JP2010066177A - 流量計及び流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定流体が流れる流路5と、流路5内に配置される整流体20と、を備え、被測定流体の流量を計測する流量計2であって、整流体20は、被測定流体の整流用の孔を有するとともに、流路5の延在方向に対して垂直な方向における流路断面積よりも広い面積を有する。流量制御装置1は、流量計2と、制御弁3と、流量計2によって検出された流量に係る情報に基づいて制御弁3を制御することにより流量計2の流路5を流れる流体の流量を調整する制御手段4と、を備える。
【選択図】図1
Description
まず、本発明の第1の実施形態に係る流量制御装置1の構成の概要を説明する。本実施形態に係る流量制御装置1は、図1に示すように、流体の流量を計測する流量計2と、流量計2の下流側に設けられて流体の流量を調整する制御弁3と、制御弁3を制御する制御手段4と、を備えている。流量計2は、本発明の第1の実施形態に係る流量計であり、ストレート形状の流路(直管状流路)を有するものである。流量計2の構成については、後に詳述する。
次に、図15〜図20を用いて、本発明の第2の実施形態に係る流量制御装置1Aについて説明する。本実施形態に係る流量制御装置1Aは、第1の実施形態に係る流量制御装置1の流量計1の構成を変更したものであり、その他の構成については第1実施形態と実質的に同一である。このため、異なる構成を中心に説明することとし、重複する構成については第1実施形態と同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
2・2A…流量計
3…制御弁
4…制御手段
5…直管状流路
5a…センサ流路部
5b…拡径流路部
6…流路ブロック
6a…流路形成部
6b…開口部
6f…拡径流路部のセンサ流路部側の端面
7…蓋部材
7f…拡径流路部のセンサ流路部側の端面
10…流れセンサ
20・20C…整流体
20a・20b・20c・20d・20A・20B…整流板
21・21A・21B・21C…孔
50…屈曲流路
51…第1の屈曲部
52…第2の屈曲部
53…センサ流路部
60…流路ブロック
62…凹部(センサ流路形成部)
67…開口部
70…整流体
71…第1の整流板
72…第2の整流板
73…平板
80…回路基板
Claims (11)
- 被測定流体が流れる流路と、前記流路内に配置される整流体と、を備え、前記被測定流体の流量を計測する流量計であって、
前記整流体は、前記被測定流体の整流用の孔を有するとともに、前記流路の延在方向に対して垂直な方向における流路断面積よりも広い面積を有するものである、
流量計。 - 前記整流体は、前記流路の延在方向に対して斜めに配置される少なくとも一つの整流板を有し、
前記整流板は、その外周面が全周にわたって前記流路の内壁に当接するように配置される、
請求項1に記載の流量計。 - 前記流路を形成するための直線状に延在する流路形成部が内部に設けられるとともに前記流路形成部の上方を外部に連通させるための開口部を有する流路ブロックと、
前記流路ブロックの前記開口部を塞ぐように配置される蓋部材と、を備え、
前記流路は、前記流路ブロックの前記開口部を前記蓋部材が塞ぐことにより形成された直管状流路であり、
前記蓋部材が前記流路ブロックの前記開口部を塞ぐ際に、前記整流板の外周面が前記蓋部材に当接する一方、前記整流板の外周面が前記流路ブロックの内壁に当接し、前記整流板が前記蓋部材と前記流路ブロックの内壁との間に挟み込まれて固定される、
請求項2に記載の流量計。 - 前記蓋部材における前記整流板の当接位置と、前記流路ブロックにおける前記整流板の当接位置と、が前記直管状流路の延在方向において異なるように配置される、
請求項3に記載の流量計。 - 前記直管状流路は、前記被測定流体の流速又は流量を検出する流れセンサが配置されるセンサ流路部と、前記センサ流路部の上流側及び/又は下流側に形成され前記センサ流路部より流路断面積が大きい拡径流路部と、を有するものであり、
前記拡径流路部の前記センサ流路部側の端面は、前記直管状流路の延在方向に垂直な面に対して傾斜した状態で設けられ、
前記整流板は、前記直管状流路の前記拡径流路部の前記端面に当接するように配置され固定される、
請求項3又は4に記載の流量計。 - 前記流路は、前記被測定流体の流速又は流量を検出する流れセンサが配置され直線状に延在するセンサ流路部を有するとともに、前記センサ流路部の上流側及び/又は下流側が屈曲部で屈曲するように構成された屈曲流路であって、
前記整流体は、前記センサ流路部の内壁上に配置される平板と、前記平板の上流側端部及び/又は下流側端部に斜めに接続される前記整流板と、から構成され、
前記整流板の外周面が前記屈曲流路の前記屈曲部の内壁に当接するように配置されることにより、前記整流体が前記屈曲流路に固定される、
請求項2に記載の流量計。 - 前記屈曲流路の前記センサ流路部を形成するための直線状に延在するセンサ流路形成部が内部に設けられるとともに前記センサ流路形成部の上方を外部に連通させるための開口部を有する流路ブロックと、
一方の面に前記流れセンサを有し、他方の面に前記流れセンサを用いた計測原理を行う電気回路に接続する電気回路用電極を有する回路基板と、を備え、
前記流路ブロックの前記開口部を前記回路基板が塞ぐように、かつ、前記回路基板の前記流れセンサが前記流路ブロックの前記センサ流路形成部に臨むように、前記流路ブロックに対して前記回路基板が配置されることにより、前記屈曲流路の前記センサ流路部が形成される、
請求項6に記載の流量計。 - 前記整流板は、剛性を有する板状部材にパンチングで前記孔を形成することにより構成される、
請求項2から7の何れか一項に記載の流量計。 - 前記整流板は、薄板にエッチングで前記孔を形成することにより構成される、
請求項2から7の何れか一項に記載の流量計。 - 前記整流体は、前記流路の延在方向の一方に膨出するように形成された笊状のものである、
請求項1に記載の流量計。 - 請求項1から10の何れか一項に記載の流量計と、
制御弁と、
前記流量計によって検出された流量に係る情報に基づいて前記制御弁を制御することにより前記流量計の前記流路を流れる流体の流量を調整する制御手段と、
を備える、
流量制御装置。
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