JP2010045292A - 光電変換装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光を信号電荷に変換する受光素子1と、受光素子1の上に形成された反射防止膜39aと、接合型電界効果トランジスタ43と、を有する画素がアレイ状に配置された光電変換装置において、接合型電界効果トランジスタ43の上に反射防止膜39が形成されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
前記接合型電界効果トランジスタの上に前記反射防止膜が形成されていることを特徴とする。
2 転送用MOSトランジスタ
3 浮遊拡散領域
4 リセット用MOSトランジスタ
5 選択用MOSトランジスタ
6 増幅用MOSトランジスタ
7 読み出し線、垂直信号線
8 定電流源
31 n型シリコン基板
32 p型ウェル
33a MOSトランジスタのゲート絶縁膜
33b 半導体基板表面上の薄い酸化膜
34 転送用MOSトランジスタ2のゲート電極
36 フォトダイオード1のn型カソード
37 表面p型領域
38 素子分離のための酸化膜
39a、39b シリコン窒化膜
40a、40b シリコン酸化膜
41 高濃度不純物拡散層
42a 低不純物濃度拡散層
43 接合型電界効果トランジスタ(JFET)
42b、42c 低不純物濃度領域
44、45 JFET43のゲート
46 JFET43のn型チャネル領域
47 層間絶縁膜
48 コンタクトプラグ
Claims (8)
- 光を信号電荷に変換する受光素子と、前記受光素子の上に形成された反射防止膜と、接合型電界効果トランジスタと、を有する画素がアレイ状に配置された光電変換装置において、
前記接合型電界効果トランジスタの上に前記反射防止膜が形成されていることを特徴とする光電変換装置。 - 前記受光素子から転送された電荷を一時的に蓄える浮遊拡散領域をリセットするためのリセット用トランジスタ、前記浮遊拡散領域の電荷を電圧に変換して増幅するための増幅用トランジスタ及び前記アレイ状に配置された画素のうちの任意の1行を選択するための選択用トランジスタのうちの少なくとも一つが前記接合型電界効果トランジスタであることを特徴とする請求項1記載の光電変換装置。
- 前記接合型電界効果トランジスタと前記反射防止膜の間にはシリコン酸化膜が配置されていることを特徴とする請求項1記載の光電変換装置。
- 前記反射防止膜は複数の層からなることを特徴とする請求項1記載の光電変換装置。
- 前記接合型電界効果トランジスタのソース及びドレインが低濃度不純物領域のみで構成されることを特徴とする請求項1記載の光電変換装置。
- 光を信号電荷に変換する受光素子と、前記受光素子の上に形成された反射防止膜と、接合型電界効果トランジスタと、を有する画素がアレイ状に配置された光電変換装置を製造する光電変換装置の製造方法において、
光を信号電荷に変換する受光素子と、前記接合型電界効果トランジスタとが形成される面上に反射防止膜となる層を形成する工程と、
前記受光素子及び前記接合型電界効果トランジスタの上の前記反射防止膜となる層の上にレジストを形成する工程と、
前記レジストをマスクとして、前記反射防止膜となる層をエッチバックすることで反射防止膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 前記画素はMOSトランジスタをさらに有し、
前記反射防止膜となる層を形成する工程の前に、前記接合型電界効果トランジスタ及び前記MOSトランジスタのソース・ドレイン領域となる低不純物濃度領域を形成し、
前記反射防止膜をエッチバックすることで反射防止膜を形成する工程の際に、前記接合型電界効果トランジスタの側壁にサイドスペーサを形成し、
前記反射防止膜をエッチバックすることで反射防止膜を形成する工程の後に、前記MOSトランジスタの前記低不純物濃度領域に高不純物濃度領域を形成することを特徴とする請求項6記載の光電変換装置の製造方法。 - 前記レジストをマスクとして、前記反射防止膜となる層をエッチバックすることで反射防止膜及び前記接合型電界効果トランジスタの側壁にサイドスペーサを形成する工程の後に、前記MOSトランジスタのゲート電極を酸化する工程をさらに含むことを特徴とする請求項7記載の光電変換装置の製造方法。
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