痕が形成される。これらは、図５（Ｂ）に示すドレッシング痕が転写された結果である。

砥石１０の作用面１０ｂに形成されるドレッシング痕がクロスしていないので、ワーク２０の被研削面２０ａに形成される研削痕もクロスしない。このため、被研削面２０ａには、たとえば図４（Ａ）及び（Ｂ）に示したような垂直縞も現れない。したがって、実施例による研削方法によれば、良好な加工品質で研削加工を行うことができる。

なお、ワーク２０をｘ軸負方向に移動させて一方向への研削が終了したら、砥石１０をｚ軸正方向に浮かし、その間にワーク２０をステージ３０でｘ軸正方向に移動させる。その後、再び、砥石１０の作用面１０ｂをワーク２０の被研削面２０ａに接触させ、砥石１０を回転軸１０ａの周囲にθ方向に回転させるとともに、ステージ３０でワーク２０をｘ軸負方向に送って、被研削面２０ａの同一領域の研削を行う。

図６（Ａ）に、実施例による研削方法で研削したワークの写真を示す。

また、図６（Ｂ）に、従来技術（往復ドレス、往復研削）で研削されたワークの写真を示す。

それぞれ６枚のワークが撮影されている。これらは砥石を異なる回転数で回転させて研削したワークである。

両写真を比較すると、従来技術で研削されたワーク（図６（Ｂ））の研削面には、主に幅方向の端部に沿って、垂直縞が明瞭に認められるのに対して、実施例による研削方法で研削されたワーク（図６（Ａ））の被研削面には垂直縞が見られない。実施例による研削方法によると、垂直縞の生じない、均一な研削加工面が得られることがわかる。

以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。

実施例においては、ワーク２０を一方向へ送って研削した後、砥石１０をワークの被研削面から浮かし、その間にワーク２０をステージ３０で逆方向に移動させて、再び、ワーク２０上の同じ方向に研削（片側研削）を行った。この際、砥石１０の回転方向は一定方向であった。

たとえば、図７（Ａ）に示すように、ワーク２０をｘ軸負方向に送って、被研削面２０ａの研削を行った後、砥石１０を逆向き（θ方向と反対方向）に回転させて、ワーク２０をｘ軸正方向に送り、被研削面２０ａの研削を行ってもよい。往復研削になるが、往路と復路で砥石１０の回転方向が反対であるため、良好な品質で研削加工を行うことができる。

また、図７（Ｂ）に示すように、ワーク２０をｘ軸負方向に送って、被研削面２０ａの研削を行った後、砥石１０をｚ軸に平行な軸の周囲に１８０°自転させて、ワーク２０をｘ軸正方向に送り、被研削面２０ａの研削を行ってもよい。砥石１０自体の回転方向は変化させないが、砥石１０をｚ軸に平行な軸の周囲に１８０°自転させるため、図７（Ａ）に示した例と同じ加工を行うことができる。

更に、図７（Ｃ）に示すように、ワーク２０をｘ軸負方向に送って、被研削面２０ａの研削を行った後、ｚ軸に平行な軸の周囲に１８０°自転させたワーク２０をｘ軸正方向に送り、被研削面２０ａの研削を行ってもよい。この場合、砥石１０の回転方向を逆向きとする。この例においても、図７（Ａ）に示した例と同じ加工を行うことができる。

図８（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例及び変形例についてまとめた表である。

図８（Ａ）の「実施例（図５（Ｃ））」の欄を参照する。

図５（Ｃ）に示す実施例において、砥石１０の作用面１０ｂ上に、周方向に沿って固定的に画定された第１の方向を、たとえば図５（Ｃ）の反時計方向であるとする。実施例における砥石の回転方向はθ方向（反時計回り方向）であるため、「砥石の回転方向」は「第１の方向」である。

また、図５（Ｃ）に示す実施例において、ワーク２０の被研削面２０ａ上に、ｘ軸正方向に固定的に第２の方向が画定されているとする。実施例による研削方法では、砥石１０は、ワーク２０の被研削面２０ａ上を、相対的にｘ軸正方向に移動するため、「ワーク上における砥石の移動方向」は「第２の方向」である。

更に、「砥石とワークが接触する位置における第１の方向と、第２の方向との関係」は、接触位置における第１の方向は第２の方向と等しいため、「同じ方向」となる。

図８（Ａ）の「変形例（図７（Ａ））」の欄を参照する。

図７（Ａ）に示す変形例においては、砥石１０を逆回転させて、ワーク２０をｘ軸正方向に送り、被研削面２０ａの復路研削を行う。このため、「砥石の回転方向」は「第１の方向と反対方向」であり、「ワーク上における砥石の移動方向」は「第２の方向と反対方向」である。

なお、砥石の回転方向を変化させても、砥石１０の作用面１０ｂ上に周方向に沿って固定的に画定された第１の方向に変化はないため、砥石１０とワーク２０の接触位置における第１の方向は、変わらずｘ軸正方向である。したがって、「砥石とワークが接触する位置における第１の方向と、第２の方向との関係」は「同じ方向」となる。

図８（Ａ）の「変形例（図７（Ｂ））」の欄を参照する。

図７（Ｂ）に示す変形例においては、砥石１０をｚ軸に平行な軸の周囲に１８０°自転させて、ワーク２０をｘ軸正方向に送り、被研削面２０ａの復路研削を行う。砥石１０は、変わらず「第１の方向」に回転している。「ワーク上における砥石の移動方向」は「第２の方向と反対方向」である。砥石１０はｚ軸に平行な軸の周囲に１８０°自転されているので、砥石とワークが接触する位置における第１の方向はｘ軸負方向となる。これは、ワーク２０の被研削面２０ａ上に固定的に画定された第２の方向とは「反対方向」である。

図８（Ａ）の「変形例（図７（Ｃ））」の欄を参照する。

図７（Ｃ）に示す変形例においては、砥石１０の回転方向を逆向きとするので、「砥石の回転方向」は「第１の方向と反対方向」である。また、ワーク２０をｚ軸に平行な軸の周囲に１８０°自転させるため、ワーク２０上に固定された第２の方向は、ｘ軸負方向になる。このため、「ワーク上における砥石の移動方向」は「第２の方向」である。

更に、砥石１０の回転方向を逆向きとしても、砥石１０とワーク２０の接触位置における第１の方向は、変わらずｘ軸正方向である。したがって「砥石とワークが接触する位置における第１の方向と、第２の方向との関係」は「反対方向」となる。

図８（Ａ）に示す４つの方法の一つ、または複数の組み合わせにより研削を行うことで、クロス模様の研削痕、及びそれに起因する垂直縞の発生しない、良質の研削加工を行うことができる。

図８（Ｂ）を参照する。本図にパターン１〜４として示した研削方法を、図８（Ａ）に示した研削方法と組み合わせた場合、クロス模様の研削痕や、それに起因する垂直縞の発生が見られる。しかし、パターン１〜４の４つの方法の一つで、または複数を組み合わせて研削を行うことで、クロス模様の研削痕、及びそれに起因する垂直縞の発生しない、良質の研削加工を行うことができる。

図９（Ａ）及び（Ｂ）に砥石の別例を示す。回転砥石は、円筒形状のものに限らず、様々な形状のものを使用することができる。図９（Ａ）及び（Ｂ）に図示した砥石の作用面１０ｂを被研削面に接触させ、砥石を一点鎖線で示した回転中心の周囲に回転させることで研削を行うことができる。

その他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。

砥石を用いて行う研削加工に利用することができる。

（Ａ）〜（Ｃ）は、本願発明者らの予備的考察について説明するための図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、往復ドレスした砥石１０で、ワーク２０を一方向に研削（片側研削）した場合の研削痕について説明する。 （Ａ）及び（Ｂ）は、片側ドレスした砥石１０で、ワーク２０を往復研削した場合の研削痕について説明するための図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、片側ドレスした砥石１０で、ワーク２０を往復研削した場合の研削痕について行った、シミュレーションの結果、及び実験による検証の結果を示す図である。 （Ａ）〜（Ｄ）は、実施例による研削方法について説明するための図である。 （Ａ）は、実施例による研削方法で研削されたワークの写真であり、（Ｂ）は、従来技術で研削されたワークの写真である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、実施例の変形例を説明するための図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、実施例及び変形例についてまとめた表である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、砥石の別例を示す図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、従来の研削加工技術の概略について説明するための図である。

符号の説明

１０ 砥石
１０ａ 回転軸
１０ｂ 作用面
２０ ワーク
２０ａ 被研削面
３０ ステージ
４０ ドレッサー

Claims (5)

1. （ａ）作用面上の周方向に沿って第１の方向が固定的に画定された砥石であって、該作用面上に交差するドレッシング痕が形成されないように、該作用面をドレスされた砥石を準備する工程と、
   （ｂ）被研削面に第２の方向が固定的に画定された研削対象物を準備する工程と、
   （ｃ）前記ドレスされた砥石の作用面を前記研削対象物の被研削面に接触させ、前記砥石を回転させながら、前記回転する砥石の作用面が前記第２の方向と平行な方向に沿って、前記研削対象物の被研削面上を移動するように、前記砥石と前記研削対象物とを相対的に移動させて、前記研削対象物の被研削面を研削する工程と
   を有し、
   前記工程（ｃ）は、
   （ｃ１）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを同一の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向に移動させる工程、
   （ｃ２）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを同一の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向と反対方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向と反対方向に移動させる工程、
   （ｃ３）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを反対の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向と反対方向に移動させる工程、
   （ｃ４）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを反対の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向と反対方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向に移動させる工程
   のいずれかを含む研削方法。
2. （ｃ５）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを反対の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向に移動させる工程、
   （ｃ６）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを反対の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向と反対方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向と反対方向に移動させる工程、
   （ｃ７）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを同一の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向と反対方向に移動させる工程、
   （ｃ８）前記砥石が前記研削対象物の被研削面と接触する位置における前記第１の方向と、前記第２の方向とを同一の方向とする条件で、前記砥石を、前記第１の方向と反対方向に回転させるとともに、前記研削対象物上を前記第２の方向に移動させる工程
   のいずれをも含まない請求項１に記載の研削方法。
3. 更に、前記工程（ｃ）の後に、
   （ｄ）前記工程（ｃ）のみを繰り返す工程
   を含む請求項１に記載の研削方法。
4. 前記工程（ａ）において、
   前記砥石の作用面を巡る一定方向のらせん状に、ドレッシング痕が形成された砥石を準備する請求項１〜３のいずれか１項に記載の研削方法。
5. （ａ）作用面上に交差するドレッシング痕が形成されないように、該作用面をドレスされた回転砥石を準備する工程と、
   （ｂ）前記工程（ａ）で準備された回転砥石の作用面を研削対象物の被研削面に接触させた状態で、前記作用面のドレッシング痕の前記被研削面における転写痕が交差しないように、前記回転砥石を前記被研削面上を相対的に移動させて、前記研削対象物の被研削面を研削する工程と
   を有する研削方法。